MEMS 기술이 발전함에 따라 MEMS 공정으로 제작된 미소 구조물들의 검사 및 특성 분석이 매우 중요한 문제로 떠오르고 있다. 그러나 주사 전자현미경(SEM)이나 원자현미경(AFM) 그리고 기계적 표면측정장치 등은 가격적인 측면에서나 방법적인 측면에서 많은 단점을 안고 있다. 본 논문에서는 DVD 광 픽업 장치를 이용하여 미소구조물을 높이를 측정하였다. 미소구조물 시편에서 반사된 빛의 강도를 측정하여 시편의 영상을 만들어냈고 미소구조물의 높이는 포토다이오드에서 측정된 포커스에러신호(FES)을 통해 구할 수 있었다. 제시된 광 픽업 스캐너는 기존 측정 장치와 비교하여 저렴한 비용으로 정밀한 측정이 가능함을 보여주었고, 기존의 기술을 대체할 수 있는 시스템으로 사용될 수 있을 것이다.
The Feshbache-Kermane-Koonin (FKK) multi-step direct (MSD) theory of pre-equilibrium reactions has been used to compute the single-step cross-sections for some (p,${\alpha}$) reactions using the knock-on and pick-up reaction mechanisms at two incident proton energies. For the knock-on mechanism, the reaction was assumed to have taken place by the direct ejection of a preformed alpha cluster in a shell-model state of the target. But the reaction was assumed to have taken place by the pick-up of a preformed triton cluster (also bound in a shell-model state of the target core) by the incident proton for the pick-up mechanism. The Yukawa forms of potential were used for the proton-alpha (for the knock-on process) and proton-triton (for the pick-up process) interaction and several parameter sets for the proton and alpha-particle optical potentials. The calculated cross-sections for both mechanisms gave satisfactory fits to the experimental data. Furthermore, it has been shown that some combinations of the calculated distorted wave Born approximation cross-sections for the two reaction mechanisms in the FKK MSD theory are able to give better fits to the experimental data, especially in terms of range of agreement. In addition, the theory has been observed to be valid over a wider range of energy.
광 pick-up용 비구면 대물 렌즈는 컴퓨터와 멀티미디어 기기 등의 발달로 수요가 급증하고 있으며 사출성형에 의하여 대량 생산되고 있다. 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈의 생산성 향상을 위해서는 생산공정중의 전수검사를 요구하며 이는 측정환경에 강인한 측정기를 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 생산공정중에 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈를 측정할 수 있는 개선된 층밀리기 간섭계를 제안하고자 한다. 본 층밀리기 간섭계는 3개의 직각 프리즘과 1개의 광분할 코팅된 프리즘으로 구성되며 index matching oil에 의하여 상대이동이 가능하도록 조합되어 있다. 간섭무늬를 정확히 분석하기 위한 위상천이와 층밀림량의 조절은 프리즘 간의 상대 이동에 의하여 가능하며 이를 위한 구동 기구부를 제작하였다. 또한, 본 연구에서는 반복연산에 의한 일반 알고리즘을 도입하여 위상천이 시에 발생하는 index matching oil의 유막 두께변화에 의한 기준위상 오차를 보상하였다. 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈의 수차량을 정량적으로 산출하기 위하여 Zernike 다항식 맞춤을 수행하였다. 본 간섭계는 측정환경에 매우 강인하며 방진과 밀폐가 없는 열악한 측정환경하에서 반복측정을 수행하였을 때 .lambda./100 이하의 반복능을 얻었다.
Recently, there is a strong need of DVD (Digital Versatile Disk) system of high density. high speed, and high accuracy System performances mostly depend on not only optical system, but also servo technology to drive it. Therefore, we investigate main technology concerned with optical pick-up unit based on 4.7GB DVD-RAM and analyzes technology of optical and servo systems that are required for high density high speed and high accuracy from the viewpoint of control. And then, we design a linear controller based on specification of 4.7GB DVD-RAM that is commercially available now. We analyze the dynamic characteristics of optical system that is coupled with control system and verify effect on performance indices of servo due to Parameter variation of pick-up by simulation. Finally, we will propose controller design specifications and provide direction of technical development for servo system and problems coupled with high capacity for 15GB level in the future.
