• 제목/요약/키워드: Nanomaterials

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Fabrication of Conducting Polymer Nanomaterials Using Soft Template Method

  • Jang, Jyong-Sik
    • 한국고분자학회:학술대회논문집
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    • 한국고분자학회 2006년도 IUPAC International Symposium on Advanced Polymers for Emerging Technologies
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    • pp.76-77
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    • 2006

  • Conducting polymers have been attracting considerable attention from both scientific and industrial perspectives by virtue of the beneficial electrical and optical properties originating from their unique ${\pi}-conjugated$ system. Many efforts have been devoted toward fabricating conducting polymer nanomaterials. Of the various synthetic methodologies, soft template method has emerged as a very promising tool in fabricating conducting polymer nanomaterials. For last a few years, our research group has intensively studied the fabrication and application of conducting polymer nanomaterials. In this talk, the recent achievement in the synthetic methodology based on the use of soft templates will be discussed.

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4H-SiC Trench MOSFET 응용을 위한 Ar Reshape 공정 최적화 (Optimization of Ar Reshape Process for 4H-SiC Trench MOSFET)

  • 성민제;강민재;김홍기;김성준;이정윤;이원범;이남석;신훈규
    • 전기전자학회논문지
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    • 제22권4호
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    • pp.1234-1237
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    • 2018

  • 본 논문에서는 planar MOSFET 대비 on 저항 감소 및 스위칭 속도 개선의 장점이 있는 4H-SiC trench MOSFET응용을 위하여 trench MOSFET 중요 이슈 중 하나인 sub-trench의 개선연구를 수행하였다. sub-trench의 제거를 위하여 Ar reshape 공정을 수행하였고, 온도와 공정시간을 변화해가며 trench 형태의 변화를 관찰하였다. 그 결과 $1500^{\circ}C$, 20분 조건에서 가장 적절한 sub-trench 완화를 확인하였다. 또한 Ar reshape 공정 이후 건식/습식 산화공정을 진행하여 결정방향에 따른 산화막 두께변화에 대해 확인하였다.

  • https://doi.org/10.7471/ikeee.2018.22.4.1234 인용 PDF KSCI HTML