MEMS 기반 마이크로 볼로메타의 비분산식 이산화탄소 가스 센서 응용
(NDIR $CO_2$ Gas Sensor using MEMS-based Microbolometer)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2005년도 춘계학술발표대회 및 제8회 신소재 심포지엄 논문개요집
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- pp.125-125
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- 2005