• 제목/요약/키워드: Microwave Plasma

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기판 각도에 따른 탄소나노월의 성장 특성 (Growth Properties of Carbon Nanowall According to the Substrate Angle)

  • 김성윤;정연호;한재찬;최원석
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제26권9호
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    • pp.686-689
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    • 2013
  • The carbon nanowall (CNW) is a carbon-based nanomaterials and it was constructed with vertical structure graphenes and it has the highest surface density among carbon-based nanostructures. In this study, we have checked the growth properties of CNW according to the substrate angle. Microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system was used to grow CNW on Si substrate with methane ($CH_4$) and hydrogen ($H_2$) gases. And, we have changed the substrate angle from $0^{\circ}$ to $90^{\circ}$ in steps of $30^{\circ}$. The planar and vertical conditions of the grown CNWs according to the substrate angle were characterized by a field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) and energy dispersive spectroscopy (EDS). In case of the growth angle increases, our experimental results showed that the length of the CNW was shortened and the content of carbon component was decreased.

Boving Plasma첨가에 따른 Vienna Sausage의 물성 변화 (Rheological Properties of Vienna Sausage by Addition of Dried Boving Plasma)

  • 양철영
    • 한국축산식품학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.264-271
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    • 2000
  • 정육 대체물질의 첨가에 따른 효과를 살피기위해 건조 소 혈장 단백질을 단계별로 높이면서 제조한 비엔나 소시지의 물성적 특성 드을 경시적으로 고찰 비교하였다. 수율은 방냉후 축정된 것으로 81.60~84.88% 범위이며 대조구와 D-2, D-3간의유의적인 차이를 보였다. (P<0.05). 조직의 부분적인 연화 정도는 대조구에 비해 비교구에서 소 혈장 단백질의 첨가수준이 높은 시럼구에서 높았고 열 매체에 의한 영향은 boiled>microwave>fried의 순이 었다. 겔강도와 경도는 대조구와 비교구 사이, 수직 측정과 수평 측정 사이, 저장기간에 따라 유의적인 차이를 볼 수 있었다.(P<0.05), 전단 강도는 수직측정보다는 수평측정이 높은 수치를 보이고 initial에서 대조구와 비교구 사이 차이가 적게 나타나나 40일 저장한 것에서는 차이 값이 높았다. 전단 경도에 있어서는 initial 에 비해 10일 , 40일 에는 감소함을 보이나 수칙측정과 수평측정간 차이를 보였다 L 값은 시험구간과 저장기간에 의해서도 안정함을 보이며 a값은 대조구에 비해 비교구에서 감소함을 보이나 10일 40일 저장된 것에서 증가함을 보이고, b값은 시험구간 사이 비슷한 수준이나 저장기간에 따라서는 감소를 보였다. 기호성 평가에서 색상, 풍미, 조직감은 시험 제품 사이에 차이를 보이고 저장기간에 의해서는 약간의 감소를 보이며 천제적인 수용도는 대조구가 가장 높은 점수였다.

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One- and Two-Dimensional Arrangement of DNA-Templated Gold Nanoparticle Chains using Plasma Ashing Method

  • Kim, Hyung-Jin;Hong, Byung-You
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.291-291
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    • 2010
  • Electron-beam lithography (EBL) process is a versatile tool for a fabrication of nanostructures, nano-gap electrodes or molecular arrays and its application to nano-device. However, it is not appropriate for the fabrication of sub-5 nm features and high-aspect-ratio nanostructures due to the limitation of EBL resolution. In this study, the precision assembly and alignment of DNA molecule was demonstrated using sub-5 nm nanostructures formed by a combination of conventional electron-beam lithography (EBL) and plasma ashing processes. The ma-N2401 (EBL-negative tone resist) nanostructures were patterned by EBL process at a dose of $200\;{\mu}C/cm2$ with 25 kV and then were ashed by a chemical dry etcher at microwave (${\mu}W$) power of 50 W. We confirmed that this method was useful for sub-5 nm patterning of high-aspect-ratio nanostructures. In addition, we also utilized the surface-patterning technique to create the molecular pattern comprised 3-(aminopropyl) triethoxysilane (APS) as adhesion layer and octadecyltrichlorosilane (OTS) as passivation layer. DNA-templated gold nanoparticle chain was attached only on the sub-5 nm APS region defined by the amine groups, but not on surface of the OTS region. We were able to obtain DNA molecules aligned selectively on a SiO2/Si substrate using atomic force microscopy (AFM).

