• 제목/요약/키워드: Optical film

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열광학 효과를 이용한 $Si_3N_4-SiO_2$ 도파로 가변 브래그필터 (Tunable bragg filter of $Si_3N_4-SiO_2$ waveguide using thermooptic effect)

  • 이형종;정환재
    • 한국광학회지
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    • 제3권4호
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    • pp.244-251
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    • 1992
  • $SiO_{2}$를 덮개층으로하는 $Si_{3}N_{4}$ rib 도파로의 $Si_{3}N_{4}-SiO_{2}$ 계면에 브래그격자를 제작하여 매립된 형태의 단일모우드 브래그필터 도파로를 설계하고 제작하였다. HF 완충용액을 사용하여 $Si_{3}N_{4}$ 코어층에 브래그격자를 식각하였으며 1nm까지 식각깊이를 제어하며 균일하게 식각할 수 있었다. 이러한 매립된 형태의 브래그필터는 그 특성이 소자표면의 오염에 영향을 받지 않는다. 브래그필터의 파장스펙트럼 측정에서 도파로의 모우드굴절률과 반사대역폭을 결정하고 이를 계산과 비교하여 논의하였다. 브래그필터의 도파코어층에 미세히터와 silicone rubber의 덮개층을 올려 필터파장을 가면할 수 있는 도파로 가변 필터소자를 제작하였다. 그 결과 브래그파장은 전류의 제곱에 비례하여 단파장 쪽으로 이동하였으며, 이동량은 10mA의 전류에 대해 0.41nm이다.

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이온빔 스퍼터링 증착 ITO 박막의 미세 구조와 전기적 특성 (The electrical properties and microstructure of ITO films deposited by ion beam sputtering)

  • 한영건;조준식;고석근;김동환
    • 태양에너지
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    • 제20권2호
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    • pp.55-65
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    • 2000
  • 이온빔 스퍼터링을 이용하여 Indium tin oxide (ITO)박막을 증착하였다. Ar 가스만을 이용하여 플라즈마를 형성한 경우와 $O_2$를 첨가한 경우에 대해 기판온도를 상온에서 $200^{\circ}C$까지 증가시키면서 온도의 영향을 관찰하였으며 이온빔 에너지의 변화가 박막의 특성에 미치는 영향을 관찰하였다. Ar 이온만으로 증착한 ITO 박막은 domain 구조를 보였으며 Ar+$O_2$ 이온으로 증착한 경우 grain 구조를 나타내었다. Ar 이온만으로 증착된 ITO박막의 전기 비저항의 최소값은 $100^{\circ}C$ 기판온도에서 $1.5\times10^{-4}{\Omega}cm$ 값을 보였으며 산소 첨가의 경우에는 $150^{\circ}C$에서 $4.3\times10^{-4}{\Omega}cm$이었다. 모든 박막이 $100^{\circ}C$이상의 기판 온도에서 가시광 영역에서의 투과도는 80%이상의 값을 보였다.

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SBC 시스템 구성을 위한 단순한 구조를 가지는 고효율 무편광 유전체 다층박막 회절격자 설계 (Design of a Simply Structured High-efficiency Polarization-independent Multilayer Dielectric Grating for Spectral Beam Combining)

  • 조현주;김관하;김동환;이용수;김상인;조준용;김현태;곽영섭
    • 한국광학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.169-175
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    • 2020
  • 격자의 구조가 간단하고 격자의 대조비가 낮은 SBC 시스템 구성을 위한 무편광 유전체 다층박막 회절격자를 설계하였다. SBC 방법으로 결합한 빔의 빔 품질을 높게 유지하기 위하여 회절격자의 파면 왜곡이 최소화되는 구조를 제안하였으며, 오염에 의한 흡수가 발생하지 않고 회절격자를 제작할 수 있는 구조로 회절격자를 최적화 설계하였다. 설계된 회절격자는 1055 nm 중심파장에서 Littrow 각도로 입사하는 경우 무편광 -1차 회절 효율이 99.36%이었으며, 96% 이상의 무편광 회절 효율을 나타내는 공정 여분이 확보되어 있음을 확인하였다.

$MgAl_2O_4$ 기판위에 HVPE법으로 성장된 후막 GaN의 광학적 특성 (Optical Properties of HVPE Grown Thick-film GaN on $MgAl_2O_4$ Substrate)

  • 이영주;김선태
    • 한국재료학회지
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    • 제8권6호
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    • pp.526-531
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    • 1998
  • HVPE(hydride vapor phase epitaxy)법으로 (111) $MgAl_2O_4$기판 위에 $10~240\mu{m}$두께의 GaN를 성장하고, GaN의 두께에 따 광학적 성질을 조사하였다. $MgAl_2O_4$기판 위에 성장된 GaN의 PL 특성은 결정성장온도에서 기판으로부터 Mg이 out-diffusion하여 auto-doping 됨으로써 불순물이 첨가된 GaN의 PL 특성을 나타내었다. 10K의 온도데서 측정된 PL 스펙트럼은 자유여기자와 속박여기자의 재결합천이에 의한 피크들과 불순물과 관련된 도너-억셉터 쌍 사이의 재결합 및 이의 포논 복제에 의한 발광으로 구성되었으며, 깊은 준위로부터의 발광은 나타나지 않았다. 중성 도너에 속박된 여기자 발광 에너지와 라만 $E_2$모드 주파수는 GaN의 두께가 증가함에 따라 지수 함수적으로 감소하였으며, GaN 내의 잔류 응력에 대하여 라만 E2 모드 주파수는$\Delta$$\omega$=3.93$\sigma$($cm^{-1}$/GPa)의 관계로 변화하였다.

