• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.11a
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• pp.64-64
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• 2003

고집적화된 시스템 LSI 반도체 소자 제조 공정에서 소자의 고속화 및 고성능화에 따른 배선층수의 증가와 배선 패턴 미세화에 대한 요구가 갈수록 높아져, 광역평탄화가 가능한 STI CMP(Shallow Trench Isolation Chemical-Mechanical-Polishing)공정의 중요성이 더해가고 있다. 이러한 STI CMP 공정에서 세리아 슬러리에 첨가되는 계면활성제의 농도에 따라 산화막과 질화막 사이의 연마 선택비를 제어하는 것이 필수적 과제로 등장하고 있다. 일반적인 CMP 공정에서 압력 증가에 따른 연마 제거량이 Prestonian 거동을 나타내는 반면, 연마 입자의 크기를 변화시켜 계면활성제의 농도를 달리 하였을 경우, 압력 변화에 따라 Non-Prestonian 거동이 나타나는 것을 고찰할 수 있었다. 따라서 본 연구에서는 세리아 슬러리 내에 첨가되는 계면활성 제의 농도와 연마입자의 크기를 달리한 후, 압력을 변화시킴으로 나타나는 non-Prestonian 거동에 미치는 영향에 대하여 연구하였다.

• Particle and aerosol research
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• v.4 no.2
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• pp.69-75
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• 2008

Nanosize ZnO particles were prepared by oxidation of zinc vapor and the particle growth was modeled by a coagulation model by assuming that the characteristic time for reaction was much shorter than coagulation time and residence time (${\tau}_{reaction}{\ll}{\tau}_{coagulation}{\ll}{\tau}_{residence}$). Experimental measurement of zinc oxide particles diameter was consistent with the predicted result from the coagulation model. For practical purpose of predicting zinc oxide size in areosol reactor, the constant kernel solution is concluded to be sufficient, Uniqueness of nano-scale property of zinc oxide was confirmed by the higher photocatalytic activity of zinc oxide than nanosize titania particles.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2017.05a
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• pp.99.2-99.2
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• 2017

전이금속 산화물은 비교적 높은 용량 (700~1000 mAh/g)을 갖기 때문에 차세대 리튬전지용 음극으로서 많은 연구가 진행되어 왔다. 나노 코어-쉘 구조의 다공성 전이금속/전이금속 산화물 구조는 높은 비 표면적의 산화물과 높은 전기전도성을 가지는 금속 코어로 구성되어 고효율 리튬전지에 적용가능하다. 본 연구에서는 구리 소재 상에 나노코어구조의 구리/코발트 입자를 전기화학적으로 석출시킨 후 구리의 산화가 일어나지 않는 전해질/전위 조건에서 코발트만 선택적으로 산화시켜 코어-쉘 구조의 다공성 전이금속/전이금속 산화물 구조를 얻을 수 있었다. 제조된 나노 코어-쉘 구조의 다공성 전이금속/전이금속 산화물 입자를 리튬전지의 음극으로 사용하여 매우 우수한 충/방전 안정성을 나타냄을 확인할 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2011.05a
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• pp.70-70
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• 2011

표면처리는 전기적, 물리적, 화학적 처리방법 등을 통해 보호표면을 생성시킴으로서 재료의 외관미화, 내마모성, 전기절연, 전기전도성 부여 등의 폭넓은 목적을 달성시키고자 하는 일련의 조작을 말한다. 최근 스마트 휴대폰으로 대표되는 이동통신기기 산업의 빠른 성장으로 인하여 이들 기기를 보호하기 위한 표면 처리기술도 함께 발전하고 있다. 그중 대표적인 것이 나노기술을 융합한 보호막 도장기술이다. 나노입자를 분산하거나 나노상(phase)을 융합하여 제품의 표면에 보호막을 도장하는 기술이며, 그 주된 목적은 내 스크래치, 내 부식 등의 물리 화학적 보호기능을 수행하도록 층(layer)을 형성하는 것이다. 본 연구에서는 제조된 실리카 나노입자와 유기물을 사용하여 휴대폰 케이스에 도장막을 형성하였고, Scratch, Wear, hardness Test등의 분석을 통하여 유무기 하이브리드 도장막의 특성을 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.06a
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• pp.222-223
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• 2006

고전압 전기기기의 열화는 여러 가지 요인에 의해 발생한다. 따라서 여러 환경 요인에 영향을 비교적 적게 맡는 절연재료 개발에 의한 절연성능 항상은 그동안 많은 연구자들의 관심의 대상이 되어왔다. 최근 고분자 수지 내에 나노 크기의 충진제를 혼합하여 절연성능 및 기계적, 열적 특성을 향상시키는 연구가 점차 활성화되고 있다. 그러나 나노 크기 입자의 활용은 분자단위 크기의 입자가 가지는 Van der Waals력의 문제로 인하여 전기기기의 절연재료로 활용하기에는 어려운 점이 나타나고 있다. 본 논문에서는 에폭시/$SiO_2$ 나노복합재료를 제조하여 분산시간에 따른 입자의 문산 상태를 살펴보았다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.31 no.12
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• pp.1101-1106
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• 2014

