• 한국정밀공학회지
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• 제24권2호
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• pp.13-18
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• 2007

• 센서학회지
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• 제11권1호
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• pp.39-47
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• 2002

광 저장장치는 디스크 트랙에 레이저빔을 위치시켜 정보를 저장한다. 정보의 용량이 증대되면서 좀더 높은 저장 밀도를 요구하게 되었고, 그만큼 정밀한 레이저빔의 위치제어가 필요하게 되었다. 본 논문에서는 광 저장장치용 정전형 마이크로 미러를 MEMS기술을 이용해 제조하고 그 특성을 조사하였다. 마이크로 미러는 벌크 마이크로머시닝 기술에 의하여 제조되었으며, 특히 접합공정이 이루어지고 난 후에 연마공정에 의해서 실리콘 웨이퍼의 두께 및 미러면의 형태를 형성하는 공정을 적용함으로서 제현성을 높였다. 제작된 미러의 크기는 $3.0mm{\times}2.5mm$ 이고, 35V에서 변위는 $3.2{\mu}m$ 였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제23권1호
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• pp.97-104
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• 2006

ELID(Electrolytic In-process Dressing) grinding is an excellent technique for mirror grinding of various advanced metallic or nonmetallic materials. A polishing process is also required for elimination of scratches present on ELID grinded surfaces. MAP(Magnetic Assisted Polishing) has been used as polishing method due to its high polishing efficiency and to its resulting in a superior surface quality. This study is describing an effective fabrication method combining ELID and MAP of nano-precision mirror grinding for glass-lens molding mould. It also presents some techniques for achieving the nanometer roughness of the hard metals, such as WC-Co, which are extensively used in precision tooling material.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1985-1987
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• 2002

Silicon bulk micromachined micromirrors are designed and fabricated for out-of-plane right angle reflection. The micromirror is comprised of a minor plate, springs, magnetic bars and electrodes. Single crystalline silicon is used for a flatness improvement of a mirror plate. Out-of-plane right angle reflection requires a 45 degree operation of the micromirror. The micromirrors are operated by applying a magnetic field, which is generated by a coil located below a substrate. For an individual mirror operation, each mirror is clamped using an electrostatic force against the electromagnetic force. Angular deflections are measured and compared with theoretical data. The micro mirror operates up to 45 degree when magnetic field is 4 kA/m which is generated by a 115 mA coil current Simple addressing is tested, and it is shown that a clamping voltage is less than 5V.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.59-64
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• 2002

One of the exciting research areas of the X-ray microscope is the observation of a living cell. In order to study a living cell with high resolution the order of the several tens nm, we need to improve the efficiency of mirrors which are components of an X-ray microscope system. In this paper we present the mirror design and manufacture to give a high resolution and reflectivity. We designed Wolter type I the condenser and objective mirror with the several tens of nm resolution. According to mirror design. we made the program using the visual basic. Using the new processing method as well as the ultra-precision diamond cutting, we directly processed the inside of an aluminum hulk in order to manufacture mirrors. From the experimental result, we think that the new processing method will improve a high reflectivity through the improved cutting tools and optimum cutting conditions.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.183-186
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• 1995

The fabrication of dielectric multilayer mirror(DMM) optimized at the wavelength of 1.55$\mu\textrm{m}$ and its spectral properties were investigated. The materials used in the fabrication of DMM are TiO$_2$-SiO$_2$, which have the advantage of yielding high reflectance for relatively small numbers of layers. The optical constants of TiO$_2$single film were obtained by using a modified envelope method. The reflectances of DMMs with 3,7,11 and 23 layers were 58%, 89%, 97% and 99.9% at the wavelength of 1.55$\mu\textrm{m}$, respectively.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.308-308
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• 2004

쾌속조형기술은 설계형상의 확인, 시작품의 제작, 금속 및 세라믹 부품에의 응용, 동시공학, 의료, 마이크로 머신 둥 제조업 전반에 걸쳐서 많은 응용이 이루어지고 있다 여러 가지의 기술들이 개발되고 이를 응용한 장비들이 생산되어 보급됨으로써 이러한 적용분야들은 점차 확대되고 있다. 본 연구에서는 분말을 소결, 적층하여 원하는 형상을 만들어내는 SLS(Selective Laser Sintering) 장비를 개발하는데 있어서 레이저 경로의 제어를 통한 분말을 소결시키는 부분인 레이저 주사 시스템(laser scanning system)을 개발하고자 한다.(중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2012년도 추계학술대회 논문집
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• pp.367-368
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• 2012

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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• pp.16-16
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• 1995

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2005년도 제16회 정기총회 및 동계학술발표회
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• pp.314-315
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• 2005