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Synthesis and Characterization of Organic Light-Emitting Copolymers Containing Naphthalene

  • Kim, Jung-Sik;Heo, Jun;Kang, Peng-Tao;Kim, Jin-Hak;Jung, Sung-Ouk;Kwon, Soon-Ki;Kim, Un-Kyung;Kim, Yun-Hi
    • Macromolecular Research
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    • 제17권2호
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    • pp.91-98
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    • 2009
  • Conjugated PPV-derived block copolymers containing 2-ethylhexyloxynaphthalene unit were synthesized and characterized in this study. The resulting polymers were soluble in common organic solvents and showed good thermal stabilities, The weight-average molecular weights ($M_w$) of the copolymers ranged from 246,000 to 475,000 with PDIs of $1.3{\sim}2.1$. The optical properties of these polymers, measured both in a chloroform solution and on a film, showed a maximum absorption at $405{\sim}476\;nm$ for Copolymers $I{\sim}VIII$. In the PL spectra, Copolymers $I{\sim}VIII$ showed maximum peaks at $510{\sim}566\;nm$. The HOMOs, LUMOs and band gaps of the PPV derivatives of Copolymers $I{\sim}VIII$ were $5.30{\sim}5.77$, $3.04{\sim}3.24$, and $2.5{\sim}2.2\;eV$, respectively, The multi-layered, light-emitting diodes of ITO/PEDOT/copolymers/LiF/Al exhibited turn-on voltages of $6{\sim}2.5\;V$ Copolymer VIII exhibited the maximum brightness of $3.657\;cd/m^2$. Particularly, Copolymer VII, with an identical composition of MEH-PPV and naphthalene-PPV, showed a maximum luminance efficiency and power efficiency of 2,63 cd/A and 1.06 lm/W, respectively.

Polyimide Multilayer Thin Films Prepared via Spin Coating from Poly(amic acid) and Poly(amic acid) Ammonium Salt

  • Ha, You-Ri;Choi, Myeon-Cheon;Jo, Nam-Ju;Kim, Il;Ha, Chang-Sik;Han, Dong-Hee;Han, Se-Won;Han, Mi-Jeong
    • Macromolecular Research
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    • 제16권8호
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    • pp.725-733
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    • 2008
  • Polyimide (PI) multilayer thin films were prepared by spin-coating from a poly(amic acid) (PAA) and poly(amic acid) ammonium salt (PAAS). PI was prepared from pyromellitic dianhydride (PMDA) and 4,4'-oxydianiline (ODA) PAA. Different compositions of PAAS were prepared by incorporating triethylamine (TEA) into PMDA-ODA PAA in dimethylacetamide. PI multilayer thin films were spin-coated from PMDA-ODA PAA and PAAS. The PAAS comprising cationic and anionic moieties were spherical with a particle size of $20{\sim}40\;nm$. Some particles showed layers with ammonium salts, despite poor ordering. Too much salt obstructed the interaction between the polymer chains and caused phase separation. A small amount of salt did not affect the interactions of the interlayer structure but did interrupt the stacking between chains. Thermogravimetric analysis (TGA) showed that the average decomposition temperature of the thin films was $611^{\circ}C$. All the films showed almost single-step, thermal decomposition behavior. The nanostructure of the multilayer thin films was confirmed by X -ray reflectivity (XRR). The LF 43 film, which was prepared with a 4:3 molar ratio of PMDA and ODA, was comprised of uniformly spherical PAAS particles that influenced the nanostructure of the interlayer by increasing the interaction forces. This result was supported by the atomic force microscopy (AFM) data. It was concluded that the relationship between the uniformity of the PAAS particle shapes and the interaction between the layers affected the optical and thermal properties of PI layered films.

