• 한국광학회지
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• 제34권6호
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• pp.248-260
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• 2023

낮은 NA의 굴절형 대물렌즈와 반사형 focal reducer로 구성된 NA 0.5의 굴절-반사 대물렌즈를 설계하였다. 굴절형 대물렌즈로는 NA 0.25인 Lister 대물렌즈가 사용되고, 반사형 focal reducer는 구면수차, 코마, 비점수차가 보정된 2구면경계가 사용되었다. 설계된 굴절-반사 대물렌즈는 높은 NA를 가졌음에도 18 mm의 긴 작동거리와 NA 0.25의 Lister 대물렌즈보다 개선된 결상성능을 가지고 있다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제3권2호
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• pp.89-93
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• 2002

PbO 함유 다성분계유리 및 파이버를 제조하였으며, PbO함유 유리는 이중도가니법(double crucible methodo에 의한 높은 개구수를 갖는(high-numerical aperture : N.A.) 광파이버(optical fiber) 제조에 적합하였다. 본 실험에 있어서는 SiO₂, PbO를 주성분으로 하고 K₂O, Na₂O, B₂O₃, A1₂O₃등의 산화물을 적량 배합하였으며, 또한 double crucible method에 의해 제조된 파이버의 광학적, 기계적 및 구조적 특성을 관찰하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제20권9호
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• pp.173-179
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• 2003

In optical storage device system, there are several research topics to increase its recording density. The main idea is reducing wave length of laser diode and magnifying the number of numerical aperture (NA). In conventional optical system NA cannot be over the unity in the air because of its diffraction limit. But it is possible to overcome its limitation of unity in near field using Solid Immersion Lens. In this work, the mathematical Solid Immersion Lens (SIL) design process was illustrated by using near field theory. Also, numerical SIL design parameters were calculated by means of CODE V. Through the work, we propose the new type of SIL for high density optical recording systems.

• 전기의세계
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• 제30권3호
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• pp.146-151
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• 1981

본고의 내용은 다음과 같다. 1. 광섬유의 구조와 특성 2. Numerical Aperture(NA) 3. 편광현상(Polarization effect) 4. 신호의 감쇄 5. 투과 대여폭(Transmission Bandwidth)

• 한국광학회지
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• 제34권2호
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• pp.53-60
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• 2023

193 nm에서 반도체 전공정 검사 장치에 적용될 수 있는 반사 굴절 혼합 형식(카타디옵트릭)의 수치 구경(numerical aperture, NA) 0.6 대물렌즈를 설계하였다. 200 nm 공간 분해능 및 0.15 mm 이상의 시야를 확보하기 위하여, 먼저 렌즈 전체 배치를 포커싱 렌즈 그룹, 필드 렌즈 그룹 및 NA 변환 그룹으로 구성하였으며, 선행 그룹에 포커싱된 빔의 수치 구경 값을 필요 값, 즉 0.6으로 변환하는 기능을 수행한다. 총 11매의 광학 소자로 구성된 최종 설계는 모든 관측 시야에 대하여 λ/80 이하의 RMS 파면 수차를 만족하였다. 또한 고분해능 대물렌즈의 높은 환경 민감도로 인한 온도 변화에 따른 광학계 성능 해석 결과, ±0.1 ℃의 온도 변화에서도 목표 성능 이하로의 성능 저하가 확인되어 온도 변화에 따른 광학 보상이 반드시 필요하였다. 이에 초점면 이동을 보상자로 적용할 경우, 20 ± 1.2 ℃까지 RMS 파면 수차 변화량이 λ/30 이하로 목표 성능을 만족하여 실제 반도체 공정 환경에서도 이용이 가능함을 확인하였다.

