• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.143-143
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• 2012

질화 티타늄(Titanium Nitride)은 뛰어난 물리적 특성이 있어 내마모 재료의 표면처리 분야에 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 음극 아크 방전을 이용하여 빗각 증착을 실시하고 증착 시 기판에 bias 인가 여부에 따라 주상정의 방향성이 변하는 단층 및 다층의 TiN 박막을 제조하였으며 동일한 두께의 다양한 다층구조에서 경도의 증가를 확인하였다.

• Journal of Information Display
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• v.4 no.1
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• pp.1-8
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• 2003

Recent progress in both low pretilt and high pretilt defect free C1 surface stabilized ferroelectric liquid crystal (SSFLC) devices is reviewed. First, by numerical calculation to investigate the balance between surface azimuthal anchoring energy and bulk elastic energy within the confined chevron layer geometry of C1 and C2, it is possible to achieve a zigzag free C1 state by low azimuthal anchoring alignment with a low pretilt angle. The critical azimuthal anchoring coefficient for defect free C1 state is calculated. Its relationship with elastic constant, chevron angle as well as surface topography effect are also discussed. Second, using $5^{\circ}$ oblique SiO deposition alignment method a defect free, large memory angle, high contrast ratio and bistable C1 SSFLC display, which has potential for electronic paper applications has also been developed. The electrooptical properties and bistability of this device have been investigated. Various aspects of defect control are also discussed.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.19 no.5
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• pp.450-456
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• 2006

In this paper, we report the changes of morphology, transmittance and photoluminescence (PL) in hydrogenated amorphous $As_{40}Ge_{10}Se_{15}S_{35}$ thin films, thermally deposited at the vapor incidence angles (${\theta}$) of $0^{\circ},\;45^{\circ}\;and\;80^{\circ}$. The hydrogenation was carried out under the condition of a $H_2$ pressure ($P_H$) of 20 atm and an annealing temperature range, $T_{Anneal}$ of $150^{\circ}C{\sim}210^{\circ}C$. A columnar structures with an inclination angle of approximately $65{\sim}70^{\circ}$ was formed in $80^{\circ}$-deposited films and then the columnar was broken after hydrogenation. Transmittance increases with an increase of deposition angle and by the hydrogenation. In particular, a broad PL band on the extended region is observed in obliquely deposited films and it increases during the hydrogenation.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.159-159
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• 2012

알루미늄 박막을 코팅하기 위해서 비대칭 마그네트론 스퍼터 소스를 이용하였으며 빗각 증착과 외부 자기장에 의한 플라즈마 밀도 제어가 알루미늄 박막의 미세구조에 미치는 영향을 확인하였다. 빗각 증착은 타겟과 기판이 서로 평행하지 않고 빗각을 이루도록 기판을 기울여 코팅하는 방법으로 박막의 미세구조를 제어할 수 있다. 마그네트론 스퍼터 소스 외부에 원형의 전자석을 위치시키고 직류의 전류를 인가하여 타겟 표면에서 발생하는 플라즈마 밀도를 제어할 수 있도록 하였다. 알루미늄을 물리기상증착으로 코팅하면 일반적으로 주상정 구조를 갖는다. 알루미늄 박막이 주상정 구조로 이루어지면 박막의 표면 거칠기가 증가하고 밀도가 감소하는 현상을 보인다. 알루미늄을 빗각 증착으로 코팅하면 주상정 형성이 억제되어 박막의 밀도가 높아지고 표면 거칠기는 감소하는 현상을 보였다. 알루미늄의 빗각 증착 시 전자석에 인가하는 전류의 세기와 방향을 제어하여 타겟 표면의 플라즈마 밀도를 증가시키면 알루미늄 박막의 밀도가 빗각 증착만 적용했을 때보다 증가하고 비정질과 같은 박막 구조를 보이는 현상을 관찰할 수 있었다. 전자석에 인가하는 전류의 방향을 기판 표면의 플라즈마 밀도가 증가하도록 바꾸면 알루미늄 주상정의 크기가 증가하고 기공의 크기도 증가하는 현상을 관찰하였다. 마그네트론 스퍼터 공정 시 자기장과 빗각 증착을 적절하게 이용하여 밀도가 높고 표면 거칠기가 낮은 알루미늄 박막을 코팅할 수 있었으며, 이러한 알루미늄 박막은 기능성 향상을 위한 표면처리 소재로 활용 가능성이 높을 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.94.2-94.2
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• 2017

