Aerosol Deposition 법을 이용한 광촉매 $TiO_2$ 박막 제조
(Fabrication of Photocatalytic $TiO_2$ Thin Film Using Aerosol Deposition Method)
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- 마이크로전자및패키징학회지
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- 제11권4호
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- pp.55-59
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- 2004