• 제목/요약/키워드: Overlap error

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Overlap Margin 확보 및 Side-lobe 억제를 위한 Scattering Bar Optical Proximity Correction (Scattering Bar Optical Proximity Correction to Suppress Overlap Error and Side-lobe in Semiconductor Lithography Process)

  • 이흥주
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제4권1호
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    • pp.22-26
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    • 2003
  • Attenuated PSM lithography 공정에서 overlay margin 확보 및 side-lobe 제거를 위해 기존의 Cr shield 방식의 단점인 복잡한 mask 제작공정과 구조를 단순화하기 위한 방법으로 scattering bar 방식을 제안하였다. Scattering bar는 Cr 보조패턴처럼 완전히 빛을 차단하는 것이 아니라 약간의 빛을 투과시켜 보강된 intensity를 상쇄하므로 side-lobe를 억제하는 방법으로 metal pattern을 생성할 때 scattering bar도 동시에 만들어 mask제작에 필요한 공정횟수를 줄이고 mask구조 역시 단순하게 한다 그리고 동시에 DOF(depth of focus)를 향상시킨다. Background clear pattern의 경우에 발생하는 side-lobe도 scattering bar를 이용하여 효율적으로 제거되었다.

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서보밸브 스풀-슬리브 형상공차가 압력 정특성에 미치는 영향 연구 (Effect of Spool-Sleeve Geometry on Static Pressure Characteristics of Servo Valves)

  • 김성동;손성회;함영복
    • 드라이브 ㆍ 컨트롤
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    • 제13권1호
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    • pp.34-42
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    • 2016
  • This study studied how the clearance, overlap and mismatch errors of spool-sleeve affect the static pressure characteristics of a servo valve. A computer simulation model was established as a direct acting servo valve and a series of simulations was conducted for various values of clearance, overlap and mismatch errors. Pressure gain decreased as the clearance increased. The overlap also affects the pressure gain and was similar to the effect of clearance. Asymmetry of the pressure plot got worse and worse as the mismatch error increased.

해양 다중 경로 환경에 알맞은 오버랩 기반 처프 확산 대역 전송 기법 (Overlap-Based Chirp Spread Spectrum Transmission Scheme for Maritime Multipath Environment)

  • 채근홍;이성로;윤석호
    • 한국통신학회논문지
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    • 제39C권11호
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    • pp.1124-1131
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    • 2014
  • 처프 확산 대역 (chirp spread spectrum: CSS) 기술은 데이터 신호를 처프 신호를 통하여 전송하는 기술로, 잠수함 음향 탐지 등 해양 무선 통신 분야에서 널리 이용되어 왔다. 하지만, 해양 통신 중 존재하는 다중 경로 환경으로 인하여, CSS 기술의 데이터 전송률이 낮아질 수 있다. 이를 극복하기 위하여, 데이터 전송률을 증가시킬 수 있는 오버랩 기반 처프 확산 대역 기술을 제안하고 분석한다. 근사화된 가우시안 Q 함수를 바탕으로 오버랩 기반 CSS 시스템의 닫힌꼴 비트 오류율 (bit error rate: BER) 수식을 유도하고, 또한 오버랩 횟수에 따른 심벌 간 간섭을 (intersymbol interference: ISI) 분석한다.

오버랩 기반 CSS 시스템 설계를 위한 닫힌꼴 비트 오류율 표현 (A Closed-Form BER Expression for Overlap-Based CSS System Design)

  • 윤태웅;이영윤;이명수;송익호;윤석호
    • 한국통신학회논문지
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    • 제34권4C호
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    • pp.469-475
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    • 2009
  • Chirp 확산 대역에서 (chirp spread spectrum: CSS) 데이터 전송량을 증가시키기 위해 사용되는 오버랩 기법은 인접 심벌 간 간섭을 (intersymbol interference: ISI) 유발하여 심각한 비트 오류율 (bit error rate: BER) 성능 저하를 초래한다. 따라서 효과적으로 오버랩 기법을 사용하기 위해서는 요구되는 BER 성능 기준에 따라 적절한 횟수로 오버랩을 실시하여야 한다. 본 논문에서는 근사화 된 가우시안 Q 함수를 바탕으로 오버랩 횟수를 매개변수로 가지는 오버랩 기법이 적용된 CSS 시스템의 닫힌꼴 BER 성능 수식을 유도한다. 유도한 닫힌꼴 BER 성능 수식의 정확성은 모의실험 결과와의 비교를 통하여 검증한다.

