• 제목/요약/키워드: Ni-$TiO_2@SiO_2$

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니켈 폴리사이드 게이트의 전기적 특성 (Electrical Properties of Nickel Polycide Gate)

  • 정연실;김시중;김주연;배규식
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1999년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.449-452
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    • 1999
  • NiSi were formed from either Ni monolayer or Ni/Ti bilayer and the SADS method was applied to fabricated PMOSFET with Ni-polycide gate electrodes. PMOSFET made from Ni monolayer showed thermal stability unto 300~40$0^{\circ}C$ for 600sec., and excellent C-V characteristics for long time of drive-in anneal than PMOSFET made from Ni/Ti bilayer. This was attributed to easier decomposition and subsequent Ni diffusion to SiO$_2$ layer, probably due to the presence of Ti unreducing process

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압전세라믹 $(Pb_{1-x}C_{ax})((Co_{\frac{1}{2}}W_{\frac{1}{2}})_yTi_{1-y})O_3+(MnO_2, NiO)$ (Fabrication and Properties of $(Pb_{1-x}C_{ax})((Co_{\frac{1}{2}}W_{\frac{1}{2}})_yTi_{1-y})O_3+(MnO_2, NiO)$ piezoelectric ceramic)

  • 문동진;도시홍;장지원
    • 한국음향학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.55-63
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    • 1987
  • $PbTiO_3$는 perovskite구조를 가진 강유전체로써 Curie온도가 높고 유전율이 작아 고온. 고주파재료로 주목되어왔으나 curie온도 이하에서 결정이방성(C/a)이 크기 때문에 소결 후 결정립(grain)이 입계(grain boundary)에서 분리되어 치밀하고 기계적으로 강한 세라믹을 얻을 수 없었고, 항전력이 커 분극이 어려위 실용화 되지 않았다. 본 연구에서는 $PbTiO_3$에 Pb일부를 Ca로 치환하고 Mn, Ni, Co및 W의 산화물을 첨가하여 치수가 크고 기계적으로 강한 세라믹을 제조하였고, 그 분극 조건도 PZT의 분극 조건과 같은 정도로 개선하였다. 그리고 결합계수이방성(Kt/Kp)이 $5\sim6$으로 크고, 기계적 품질계수 Qm이 $310\sim480$ 정도로 낮으며, 유전상수가 200대의 값으로 PZT보다 1/5정도 작은 고온, 고주파. 광대역 초음파 발진자 재료로 적합한 압전세라믹을 제조 연구하였다.

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Co-interlayer와 $SiO_2$ 상부막의 유무에 따른 Nickel Germanosilicide의 열안정성 연구

  • 조유정;한길진;오순영;김용진;이원재;이희덕;김영철
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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    • pp.215-218
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    • 2005
  • Co-interlayer와 $SiO_2$ 상부막이 nickel germanosilicide 박막의 열안정성에 미치는 영향을 연구하였다. Nickel germanosilicide는 SiGe 기판 위에 Ni(8nm)/TiN(25nm), Ni(6m)/Co(2nm)/TiN(25nm)을 증착하여 각각 one step RIP($500^{\circ}C$)와 two step RTP(500. $700^{\circ}C$)로 형성되었다. 50과 10nm 두께의 $SiO_2$ 박막을 실리사이드 위에 증착하고, 550, 600, $650^{\circ}C$에서 30분간 열처리한 후 면저항 값을 측정하여 열안정성을 평가하였다.

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Rheo-compocasting과 Squeeze casting법에 의해 제조된 AI기 복합재료의특성 (A Characteristics of Al Matrix Composites Prepared by Rheo-compocasting and Squeeze Casting)

  • 서영식
    • 한국재료학회지
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    • 제6권12호
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    • pp.1199-1212
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    • 1996
  • 본 연구는 주조성, 내압성, 내열성 등이 우수하여 군용 및 민수용 기계소재로 이용되고 있는 AI-Si-Mg계 AC4C 합금에 세라믹(AI2O3, AI2O3-TiC)을 강화시키는 복합재료제조에 관한 기초연구의 일환으로 수행하였다. 연구내용은 세라믹 강화재의 젖음성을 높이기 위하여 수소환원법에 의한 AI2O3입자의 Ni 피복과 기존의 프리폰 제조방법보다 간단하고 경제적인 자전연소합성법에 의해 AI2O3-TiC 다공성 pellet을 제조하여, 이들 강화재와 AC4C 기지금속을 이용하여 고대-compocasting 및 squeeze casting법으로 복합재료를 제조하고 미세조직, 계면생성물, 기계적 성질, 내마멸성 등의 특성을 조사하였다. 고대-compocasting법에 의해 제조된 AI2O3Ni 입자 강화 복합재료에서 강화재들은 응집체로 존재하지 않고 비교적 균일하게 분산되었고 AI2O3-TiC 강화재를 이용하여 squeeze casting으로 가압주조 하므로써 기지금속과 강화재의 젖음성이 향상되었다.

