Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

펄스레이져 증착법을 이용한 자기커패시터용 Pt/CoNiFe/$BaTiO_3$/CoNiFe 박막 제조 및 전.자기 특성 연구

  • 나여진 (국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학과) ;
  • 윤성욱 (국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학과) ;
  • 김철성 (국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학과) ;
  • 심인보 (국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학과)
  • Published : 2011.05.27
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Abstract

본 연구에서는 펄스레이져 박막 증착법(Pulsed Laser Deposition;PLD)을 이용하여 연자성의 CoNiFe (CNF) 물질과 강유전 특성의$BaTiO_3$ (BTO) 물질을 다층박막 구조로 제작하여 약자장(H=200 Oe)에 의해 에너지를 집적 시키거나 유전상수를 조절하여 박막의 구조 변화에 따른 커패시턴스 변화를 연구하였다. 다양한 구조의 다층 박막은 Si/$SiO_2$/Ti/Pt(111) 기판상에 PLD을 이용하여 증착하였으며, Phillp's X-선 회절기 (XRD)를 이용하여 결정구조와 격자 상수를 결정하였다. FE-SEM, TEM, AFM 및 EDS를 이용하여 박막 표면/단면의 미세구조 및 물질에 따른 조성비를 확인하였다. 자기적 특성을 위해Vibrating Sample Magnetometer (VSM)를 측정하였고, 전기적 특성은 LCR meter를 이용하여 측정하였다.

Keywords