전자빔 증착 Co/Pt 다층박막에서 입사 선속의 방향에 따른 자기 및 자기광학적 성질 변화 연구 (Dependence of Magnetic and Magneto-Optic Properties on Deposition Angle in E-Beam EVaporated Co/Pt Multilayer Films)

  • 문기석;신성철
    • 한국자기학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.313-318
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    • 1994
  • 전자빔 증착 Co/Pt 다층박막에서 증발원자의 입사방향이 자기 및 자기광학적 성질에 미치는 영향을 조사하였다. 조성변조 Co/Pt 다층박막을 증발원자의 입사방향이 $0^{\circ},\;15^{\circ},\;30^{\circ},\;45^{\circ},\;60^{\circ}$이 되도록 하여 전자빔 증착법으로 제조한 후 x-ray 회절실험, 주사전자현미경으로 구조분석을 하였고, VSM, torque magnetometer, Kerr loop tracer를 사용하여 자기 및 자기광학적 성질을 조사하였다. x-ray 회절실험을 통해 모든 시료가 조성변조 다층박막 구조로 만들어졌음을 확인하였고, 입사각이 증가함에 따라 주상구조의 성장방향은 기판 수직선에서 벗어나지만 <111> 결정방향은 기판 수직선 가까이에 존재함이 관찰되었다. 포화자화값 $M_{s}$, Kerr회전각 ${\theta}k$는 입사각이 증가하면 줄어들었는데 이는 박막의 밀도 감소 때문이다. 자기이방성 또한 입사각의 증가에 따라 줄어들었다.

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Indium Tin Oxide (ITO) 투광성 박막의 제조 및 전자파 차폐특성 (Fabrication of Indium Tin Oxide (ITO) Transparent Thin Films and Their Microwave Shielding Properties)

  • 김영식;전용수;김성수
    • 한국재료학회지
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    • 제9권11호
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    • pp.1055-1061
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    • 1999
  • 투명차폐재를 목적으로 Indium Tin Oxide (ITO) 투광성 박막을 제조하고 전자파 차폐특성에 대해 조사하였다. 박막은 RF magnetron co-sputtering 증착장비를 사용하여 제작하였다. RF 인가전력, Ar 및 $O_2$분압, 기판온도를 변화시키며 전기전도도와 투광성을 겸비한 박막의 조성과 구조에 관한 실험을 진행하였다. 최적의 증착조건은 $300^{\circ}C$의 기판온도, 20sccm의 아르곤 유량, 10sccm의 산소유량, 그리고 In과 Sn의 인가전력이 각각 50W와 30W일 경우였으며, 이때 얻어진 박막은 육안으로 분명할 정도의 투광성을 보였고 5.6$\times10^4$mho/m의 높은 전기전도도를 나타내었다. 이렇게 제조된 ITO 박막의 전자파 차폐효과를 차폐이론에 의해 분석하였다. 박막의 전기전도도, 두께, skin depth로부터 차폐기구(흡수손실, 반사손실, 다중반사 보정항)에 대해 고찰하였다. 계산된 차폐효과는 26dB의 값을 보여 투광성 차폐재로 ITO 박막의 사용 가능성을 제시할 수 있었다.

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Synthesis of IZTO(Indium Zinc Tin Oxide) particle by spray pyrolysis and post-heat treatment and characterization of deposited IZTO film

  • Lim, Seong Taek;Kim, Sang Hern
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제33권4호
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    • pp.734-740
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    • 2016
  • The micron-sized indium zinc tin oxide (IZTO) particles were prepared by spray pyrolysis from aqueous precursor solution for indium, zinc, and tin and organic additives such as citric acid (CA) and ethylene glycol (EG) were added to aqueous precursor solution for indium, zinc, and tin. The obtained IZTO particles prepared by spray pyrolysis from the aqueous solution without organic additives had spherical and filled morphologies, whereas the IZTO particles obtained with organic additives had more hollow and porous morphologies. The micron-sized IZTO particles with organic additives were changed fully to nano-sized IZTO particles, whereas the micron-sized IZTO particles without organic additives were not changed fully to nano-sized IZTO particle after post-treatment at $700^{\circ}C$ for 2 hours and wet-ball milling for 24 hours. Surface resistances of micron-sized IZTO's before post-heat treatment and wet-ball milling were much higher than those of nano-sized IZTO's after post-heat treatment and wet-ball milling. From IZTO with composition of 80 wt. % $In_2O_3$, 10 wt. % ZnO, and 10 wt. % $SnO_2$ which showed a smallest surface resistance IZTO after post-heat treatment and wet-ball milling, thin films were deposited on glass substrates by pulsed DC magnetron sputtering, and the electrical and optical properties were investigated.

PECVD법에 의해 증착된 $SiO_2$후막 특성에서 $N_2O$/$SiH_4$Flow Ratio와 RF Power가 미치는 영향 (Effects of $N_2O$/$SiH_4$Flow Ratio and RF Power on Properties of $SiO_2$Thick Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)

  • 조성민;김용탁;서용곤;임영민;윤대호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제38권11호
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    • pp.1037-1041
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    • 2001
  • 저온(32$0^{\circ}C$)에서 SiH$_4$$N_2$O 가스의 혼합을 통해 플라즈마화학기상증착(PECVD)법을 이용하여 실리카 광도파로의 클래딩막으로 사용되는 SiO$_2$후막을 제조하였다. 증착변수가 SiO$_2$후막의 특성에 미치는 영향을 살펴보기 위해 $N_2$O/SiH$_4$flow ratio와 RF power에 변화를 주었다. $N_2$O/SiH$_4$ flow ratio가 감소함에 따라 증착속도는 2.9 $mu extrm{m}$/h), 굴절률은 thermal oxide의 굴절률(n=1.46)에 근접하였다.

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