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졸-겔법으로 $LaNiO_3$ 전극에 증착된 $(Na_{0.5}Bi_{0.5})TiO_3$ 박막의 배향성 (Orientation of $(Na_{1/2}Bi_{1/2})TiO_3$ thin films deposited on $LaNiO_3$ electrodes by sol-gel methode)

  • 박민석;유영배;문병기;손세모;정수태
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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    • pp.894-897
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    • 2004
  • Sodum bismuth titanate $(Na_{0.5}Bi_{0.5}TiO_3$ or NBT) thin films coated on the $LaNiO_3$ (LNO) electrode by sol-gel methode and rapid thermal annealing (RTA) technique. The NBT (NBT/LNO/Si) thin films examined by x-ray diffraction (XRD). The orientation of NBT was observed for films coated at $900^{\circ}C$, 5 min and $600^{\circ}C$, 60 min. Filed emission scanning electron microscopy (FE-SEM) showed uniform surface composed of grains. The grain size of NBT thin films increased with increasing annealing temperature.

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입도분포에 따른 하상퇴적물의 지구화학적 분산 및 부화 (Geochemical Dispersion and Enrichment of Fluvial Sediments Depending on the Particla Size Distribution)

  • 이현구
    • 자원환경지질
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    • 제32권3호
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    • pp.247-260
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    • 1999
  • Geochermical characteristics of the fluvial sediments deprnding on particle size distribution size were investigated in the respect of majir, minor and rare eath element chemisitry. Ratios of $Al_{2}O_{3}/Na_{2}O$ and $K_{2}O/Na_{2}O$ of the sediments show the homogeneous valus, and partly positive correlation with $SiO_{2}/Al_{2}O_{3}$, respecively. Characteristics of minor element ratios (V/Ni, Cr/V, Ni/Co and Zr/Hf)are within the lower and narrow range. Thesesuggested that sediment sources may be acidic to intermediate granitic rock, and may be explained by simple weathering and sedimentation. With increasing SiO2 contents, concentrations of $Al_{2}O_{3}$, $Fe_{2}O_{3}$, CaO and MgO decreased, but those of $K_{2}O$ and $Na_{2}O$ increased, Concentrations of Ba, Be, Cs, Cu, Li, Ni, Sr, V and Zr show comparatively normal negative and some positive trends. Compared with the mean composition of granite, concentrations of $Al_{2}O_{3}$, $Fe_{2}O_{3}$, MnO, CaO and MgO in the sediments of the study area were highly enriced. Among some minor and rare earth elements, concentrations of As, Cd, Cu, and V were enriched, but those of Be, Ce, Rb, Sc, Sr and Zn were depleted when compared with average composition of granite. By decreasing of particle size fractions, SiO2, Rb and Sr conterts decreased, but concentrations of $Al_{2}O_{3}$, $Fe_{2}O_{3}$, CaO, MgO, $TiO_{2}$, MgO, $P_{2}O_{5}$, Be, Cu, Hf, Pb, V and Zr increased. From the correlations between particle size fractions and element concenreations, some elements of $Fe_{2}O_{3}$, CaO, MgO, $P_{2}O_{5}$, Cu, Ni, Zn and Zr showed typical trends in the secondary contramination sediments. These trends are typically shown under 100 mesh fractions. It indicates that the fraction of minus 100 mesh is the optimum size fraction for geochemical and environmental survey.

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Y5V용 적층 칩 캐패시터를 위한 (BaCa)(ZrTi)$O_3$ 세라믹스 유전 특성 (Dielectric properties of (BaCa)(ZrTi)$_3$ ceramics for multilayer ceramic chip capacitor using Y5V)

  • 윤중락;이석원;이헌용
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 유기절연재료 전자세라믹 방전플라즈마 일렉트렛트 및 응용기술
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    • pp.75-78
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    • 2002
  • The dielectric properties for Ni electrode multilayer ceramic chip capacitor for Y5V has been studied with $(Ba_{0.93}Ca_{0.07})_m(Ti_{0.82}Zr_{0.18})O_2+MnO_2$ 0.2wt%, $Y_2O_3$ 0.18wt%, $SiO_2$ 0.15wt%, glass frit 1 wt% composition. The m ratio in the range of 1.006 ~ 1.012 have dielectric constant 9,500 ~ 14,500 and insulation resistance 390 ~ 460 $G{\Omega}$. Using the dielectrics, nikel electrode multilayer chip capacitor with Y5V, 104Z in EIA 0603 size specific capacitance were developed.