오버랩 기반 DM-BPSK CSS 시스템에서 오버랩 횟수에 따른 심볼 간 간섭 분석 (Analysis of Intersymbol Interference due to Overlap m Overlap-Based DM-BPSK CSS Systems)

  • 김준환;이영포;송익호;윤석호
    • 한국통신학회논문지
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    • 제36권2C호
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    • pp.99-104
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    • 2011
  • 처프 확산 대역 (chirp spread spectrum: CSS) 기술은 데이터 신호를 처프 신호를 통하여 최소 필요 대역보다 더 넓은 주파수 대역으로 확산시켜 전송하는 기술로서 오버랩 기법을 사용하여 데이터 전송률을 늘릴 수 있다. 그러나 데이터의 신뢰성 있는 전송을 위해서는 오버랩으로 인해 발생하는 심볼 간 간섭에 (intersymbol interference: ISI) 대한 분석이 필수적이다. 본 논문에서는 오버랩 기반 direct modulation binary phase shift keying CSS 시스템에서 오버랩 횟수와 ISI의 상관관계를 수학적으로 분석하였다. 구체적으로는 몇몇 특정 오버랩 횟수에 대해서는 오버랩으로 인한 ISI가 나타나지 않으며, 오버랩 횟수의 변화에 따라 오버랩으로 인한 ISI가 진동하거나 단조 증가함을 보였고, 모의실험 결과와 분석한 내용이 일치하는 것을 확인하였다.

Correction Simulation for Metal Patterns on Attenuated Phase-shifting Lithography

  • Lee, Hoong-Joo;Lee, Jun-Ha
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제5권3호
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    • pp.104-108
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    • 2004
  • Problems of overlap errors and side-lobe printing by the design rule reduction in the lithography process using attenuated phase-shifting masks(attPSM) have been serious. Overlap errors and side-lobes can be simultaneously solved by the rule-based correction using scattering bars with the rules extracted from test patterns. Process parameters affecting the attPSM lithography simulation have been determined by the fitting method to the process data. Overlap errors have been solved applying the correction rules to the metal patterns overlapped with contact/via. Moreover, the optimal insertion rule of the scattering bars has made it possible to suppress the side-lobes and to get additional pattern fidelity at the same time.

정현파 크기로 가중치 된 위상 오류 함수를 사용한 음성의 중첩합산 정현파 합성 방법 (Overlap and Add Sinusoidal Synthesis Method of Speech Signal using Amplitude-weighted Phase Error Function)

  • 박종배;김규진;정규혁;김종학;이인성
    • 한국통신학회논문지
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    • 제32권12C호
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    • pp.1149-1155
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    • 2007
  • 본 논문에서는 음성신호의 정현파 합성방법 중 하나인 선형위상을 사용한 중첩합산방법에 대하여 합성응성의 연속성을 개선시킨 새로운 방법을 제안한다. 기존의 중첩합산 정현파 합성방법은 프레임의 중간 지점에 대한 위상 값을 예측하기 위해 합성 파형의 경계면에 대한 위상 차이를 최소화하는 방법을 사용하였으나, 제안된 방법은 중간지점의 위상만이 아닌 최종 합성된 신호들 간의 차이를 최소화하는 방법을 사용한다. 이러한 합성신호의 오차 함수를 최소화하는 과정은 정현파 크기 값을 가중치로 사용한 위상오차 함수로 근사화 될 수 있다. 제안된 합성 방법의 연속성에 대한 성능을 검증하기 위해 합성신호의 전 구간에 대한 합성 신호들 간의 평균 오차 값 및 청취자 테스트를 하였다. 기존의 위상 오차함수와 비교하여 개선된 연속성 성능을 얻을 수 있었다.