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Effect of FTO coated on stainless steel bipolar plate for PEM fuel cells

  • 박지훈;장원영;변동진;이중기
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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    • pp.55.2-55.2
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    • 2009
  • A polymer electrolyte membrane (PEM) fuel cell has been getting large interest as a typical issue in useful applications. The PEMFC is composed of a membrane, catalyst and the bipolar plate. SnOx:F films on SUS316 stainless steel were prepared as a function of substrate with using electron cyclotron resonance-metal organic chemical vapor deposition (ECR-MOCVD) in order to achieve the corrosion-resistant and low contact resistance bipolar plates for PEM fuel cells. The SnOx:F films coated on SUS316 substrate at surface plasma treatment for excellent stability, before/after heat treatment for good crystalline structure and microwave power for were characterized by X-ray diffraction (XRD), auger electron microscopy (AES) and field emission-scanning electron microscopy (FE-SEM). The SnOx:F film coated on SUS316 substrate with various process parameters were able to observe optimum interfacial contact resistance (ICR) and corrosion resistance. It can be concluded that fluorine-doping content plays an important function in electrical property and characteristic of corrosion-protective film.

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PERMEATION OF PURE AND MIXED GASES THROUGH COMPOSITE MEMBRANES PREPARED BY PLASMA POLYMERLZATION OF FLUOROCARBONS

  • Koo, Ja-Kyoung;Kim, Byoung-Sik
    • 한국막학회:학술대회논문집
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    • 한국막학회 1997년도 춘계 총회 및 학술발표회
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    • pp.13-16
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    • 1997
  • The permeation, solution and diffusion of simple gases ($He, H_2, O_2, N_2$ and CH$_4$) and condensible vapers($CO_2, SO_2, C_2H_4$ and $C_3H_8$), and the mixed gases ($O_2/N_2$ mixtures and $CO_2/CH_4$ mixtures) through composite membrane was studied. Composit membranes were made by deposition of aromatic fluorocarbons onto polymer substrams of porous Celgard in a microwave discharge. In the both cases of simple gases and condensible vapors, as the kinetic molecular diameter of the permeant molecules increased, the permeability decreased. However, when the kinetic molecular dimemr are similar, the condensible vapors showed higher permeabilities than that of permanent gases. The vapor solubility increased with increasing critical temperature of the vapors. However, in the case of propane, despite its high critical temperature, it showed lower solubility than other vapors. The vapor diffusivity decreased with increasing kinetic diameter of the molecule. Compared to conventional polymers, the plasma polymers showed much lower values for vapor diffusivities. The pressure of the permeant did not affect the permeability. The permeability was also not affected by the composition in cases of mixed gases.

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호박류의 조리방법에 따른 무기질 성분의 변화 (Effect of Cooking Methods on Elemental Composition of Pumpkin (Cucurbitaceae spp.))

  • 홍영신;김경수
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제46권10호
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    • pp.1195-1204
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    • 2017
  • 본 연구는 애호박, 쥬키니, 단호박 및 늙은호박 조리방법에 따른 무기성분 변화를 확인하고자 하였다. 조리방법은 데치기, 전자레인지 및 찌기를 이용하였으며, 조리시간은 3분, 5분 및 10분으로 설정하였다. 설정된 시간에 따라 3가지 조리방법을 이용하여 조리한 후 건조하였다. 건조된 시료는 분쇄 후 microwave법을 이용하여 분해하였으며, 다량 무기성분은 ICP-OES로, 미량 무기성분은 ICP-MS를 이용하여 분석하였다. 4종의 호박에 함유된 다량 무기성분은 칼륨, 인, 칼슘, 마그네슘, 황, 철, 아연, 나트륨 순으로 확인되었으며, 미량 무기성분은 망간, 구리, 루비듐, 바륨, 니켈, 크롬, 갈륨, 코발트, 리튬, 바나듐, 셀레늄 순으로 검출되었다. 4종의 호박에 함유된 무기성분은 데치기, 전자레인지 조리 및 찌기에서 모두 감소하였으며, 데치는 조리에서 가장 많은 감소를 보였다. 조리시간에 따른 무기성분의 함량 변화는 조리시간이 증가할수록 낮은 함량을 보였으며, 5분과 10분에서 큰 차이를 확인하였다. 미량 무기성분의 함량은 조리방법과 조리시간에 따른 큰 변화를 확인할 수 없었다. 호박의 종류에 따른 무기성분의 조성은 비슷하였으며, 무기성분의 함량은 약간의 차이를 나타내었다. 애호박과 늙은호박의 무기성분은 찌는 조리법에서 높은 잔존율을 보였으며, 쥬키니와 단호박은 전자레인지 조리 시 가장 높은 잔존율을 나타내었다. 결과적으로 조리방법과 시간은 호박의 무기성분 잔존량에 영향을 주는 것으로 확인되었다.

