A Study on the Vibration Characteristics in Ultrasonic Levitation System according to the Circular Plate (원형 플레이트 형태에 따른 초음파 부상 장치의 진동특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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- 2005.05a
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- pp.364-369
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- 2005