Extended Information Overlap Measure Algorithm for Neighbor Vehicle Localization

  • Punithan, Xavier;Seo, Seung-Woo
    • IEIE Transactions on Smart Processing and Computing
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    • 제2권4호
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    • pp.208-215
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    • 2013
  • Early iterations of the existing Global Positioning System (GPS)-based or radio lateration technique-based vehicle localization algorithms suffer from flip ambiguities, forged relative location information and location information exchange overhead, which affect the subsequent iterations. This, in turn, results in an erroneous neighbor-vehicle map. This paper proposes an extended information overlap measure (EIOM) algorithm to reduce the flip error rates by exchanging the neighbor-vehicle presence features in binary information. This algorithm shifts and associates three pieces of information in the Moore neighborhood format: 1) feature information of the neighboring vehicles from a vision-based environment sensor system; 2) cardinal locations of the neighboring vehicles in its Moore neighborhood; and 3) identification information (MAC/IP addresses). Simulations were conducted for multi-lane highway scenarios to compare the proposed algorithm with the existing algorithm. The results showed that the flip error rates were reduced by up to 50%.

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근접사진측량의 번들조정에 의한 삼차원 위치해석에 관한 연구 (A Study on the 3-Dimensional Analysis by Bundle Adjustment in Close Range Photogrammetry)

  • 백은기;목찬상
    • 한국측량학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.10-18
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    • 1988
  • 대형구조물의 삼차원위치해석과 변형측정을 하기 위하여 근접사진측량을 이용할 경우 정확도에 가장 큰 영향을 미치는 촬영거리를 접근시켜 다중기법(Multiple Method)에 의해 해석하는 것이 효율적이다. 본 연구에서는 다중방법에서 제기되는 문제점들을 해결하기 위하여 중복도, 기준점 수와 배치, 촬영거리의 변화에 따른 오차의 영향을 분석하여 그 특성을 파악하고자 하였다. 촬영대상으로는 7m$\times$3m의 평면형의 피사체에 총 225점의 말지점을 고르게 배치하고 중복도와 촬영거리를 변화시키면서 총 143교의 사진을 찰영하였다. 이 사진들에 의한 종ㆍ횡스트립과 블럭을 형성, on-line system으로 개발된 프로그램에 의해 해석하였다. 기준점 수를 감소시킴에 따라 기하학적 오차(simulated error)는 계속 증가 하지만 관측오차(a ctual error)는 감소하다가 다시 증가되고 있으며, 촬영거리의 변화에 따른 오차는 Z방향이 X, Y방향보다도 크게 나타났으며 redundancy를 증가시키면 Z도 양호한 결과를 얻을 수 있었다. 그리고 중복도의 증가에 따른 오차는 중복도 70%전후에서 가장 양호한 결과를 얻었다. 본 연구의 결과에 의하면, 피사체의 크기와 형태에 따라 기준점 배치및 중복도를 적절하게 선택하는 것은 대형구조물해석에 무엇보다 중요하며 촬영거리를 가능한 한 피사체에 근접시켜 다중촬영을 실시하여 처리한다면 주요 구조물의 정밀해석은 물론 변형측정에 널리 활용할 수 있을 것으로 기대된다.

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Localized evaluation of actuator tracking for real-time hybrid simulation using frequency-domain indices

  • Xu, Weijie;Guo, Tong;Chen, Cheng
    • Structural Engineering and Mechanics
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    • 제62권5호
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    • pp.631-642
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    • 2017
  • Accurate actuator tracking plays an important role in real-time hybrid simulation (RTHS) to ensure accurate and reliable experimental results. Frequency-domain evaluation index (FEI) interprets actuator tracking into amplitude and phase errors thus providing a promising tool for quantitative assessment of real-time hybrid simulation results. Previous applications of FEI successfully evaluated actuator tracking over the entire duration of the tests. In this study, FEI with moving window technique is explored to provide post-experiment localized actuator tracking assessment. Both moving window with and without overlap are investigated through computational simulations. The challenge is discussed for Fourier Transform to satisfy both time domain and frequency resolution for selected length of moving window. The required data window length for accuracy is shown to depend on the natural frequency and structural nonlinearity as well as the ground motion input for both moving windows with and without overlap. Moving window without overlap shows better computational efficiency and has potential for future online evaluation. Moving window with overlap however requires much more computational efforts and is more suitable for post-experiment evaluation. Existing RTHS data from Network Earthquake Engineering Simulation (NEES) is utilized to further demonstrate the effectiveness of the proposed approaches. It is demonstrated that with proper window size, FEI with moving window techniques enable accurate localized evaluation of actuator tracking for real-time hybrid simulation.