• International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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• 제1권1호
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• pp.49-55
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• 2000

The semiconductor industry relies on digital optical imaging for the overlay metrology of integrated circuit patterns. One critical performance demand in the particular application of digital imaging is placed on the edge resolution that is defined as the smallest detectable displacement of an edge from its image acquired in digital from. As the critical feature size of integrated circuit patterns reaches below 0.35 micrometers, the edge resolution is required to be less than 0.01 micrometers. This requirement is so stringent that fundamental behaviors of digital optical imaging need to be explored especially for the precision coordinate metrology. Our investigation reveals that the edge resolution shows quasi-random characteristics, not being simply deduced from relevant opto-electronic system parameters. Hence, a stochastic upper bound analysis is made to come up with the worst edge resolution that can statistically well predict actual indeterminate edge resolutions obtained with high magnification microscope objectives.

• 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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• 한국우주과학회 2005년도 한국우주과학회보 제14권2호
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• pp.70-70
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• 2005

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.251-255
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• 2003

This paper presents the design, fabrication, and calibration of a piezoelectric polymer-based sensorized microgripper. Electro discharge machining technology is employed to fabricate super-elastic alloy based micro gripper. It is tested to present improvement of mechanical performance. For integration of force sensor on the micro gripper, the sensor design based on the piezoelectric polymer PVDF film and fabrication process are presented. The calibration and performance test of force sensor integrated micro gripper are experimentally carried out. The force sensor integrated micro gripper is applied to perform fine alignment tasks of micro opto-electrical components. It successfully supplies force feedback to the operator through the haptic device and plays a main role in preventing damage of assembly parts by adjusting the teaching command.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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• pp.36-37
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• 2000

최근 Micro-Opto-Electro-Mechanical(MOEMS)기술의 발달과 더불어 적응 광학(Adaptive optics)분야나 패턴 인식 분야에 적용 가능한 공간 빛 변조기의 개발이 이루어지고 있다. 적응 광학용 공간 빛 변조기는 대기의 turbulence에 의하여 왜곡된 빛의 위상을 파면 센서(wave sensor)와 실시간 제어기를 통해 보정하는 역할을 한다. 적응 광학 분야에서 상업적으로 사용되던 기존의 공간 빛 변조기는 전왜소자 배열(piezoelectric actuator array)에 의하여 지지되는 평면 거울을 사용하여 크기가 크고 전력 소비도 심하며 무엇보다도 가격이 비싸다는 단점이 있었다$^{(1)}$ . 그러나 MOEMS 기술의 적용으로 인해 공간 빛 변조기의 크기 및 무게 그리고 소비 전력이 줄어들었으며 반도체 공정을 통한 대량 생산으로 저가로 생산할 수 있게 되었다. (중략)

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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• pp.32-33
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• 2000

최근 디지털 정보 처리 기술의 획기적인 발전과 함께 저가의 반도체 레이저의 개발로 말미암아 광기록 장치(optical pickup device) 및 고속 광통신(optical fiber communication)분야에 응용을 위한 레이저 광학 시스템에 대한 연구가 활발하다. 광신호의 커플링(coupling) 및 스위칭(switching)을 기반으로 하는 이러한 광학 시스템은 일반적으로 광신호의 변조를 위한 광학 요소와 광학 요소의 공간적 제어를 위한 정밀 구동기로 구성되는데, 기존의 상용 시스템의 경우에는 독립적으로 기 제작된 광학 요소와 정밀 구동기를 사후에 조립하는 방법으로 소기의 목적을 달성하였다. 이와 같은 경우 제작에 많은 노력과 비용이 요구되며, 성능의 획기적인 향상을 기대하기 어려우므로 최근에는 Optical MEMS 혹은 MOEMS(Micro-Opto-Electro-Mechanical System)로 대변되는 마이크로머시닝기술(micromachining technology)을 이용한 초정밀 광학계의 제작 기술을 통하여 기존 시스템의 한계를 극복하고자 하는 노력이 다각도로 모색되고 있다. (중략)

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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• pp.224-225
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• 2000

Transparent and hard materials such as sapphire are used for many industrial applications as optical windows, hard materials on mechanical contact against abrasion, and substrate materials for opto-electronic semiconductor devices such as blue LED and blue LD etc. The materials should be cut along the proper shapes possible to be used for each application. In case of blue LED, the blue LED wafer should be cut to thousands of blue LED pieces at the final stage of the manufacturing process. The process of cutting the wafer is usually divided into two steps. The wafer is scribed along the proper shapes in the first step. It is inserted between transparent flexible sheets for easy handling. And then, it is broken and split in the next step. Harder materials such as diamonds are usually used to scribe the wafer, while it has a problem of low depth of scribing and abrasion of the harder material itself. The low depth of scribing can induce failure in breaking the wafer along the scribed line. It was also known that the expensive diamond tip should be replaced frequently for the abrasion. (omitted)

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 G
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• pp.2464-2466
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• 1998

A switch is a component with two or more ports that selectively transmits, redirects, or blocks optical power in a fiber transmission line. Our switch uses rotation mechanism using stepping motor, hence the common optical fiber can scan and allign to one of the arrayed N optical fibers to provide optical path by electronic precise control. The developed switch is consisted of switching module and its control module. The performance parameters of a switching loss and a repeatability are considered very important. We performed the study to reduce the switching loss and improve the repeatability of switch. The switch can be widely used as a test instrument of optical device and of optical cable in factory, also of optical cable monitoring systems.

• 한국정밀공학회지
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• 제15권7호
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• pp.18-25
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• 1998

A prototyping process based on the technique of selective ${\CO_2}$ laser sintering has been carried out using bronze powder. The integration of a ${\CO_2}$ laser and a working table to create the opto-mechanical system has been constructed for making the multi-layer sintering. Three dimensional rapid prototyping process which has used the 40W ${\CO_2}$ laser and bronze powder has been investigated experimentally The optimal scanning method has been found to minimize the deflection and distortion by using the thermal strain method which the laser scans in the x and v directions repeatedly. The method of spreading powder has been improved by using the rubber knife of which the flexibility causes less wave of spreading powder.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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• pp.140-141
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• 2003

인공위성 카메라는 발사 시 발생하는 하중조건(진동, 충격 등)과 우주 환경(무중력, 진공, 복사 등)하에서 카메라 내부의 각종 광학부품과 그를 지지하는 구조물의 변형으로 인해 광학적 성능 전반에 큰 영향을 받는다. 특히 높은 신뢰성이 요구되는 고해상도 지구관측용 광학카메라의 경우 광학적 현상과 기계적 현상을 동시에 체계적으로 고려하는 광기계 해석 및 설계(opto-mechanical analysis and design)가 필수적이다. 그 중에서도 목표로 하는 광학적 성능을 얻기 위한 위성용 카메라 주반사경의 설계기술이 가장 중요한 부분에 속한다. (중략)

• Current Optics and Photonics
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• 제5권2호
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• pp.121-128
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• 2021

We propose a novel, tiny optical receiver engine utilizing an all-in-one package based on embedded optics technology. The package's best transmission S21 and reflection S22 opto-electric (OE) bandwidths are 49.8 GHz and 34.9 GHz, respectively, and the reflectance of the optical engine is below -31.7 dB for all channels. The engine satisfies the MIL-STD-883G standard for reliability tests, such as mechanical and thermal shock, and vibration resistance. The sensitivity after 10 km single-mode fiber (SMF) transmission is below -8 dBm. The optical receiver engine is cost-competitive and applicable for 400G coarse wavelength division multiplexing 4 (CWDM4) 10 km optical transceivers.