There has been lower the tilt margin by the increase of coma aberration due to the reduction of wave-length and the increase of numerical aperture for high density recording. The RF signal degradation is increased as the decrease of tilt margin. To compensate the tilt margin, the optical pick-up actuator for high-speed CD/DVD re-writable system should be able to drive the radial-tilt motion. We announce that the 3-axis drive actuator for high-speed CD/DVD rewritable system. And what was more, the DC/AC sensitivities of this actuator are suitable fur the low-speed playability, the high-speed readability and the high-speed rewritability.
본 연구에서는 광 픽업의 소형, 경량 제작을 위해 MEMS 기술을 이용하여 planar micro optics 방법으로 광 픽업을 구성하는 micro lens, actuator, beamsplitter 등을 설계, 제작하고 집적화한 픽업헤드를 구성하여 그 특성을 분석하였다. 특성분석 결과 disk에 focusing 되는 beam의 형상은 circle type의 비교적 양호한 결과를 얻을 수 있었고 beam spot size는 약 22$\mu m$로 실제 system에서 요구되는 0.9$\mu m$이내의 beam spot size에 비해 약 25배 가량 큰 beam spot size를 얻을 수 있었다.
In this study, micro mirror array for small form factor optical pick-up was replicated by micro UV-molding. First, mold for micro mirror array was fabricated using micromachining. Also, to analyze the characteristics of the surface quality, flatness of replicated mirror surface were measured by white light scanning inteferometry system. The results show that the micro mirror array with a sufficient surface quality can be obtained by polymer replication process.
CD(Compact Disc) 호환성을 가지는 고밀도 재생전용 및 기록재생용 DVD(Digital Video Disc) 기기의 광학픽업 2중 엑츄에이터 구조를 콤팩트하게 할 수 있는 단일 엑츄에이터 설계법을 제시한다. 설계된 엑츄에이터는 가동부에 CD용 대물렌즈와 DVD용 대물렌즈를 함께 장착하고, 사용 디스크에 따라 가동부를 축주위로 회전시켜서 대물렌즈를 전환하는 축습동형 구조를 하고, 자기 스프링에 의하여 부동된다. 감쇠방식으로서는 가동부와 축사이의 쿨롱마찰을 이용하고, 가동부는 유한요소법(FEM)을 통해, 서보대역내에서 2차 진동모드가 발생하지 않도록 한다. 본 논문의 설계법을 검증하기 위하여 시제품을 제작하고, 동특성을 측정, 평가한다.
To improve the switching time of active optical bistable devices, we propose an active optical bistable device that consists of a diode laser, a transistor, and a photodetector. By implementing the proposed device we realize the optical bistable device with a 5 nanosecond switching time. This is the fastest switching time among the hybrid type optical bistable devices. It is also experimentally demonstrated that the proposed device may be used in an optical disc pick up.
Recently, there have been many researches and developments in optical disc drive by high density of track and high access speed. Therefore, the optical pick-up should guarantee highly accurate dynamic characteristics for the wide bandwidth in order to cope with this trend. These demands for optical pick-up actuator can be solved by improvements of lens-holder through the following methods. The first way is the analysis of the sensitivity matrix of design variables for vibration modes after appropriate design parameters are selected like shapes and local dimensions of a lens-holder. The second way is the optimization of design variables by calculating sequential linear programming after the problem of extending bandwidth are converted to problem of minimizing adequate objective function. In the result, modified FE model is obtained through several iterations by finite difference scheme(FDS). While results of the first way show better convergence of the target frequency, the second result shows better reduction of mass increase.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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