Effect of pH, Molecular Weight, and Concentration of Surfactant in Nano-Ceria Slurry on STI-CMP (STI-CMP에서 나노 세리아 슬러리에 첨가되는 계면 활성제의 농도, pH, 분자량의 영향)
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- Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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- 2005.05a
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- pp.50-50
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- 2005