The polishing of silicon wafers has an important role in semiconductor manufacturing. Generally, getting a flat surface such as a mirror is the purpose of the process. The wafer surface roughness is affected by many variables such as the characteristics of the carrier head unit, operation, speed, the pad and slurry temperature. Optimum process conditions for experimental temperature, pH value, down-force, slurry ratio are investigated, time is used as a fixed factor. This study carried out a series of experiments at varying platen, chuck rpm and oscillation cpm taking particular note of the difference between the rpm and the affect it has on the surface roughness. In this experiment determine the optimum conditions for polishing silicone wafers.
Recently, various efforts to make more speedy and precision machine tool to improve productivity and also various efforts to solve environmental problem are going on, so that dry cutting in manufacturing industry, which needs environmental conscious design and development of manufacturing technique, is becoming a very important assignment to solve. Because dry cutting does not use cutting fluid, we need other methods that can be used instead of cutting fluid, which does cooling, lubricating, chip washing, and anti-corrosion. Especially, because turning is a continuous work, the consideration of tool life and surface roughness due to continuous heat and poor lubrication is important. The purposes of this paper are the consideration of how well the compressed air can work instead of cutting fluid, and also the development of the method to select the optimum machining condition by the minimum numbers of experiments through the Taguchi method.
Metalworking fluids (MWFs) are fluids used during machining and grinding to prolong the life of the tool, carry away debris, and protect the surfaces of work pieces. These fluids reduce friction between the cutting tool and the work surface, reduce wear and galling, protect surface characteristics, reduce surface adhesion or welding and carry away generated heat. Workers can be exposed to MWFs by inhaling aerosols (mists) and by skin contact with the fluid. Skin contact occurs by dipping the hands into the fluid, splashes, or handling workpieces coated with the fluids. The amount of mist generated (and the resulting level of exposure) depends on many factors. To reduce the environmental pollution wastes and the potential health risks associated with occupational exposures to MWFs, it is required to establish optimum MWFs supply method and condition with minimum quantity in all over the mechanical machining field including high-speed type heavy cutting process.
Metalworking fluids (MWFs) are fluids used during machining and grinding to prolong the lift of the tool, carry away debris, and protect the surfaces of work pieces. These fluids reduce friction between the cutting tool and the work surface. reduce wear and galling, protect surface characteristics, reduce surface adhesion or welding and carry away generated heat. Workers can be exposed to MWFs by inhaling aerosols (mists) and by skin contact with the fluid. Skin contact occurs by dipping the hands into the fluid, splashes, or handling workpieces coated with the fluids. The amount of mist generated (and the resulting level of exposure) depends on many factors. To reduce the environmental pollution wastes and the potential health risks associated with occupational exposures to MWFs, it is required to establish optimum MWFs supply method and condition with minimum quantity in all over the mechanical machining field including high-speed type heavy cutting process.
The optimization in the machining process has been a long-standing goal of the manufacturing community. The optimization is composed of two main subjects;one is to select an optimum cutting condition, and the other is to detect the emergency situation and take necessary actions in real-time base. This paper proposes a reliable and practical guide system whose purpose is the optimization of cutting conditions, and the detection of tool failure in the machining process. The optimal cutting conditions are determined through the estimation of tool wear rate and the establishment of access- ible field from the measured cutting temperature and force. Tool breakage is detected by the normal force component acting on minor flank face extracted from on-line sensed feed force and radial force. In experiments, the proposed guide system has proved availability for the decision of reliable cutting conditions for the given tool-work system and the detection of tool breakage in ordinary cutting environments.
Due to the increasing demand for carious methodologies, the quality improvement of products were introduced. A brush, the most frequently used type of grinding process, is one of the deburring. In order to produce consistent burr shape, various machining conditions have been combined and applied to disk grinding process. By tool dynamometer, acoustic emission sensor and acceleration sensor depend on changes in processing conditions(depth of engagement, cutting speed, workpiece position, workpiece orientation, cutting time) signals were obtained for brush deburring grinding system. Root mean square obtained by processing the signal processing conditions by analyzing the characteristics of deburring is to derive the optimum conditions.
In the present study, Taguchi method is used to determine the rough region first, followed by RSM technique to determine the exact optimum value during milling on a machining center. A region reducing algorithm is applied to narrow down the region of the Taguchi method for RSM. The result from the Taguchi method is fed to train the artificial neural network (ANN), whose optimum value is used to drive the region reducing algorithm. The proposed algorithm is tested under different cutting condition and results show that the introduced algorithm works well during milling process. It is also shown that theoretically obtained optimal cutting condition is very close to experimentally obtained result.
In this paper, three different types of commercial tools -P20, NC123K and ceramic- have been used to cut austempered ductile iron(ADI). In the austempered condition the materials are hard, strong and difficult to machine. Thus, we selected a optimum tool material among three different types of used tools in machining of austempered ductile iron. It was used acoustic emission (AE) to know cutting characteristic for selected tool and investigate characteristic of AE signal according to cutting condition and relationship between AE signal and flank wear land of the ceramic tool. The obtained results are as follows ; (1) The ceramic tool among three different types of tools is the best in machining austempered ductile iron. (2) In case of ceramic tool, the amplitude level of AE signal(AErms) is mainly affected by cutting condition and it is proportional to cutting speed. (3)There have been the relationship of direct proportion between the amplitude level of AE signal and flank wear land of the tool. (4) It was observed that the value of AErms was only affected by cutting speed. Therefore it is possible to in-process detec- tion of ceraic tool's wear in case the initial value of AErms at each cutting speed decided.
This study analyzes the residual stress of AISI 1536V for an engine shaft of the shipbuilding industry and AISI A387 for a reactor shell of the chemical refining industry by the hole drilling method with a strain gauge rosette, which transforms fine mechanical changes into electrical signals. Tensile residual stress is generated in the forging and heat treatment process because specimens are affected by thermal stress and metal transformation stress. In the heat treatment process, the residual stress of AISI A387 is almost 170% the yield strength at 402 MPa. Since during the machining process, variable physical loads are applied to the material, compressive residual stress is generated. Under the same condition, the mechanical properties greatly affect the residual stress during the machining process. After the stress-relieving heat treatment process, the residual stress of AISI A387 is reduced below the yield strength at 182 MPa. Therefore, it is necessary to control the temperature, avoid rapid heat change, and select machining conditions depending on the mechanical properties of materials during manufacturing processes. In addition, to sufficiently reduce the residual stress, it is necessary to study the optimum condition of the stress-relieving heat treatment process for each material.
Metalworking fluids (MWFs) are fluids used during machining and grinding to prolong the life of the tool , carry away debris, and protect the surfaces of work pieces. These fluids reduce friction between the cutting tool and the work surface, reduce wear and galling, Protect surface characteristics, reduce surface adhesion or welding and carry away generated heat. Workers can be exposed to MWFs by inhaling aerosols (mists) and by skin contact with the fluid. Skin contact occurs by dipping the hands into the fluid, splashes, or handling workpieces coated with the fluids. The amount of mist generated (and the result ins level of exposure) depends on many factors. To reduce the potential health risks associated with occupational exposures to MWFs, it is required to establish optimum MWFs supply method and condition with minimum Quantity in all over the mechanical machining field including high speed type heavy cult ing process.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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