TiN 박막은 음극 아크 증착(Cathodic Arc Deposition) 방법을 이용하여 단층과 빗각 증착(Oblique Angle Deposition; OAD)으로 다층 박막 제조하여 잔류응력 변화에 대해서 확인하였다. 타겟은 99.5% Ti이고, 기판은 Si wafer를 사용하였다. 기판과 타겟 간의 거리는 29cm이며, 기판을 진공챔버에 장착하고 ${\sim}2.0{\times}10^{-5}Torr$까지 진공배기를 실시하였다. 진공챔버가 기본 압력까지 배기되면 Ar 가스를 주입한 후 약 800V 의 전압을 인가하여 약 30분간 청정을 실시하였다. TiN 박막은 Ar와 $N_2$ 가스를 주입하여 코팅하였으며 모든 박막의 두께는 약 $1{\mu}m$로 고정 하였다. 공정 변수는 기판 인가 전압 이었다. 음극 아크를 이용하여 제조된 TiN 박막은 공정 조건에 따라 잔류응력 변화가 확인되었다. 바이어스를 인가한 단층 박막이 인가하지 않는 박막 보다 잔류응력이 약 1 GPa 증가하였다. 빗각 증착으로 코팅한 다층 박막의 잔류응력은 약 3.4 GPa로 빗각을 적용하지 않은 단층의 코팅 박막 보다 약 2~3 GPa의 잔류응력 감소가 있었다. 이는 빗각구조가 박막의 잔류응력을 감소시키는데 영향을 미친 것으로 판단된다. 본 연구를 통해 얻어진 결과를 바탕으로 빗각 증착을 활용하여 박막의 잔류응력 제어가 가능할 것으로 보인다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.228.1-228.1
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• 2015

We demonstrate a simple route to hybridize two different nanomaterials by using three-dimensional nanodishes that can be used as small plasmonic containers to host guest nanoparticles. Our nanodishes were fabricated using nanoimprint lithography and oblique-angle film deposition, and the guest nanoparticles were drop-casted onto the host nanodishes. Based on the proposed method, colloidal Au nanoparticles were assembled inside Au nanodishes in the form of a labyrinth. These Au nanoparticle-nanodish hybrids excited a strong surface plasmon resonance, as verified by a numerical simulation of the local field enhancement and by direct observation of the enhanced Raman signals. Our results point to the potential of the nanodishes as a useful platform for combining diverse nanomaterials and their functionalities.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.23-23
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• 2014

빗각 증착은 입사 증기가 기판에 수직하게 입사하는 일반적인 공정과는 다르게 증기가 기판의 수직선과 $0^{\circ}$이상의 각을 갖는 증착 방법을 의미한다. 본 연구는 공정 압력이 비교적 높은 스퍼터링 공정에서 빗각 증착을 실시하여 코팅층의 구조제어가 가능한지를 확인하였다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 TiN 박막을 제조함에 있어서 빗각 증착 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막을 제조하고 그 특성을 비교하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2014.11a
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• pp.234-234
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• 2014

철강 제품의 내식성 향상을 위해 강판 위에 알루미늄을 $0^{\circ}$, $30^{\circ}$, $45^{\circ}$, $60^{\circ}$의 빗각으로 증착하여 박막의 조직 및 내식성을 평가하였다. 단일층 박막에서는 회전각도 $60^{\circ}$에서 치밀한 조직이 보였으며 3층의 다층박막에서는 회전각도 $45^{\circ}$ 에서 아주 치밀한 조직이 관찰되었고 염수분무 결과 264시간 경과 후 적청이 발생하기 시작하여 312시간 경과 후 기판의 전 면적에 적청이 나타났다. 이 결과는 $3{\mu}m$ 의 동일한 두께에서 내식성이 3배 이상 향상된 것임을 나타낸다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.73-73
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• 2013

모재의 기계적인 특성을 향상하기 위한 표면처리 소재로 가장 많이 활용되고 있는 TiN을 빗각 증착으로 코팅하여 TiN 코팅층의 기계적 특성변화를 관찰하였다. 빗각 증착과 음극 아크 공정을 이용하여 TiN 코팅층을 제조하면 기울어진 주상구조가 형성되는 현상을 관찰하였다. TiN 코팅 공정 시 기판 홀더에 직류 전압을 인가하면 빗각 증착임에도 불구하고 주상정이 기울어지지 않고 기판에 수직하게 형성되는 현상을 확인하였다. 기울어진 주상정과 수직한 주상정을 다층으로 배열할 경우, TiN 코팅층의 기계적 특성 변화를 관찰할 수 있었다. 일반적인 공정으로 제조한 TiN과 비교하여 경도는 증가하고 탄성계수는 증가하지 않아 $H^3/E^2$의 값이 증가하는 현상을 관찰하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.11a
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• pp.330-330
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• 2008

It is widely investigated to liquid crystal (LC) alignment using non-contact alignment method such as ion-beam (IB) irradiation, UV alignment, and oblique deposition. Because conventional rubbing method has some drawbacks. These include defects from dust and electrostatic charges and rubbing scratch during rubbing process. In addition, rubbing method needs additional process to remove these defects. Therefore rubbing-free methods like ion-beam irradiation are strongly required. We studied LC alignment effect on poly imide surface by IB irradiation and electro-optical (EO) characteristics of twisted nematic liquid crystal display (TN-LCD). In this experiment, a good uniform alignment of the nematic liquid crystal (NLC) with the ion-beam exposure on the polyimide (PI) (SE-150 from Nissan Chemical) surface was observed. We also achieved low pretilt angle as a function of ion-beam irradiation intensity. In addition, it can be obtained the good EO properties of the IB-aligned TN-LCD on PI surface. Some other experiments results and discussion will be included in the poster.