Hybrid manufacturing technology has been advanced to overcome limitations due to traditional fabrication methods. To fabricate a micro/nano-scale structure, various manufacturing technologies such as lithography and etching were attempted. Since these manufacturing processes are limited by their materials, temperature and features, it is necessary to develop a new three-dimensional (3D) printing method. A novel nano-scale 3D printing system was developed consisting of the Nano-Particle Deposition System (NPDS) and the Focused Ion Beam (FIB) to overcome these limitations. By repeating deposition and machining processes, it was possible to fabricate micro/nano-scale 3D structures with various metals and ceramics. Since each process works in different chambers, a transfer process is required. In this research, nanoscale 3D printing system was briefly explained and an alignment algorithm for nano-scale 3D printing system was developed. Implementing the algorithm leads to an accepted error margin of 0.5% by compensating error in rotational, horizontal, and vertical axes.

• Journal of the Korean institute of surface engineering
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• v.40 no.2
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• pp.63-69
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• 2007

Ni-SiC composite coating layers were formed using two kinds of SiC nano-particles by DC electrodeposition in a nickel sulfamate bath containing SiC particles. The effect of stirring rate and SiC particle type on the microstructure and properties of Ni-SiC composite coating layers were investigated. Results revealed that the trend of deposition rate is closely related to the codeposition of SiC and the deposition rate. or nickel, and the codeposition behavior of SiC can be explained by using hydrodynamic effect due to stirring. The average roughness and friction coefficient are closely related to the codeposition of SiC and SiC particle size. It was found that the Victors microhardness of the composite coating layers increased with increasing codeposition of SiC. The composite coating layers containing smaller SiC particle showed higher hardness. This can be explained by using the strengthening mechanism resulting from dispersion hardening. Anti-wear property of the composite coating layers formed using 130 nm-sized SiC nano-particles has been improved by 2,300% compared with pure electroplated-nickel layer.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.54 no.1
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• pp.137-141
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• 2010

Generally, polymer materials are not air-permeable and hydrophilic. In addition, they do not possess anti-fungal property. Hydrophilicity, air-permeability, and anti-fungal properties of new composites consisting of polymer, ceramic nanoparticles, and silver ion were investigated by contact angle measurements, air permeation time, and cell culture. The hydrophilic, air-permeable, and anti-fungal composites can be used in health care industry.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.27 no.12
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• pp.1734-1743
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• 2003

Aerosol generator using an electrically heated tube furnace is a stable apparatus to supply nanometer sized aerosols by using the evaporation and condensation processes. Using this method, we can generate highly concentrated polydisperse aerosols with relatively narrow size distribution. In this work, characteristics of particle size distribution, generated from a tube furnace, were experimentally investigated. We evaluated effects of several operation parameters on particle generation: temperature in the tube furnace, air flow rates through the tube, size of boat containing solid sodium chloride(NaCl). As the temperature increased, the geometric mean diameter increased and the total number concentration also increased. Dilution with air affected the size distribution of the particles due to coagulation. A smaller sized boat, which has small surface area to contact with air, brings smaller particles of narrow size distribution in comparison of that of a larger boat. Finally, we changed the electrical mobility diameter of aggregate sodium chloride particles by varying relative humidity of dilution air, and obtained non-aggregate sodium chloride particles, which are easy to generate exact monodisperse particles.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.1378_1380
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• 2009

절연파괴 강도에대한 특성분석을 위해 와이블 plot을 이용하였다. ENMMC에서 실란처리와 미처리특성에서 실란처리된 결과 형상파라미터가 상대적으로 높은 값을 나타내었다. 이는 절연파괴결과가 균질함을 분명하게 나타낸 결과이다. 또한 스케일파리미터에서도 처리된 결과가 상대적으로 높은 결과를 보이고 있다. 나노입자 충진함량에 대한 효과에서도 체적비로 6.2vol%가 24.87vol%보다 월등하게 높은 형상파리미터와 스케일 파리미터를 나타내었다. 현장에서는 B10의 수명이 누적확률(63.2%)보다 오히려 유효한 평가자료 라고 사료된다. 역시 실란처리 된 결과가 미처리된 것에 비하여 그리고 나노입자 충진함량이 적을수록 높은 결과를 나타내었다. 이로서 중전기기 산업절연재료로서 향후 전망을 크게 할 것으로 본다.