Effects of oxygen partial pressure during sputtering on texture and electrical properties of $CeO_2$ thin films
($CeO_2$ 박막의 결정성 및 전기적 특성에 미치는 sputtering시 산소분압비의 영향)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.10 no.1
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- pp.51-56
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- 2001