Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1995.11a
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- Pages.16-16
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- 1995
Optimization of ion beam etching for fabrication of surfaceemitting lasers with AlAs/GaAs mirror layers
AlAs/GaAs 거울층을 갖는 표면방출레이저 제작을 위한 이온빔 식각의 최적화
Abstract
Keywords