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TiN 박막을 이용한 2층 무반사 코팅의 설계 및 층착 (Design and deposition of two-layer antireflection and antistatic coatings using a TiN thin film)

  • 황보창권
    • 한국광학회지
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    • 제11권5호
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    • pp.323-329
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    • 2000
  • [공기 $ISiO_2ITiNI$ 유리]설계의 반사율이 가시광선 영역에서 0이 되는 TiN의 이상적인 복소수 굴절률을 계산하였다. TiN과 $SiO_2$의 각 층의 두께 변화에 따른 2층 무반사 코팅의 반사율을 전사모의하였으며, 그 결과 TiN의 두께를 조절함으로써 최저 반사율 영역의 폭과 반사율을 변화시킬 수 있었고, $SiO_2$층의 두께를 조절함으로써 반사율이 최저가 되는 중심을 이동시킬 수 있었다. RF 마크네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 TiN 박막의 화학적, 구조적, 전기적 특성은 각각 Rutherford backscattering spectroscopy (RBS), atomic force microscope(AFM), 4점 탐침 측정기를 이용하였다. 또한 TiN 박막과 2층 무반사 코팅의 광학적 특성은 분광광도계와 variable angle spectroscopic ellipsometer(VASE)를 이용하여 조사하였다. AFM 측정 결과 TiN 박막의 rms 거칠기는 $9~10\AA$으로 비교적 박막의 표면은 균일하고, 높은 기판온도에서 증착한 TiN 박막의 비저항은 4점 탐침측정 결과 $360~730\mu$\Omega $ cm로 매우 낮으며, RBS측정 결과 Ti:O:N=1:0.65:0.95 비율로 산소가 포함되어 있음을 알았다. 이러한 TiN 박막의 특성과 전산모의 바탕으로 증착한 TiN층을 이용한 2층 무반사 무정전 코팅[공기 $ISiO_2ITiNI$ 유리]의 반사율은 440~650 nm영역에서 0.5% 미만이었다.

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X7R용 적층 칩 세라믹 캐패시터 조성의 희토류 첨가에 따른 유전 특성 (The Effect of Rare-Earth Additives on Dielectric Properties of X7R MLCC Composition)

  • 이석원;윤중락
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제16권12호
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    • pp.1080-1086
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    • 2003
  • Effects of E$_2$O$_3$. HO$_2$O$_3$ and Dy$_2$O$_3$ addition on dielectric properties of non-reducible BaTiO$_3$ based X7R dielectrics with Ni electrode have been studied in a reduced atmosphere. As the content of rare-earth with E$_2$O$_3$. HO$_2$O$_3$, Dy$_2$O$_3$ was less than 3wt%, The TCC(Temperature Capacitance Change) and insulation resistance characteristics were improved by compensate the oxygen vacancies due to occupy either the Ba or Ti site. We developed the composition of X7R (EIA standard) for higher capacitance MLCC which had high reliability electric properties by the addition of Er ion into BaTiO$_3$ + MgO + Y2O$_3$ + MnO + (Ba$\sub$0.4/Ca$\sub$0.6/)SiO$_3$ composition.

펄스레이져 증착법을 이용한 자기커패시터용 Pt/CoNiFe/$BaTiO_3$/CoNiFe 박막 제조 및 전.자기 특성 연구

  • 나여진;윤성욱;김철성;심인보
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2011년도 춘계학술발표대회
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    • pp.240.1-240.1
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    • 2011
  • 본 연구에서는 펄스레이져 박막 증착법(Pulsed Laser Deposition;PLD)을 이용하여 연자성의 CoNiFe (CNF) 물질과 강유전 특성의$BaTiO_3$ (BTO) 물질을 다층박막 구조로 제작하여 약자장(H=200 Oe)에 의해 에너지를 집적 시키거나 유전상수를 조절하여 박막의 구조 변화에 따른 커패시턴스 변화를 연구하였다. 다양한 구조의 다층 박막은 Si/$SiO_2$/Ti/Pt(111) 기판상에 PLD을 이용하여 증착하였으며, Phillp's X-선 회절기 (XRD)를 이용하여 결정구조와 격자 상수를 결정하였다. FE-SEM, TEM, AFM 및 EDS를 이용하여 박막 표면/단면의 미세구조 및 물질에 따른 조성비를 확인하였다. 자기적 특성을 위해Vibrating Sample Magnetometer (VSM)를 측정하였고, 전기적 특성은 LCR meter를 이용하여 측정하였다.

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