• 한국광학회지
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• 제19권4호
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• pp.327-333
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• 2008

일반적으로 NA(Numerical aperture)가 큰 렌즈를 사용하면 획득된 영상의 품질이 좋아진다. 오목거울은 NA가 크면서 직경이 크게 제작하는 비용이 저렴하다. 본 논문에서는3차원 형상 측정용 모아레 영상의 품질향상을 위해 NA가 큰 대구경 오목거울을 이용한 방법을 제안하고 구현하였다.오목거울은 빛을 반사하는 면이 오목한 거울로써, 가까운 거리에 있는 물체를 볼 때, 물체와 모양은 같고 크게 보이는 것이 특징이다. 보통의 경우, 작은 것을 크게 보거나 빛을 모으는데 이용한다. 오목거울의 집광 특징은 볼록거울과 방향만 다를 뿐 동일한 역할을 하고, 수 미터 직경의 대구경으로 제작하기 용이하며, 대구경이면서 $0.8{\sim}2$의 높은 NA를 갖는 오목거울을 구현하기 용이하다. 오목거울의 볼록 렌즈와 동일한 집광 특징을 이용하여 망원경 등의 반사경으로 많이 이용하고 있다. 3차원 영상획득 방법을 위해 필요한 장치는 광을 출사하는 광원,광원으로부터 출사된 광을 집광하기 위한 집광렌즈,집광렌즈를 통해 집광되어 입사되는 광을 투과시키는 격자,격자로부터의 출사 광을 평행광으로 출사하는 영사렌즈,영사렌즈의 평행광을 반사시켜 전량의 광을 측정대상물 쪽으로 출사하는 오목거울 그리고 측정 제품으로부터 반사된 반사광을 획득하는 CCD 카메라를 포함한다. 대구경 오목거울로 NA값을 변화시켜서 표면의 굴곡이 심한 납볼의 영상을 획득하여 품질향상 정도를 평가하였다. NA가 $0.15{\sim}0.8$까지 변화했을 때 영상 내 밝은 부분과 어두운 부분의 차이가 $46{\sim}1.33$배로 변화하여 NA를 높이면 영상의 품질이 향상됨을 알 수 있었다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.178-178
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• 2009

High-density optical information storing equipment, which is using Blu-ray, is the next generation information storing equipment that has about form six times to thirty-five times capacities. and high-density optical information storing equipment uses high NA(Numerical Aperture) aspheric glass objective lens as optical pick-up equipment to record and recognize high-density date. Generally this objective lens is developed and produced through a way of GMP(Glass Molding Press) that uses molding core that is performde by Ultra precision grinding, but grinding performing that has high-accuracy is very difficult because objective lens form is high NA. In this research, we preformed Ultra precision turning, using single crystal diamond bite, about WC(Co 0.5%), sintering brittleness material that is used molding core's material for GMP. and we confirmed aspheric glass lens compression of deformities molding core's Ultra precision turning possibility by measuring surface roughness(Ra) and processing surface's condition.

• 한국광학회지
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• 제23권1호
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• pp.1-5
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• 2012

근축회절 이론에서는 횡배율이 달라도 파장과 수치구경이 같으면 항상 동일하게 회절한다. 하지만 수치구경이 큰 광학계에서는 비근축 회절효과에 의하여 횡배율에 따라 회절 특성이 변화하게 된다. 이 연구에서는 높은 수치구경을 가지는 무수차 광학계에서 나타나는 비근축 회절효과를 주요면의 만곡이라는 관점에서 해석하고, 배율이 다른 무수차 원추곡면경의 결상에서 비근축회절효과에 의한 MTF의 변화를 살펴보았다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.644-647
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• 2003

Resulting from reproducibility and possibility of mass production. many researches to fabricate micro lens array using lithography have been developed. However, it still remains the level of fabricating compensation lens. Therefore, to realize the fabrication of lens having high numerical aperture can be the key technology of ultra slim optical system. Reflow phenomenon have been researched to make lens having high refractive power. And through those researches, the possibility to fabrication of high refractive power lens has been investigated. In this paper, we analyze the effect of many parameters in reflow process to get an aspheric shape with high repeatability. And we make possible to estimate shape error, through we give direct information about decrease in volume of photoresist.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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• pp.290-290
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• 2009

Blu-ray Disk, the next generation optical information storing equipment used Blu-ray is the next generation leading storing equipment that has capacity is about from six times to thirty-five times bigger than the existing CDs, DVDs. Especially, we need elaborate optical pick-Up equipment to record and recognize detailed date. Moreover, Blu-ray disk has so narrow track-pitch so it is used high NA(Numerical Aperture) aspheric glass objective lens. In this research, we processed optical pick-up aspheric glass objective lens molding press core by parallel grinding method with ultra precision machining and mold core surface measured form accuracy(PV), surface roughness(Ra).