• 한국정밀공학회지
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• 제21권1호
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• pp.40-45
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• 2004

Recently, aspheric optical lenses and mirrors, which are harder to manufacture and measure than the conventional spherical ones, are widely used, particularly in electronic fabrication process. Generally, interferometric optical method is used for the measurement of spherical optical surface. However, the interferometric method for aspheric surface measurement is difficult because it needs a precise null corrector and strict environmental conditions such as constant temperature, humidity and vibrations. We have been studied on the manufacturing of aspheric optics to improve the surface profile accuracy and productivity using a corrective polishing process. For the corrective polishing, a practical method of On-Machine Measurement (OMM) is required. For this purpose, an optical OMM system has been studied using the Shach-Hartmann test, which is very robust to the practical polishing environment. The wavefront has been reconstructed from the measured data using the primary aberration polynomial function by the least squares fitting. The measured result of the OMM system shows that the maximum deviation is less than 200 nm for the one of commercial Fizeau interferometer Wyko 6000.

• 한국광학회지
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• 제15권3호
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• pp.241-247
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• 2004

고해상도 인공위성용 망원경의 조립 및 평가를 위해서는 평행빔 만들어주는 시준장치가 꼭 필요하다. 전통적으로 큰 직경의 시준장치로는 비축포물면 거울을 많이 사용하여 왔다. 하지만, 평가대상망원경의 초점거리가 긴 경우 비축포물면은 보다 긴 초점거리를 가져야 하고 공기의 유동효과를 효과적으로 제어하지 못할 경우, 정확한 평가가 이루어지기 어려운 단점이 있다. 이에 비해 Cassegrain 형태 시준장치는 빔을 꺾어 사용하므로, 초점거리에 비해 적은 공간을 차지하고 공기의 유동효과도 상당히 줄일 수 있는 장점이 있다. 따라서, 본 논문에서는 직경 300 mm 인공위성 망원경을 측정하기 위해 직경 450 mm 의 Cassegrain 형태 시준장치를 설계하고 제작한 과정을 설명한다. 주경 및 부경을 제작한 후 시준장치를 구성한 결과 최종 파면수차는 0.07λ(λ=633 nm)로 diffraction limited 성능을 보였다.

• 한국광학회지
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• 제24권6호
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• pp.318-323
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• 2013

디지털 홀로그래피 현미경은 기준광과 시료의 굴절률과 두께에 의한 광경로 차이를 간섭 방법을 이용하여 측정하여 3차원 형상을 측정하는 방법이다. 그리고 광 경로차는 시료의 두께와 시료와 시료 주변의 굴절률 차이에 의존한다. 시료 형상 기울기가 매우 큰 경우에는 광 경로차가 커져 일반적인 간섭 방법으로는 측정이 어렵다. 이런 경우 시료를 액체에 담그어 측정하면 광 경로차가 매우 작아져서 일반적인 간섭 방법을 이용하여 측정할 수 있다. 본 연구에서는 디지털 홀로그램 현미경과 액체를 이용하여 기울기가 큰 비구면 렌즈의 형상을 측정하는 연구를 하였다. 시료의 굴절률과 비슷한 액체를 선택함으로서 비구면 렌즈의 정밀한 3차원 측정이 가능하였다.