Determination of Mercury in Fly Ash by Using Flow Injection Cold Vapor Isotope Dilution Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

  • Suh, Jung-Ki;Min, Hyung-Sik;Kamruzzaman, Mohammad;Lee, Sang-Hak
    • Mass Spectrometry Letters
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    • 제3권2호
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    • pp.58-61
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    • 2012
  • A method based on flow injection-isotope dilution-cold vapor-inductively coupled plasma mass spectrometry (FI-IDCV-ICP/MS) has been applied to determine trace level of mercury in fly ash. $^{200}Hg$ isotopic spike was added to 0.25 g of BCR176R fly ash and then decomposed by microwave digestion procedure with acid mixture A (8 mL $HNO_3$ + 2 mL HCl + 2 mL HF) and acid mixture B (8 mL $HNO_3$ + 2 mL $HClO_4$ + 2 mL HF) for applying IDMS. Mercury cold vapor was generated by using reductant solution of 0.2% (w/w) $NaBH_4$ and 0.05% (w/w) NaOH. The measurements of n($^{200}Hg$)/n($^{202}Hg$) isotope ratio was made using a quadrupole ICP/MS system. The accuracy in this method was verified by the analysis of certified reference material (CRM) of fly ash (BCR 176R). The indicative value of Hg in BCR 176R fly ash was $1.60{\pm}0.23$ mg/kg (k = 2). The determined values of Hg in BCR 176R fly ash by the method of FI-CV-ID-ICP/MS described in this paper were $1.60{\pm}0.24$ mg/kg (k = 3.18) and the analysis results were in well agreement with the indicative value within the range of uncertainty.

Determination of Dibutyltin in Sediments Using Isotope Dilution Liquid Chromatography-Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

  • Yim, Yong-Hyeon;Park, Ji-Youn;Han, Myung-Sub;Park, Mi-Kyung;Kim, Byung-Joo;Lim, Young-Ran;Hwang, Eui-Jin;So, Hun-Young
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제26권3호
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    • pp.440-446
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    • 2005
  • A method is described for the determination of dibutyltin (DBT) in sediment by isotope dilution using liquid chromatography inductively-coupled plasma/mass spectrometry (LC-ICP/MS). To achieve the highest accuracy and precision, special attentions are paid in optimization and evaluation of overall processes of the analysis including extraction of analytes, characterization of the standards used for calibration and LC-ICP/MS conditions. An approach for characterization of natural abundance DBT standard has been developed by combining inductively-coupled plasma/optical emission spectrometry (ICP/OES) and LC-ICP/MS for the total Sn assay and the analysis of Sn species present as impurities, respectively. An excellent LC condition for separation of organotin species was found, which is suitable for simultaneous DBT and tributyltin (TBT) analysis as well as impurity analysis of DBT standards. Microwave extraction condition was also optimized for high efficiency while preventing species transformation. The present method determines the amount contents of DBT in sediments with expanded uncertainty of less than 5% and its result shows high degree of equivalence with reference values of an international inter-comparison and a certified reference material (CRM) within stated uncertainties.

MWPECVD에 의한 박막의 합성과 방사선 검출 특성에 관한 연구 (A study on Synthesis and Radiation Detector Fabrication of Thin Films by MW Plasma CVD)

  • 구효근;이덕규;송재흥;노경석;박상현
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제27권2호
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    • pp.45-50
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    • 2004
  • 방사선검출기에 사용되는 다이아몬드는 그 비저항이 $10^{12}[{\Omega}m]$로 매우 크기 때문에 고전압 하에서도 누설전류가 매우 작아 실리콘과 달리 p-n접합을 하지 않고 바로 고전압을 걸 수 있는 이점이 있다. 또한 절연파괴 전압이 매우 크기 때문에 이동속도가 포화되는 전압까지 올릴 수 있다. 이 결과 다이아몬드 내에서의 전하 이동속도는 실리콘의 최대속도보다 약 20배 정도 빠르다. $200[{\mu}m]$ 두께의 박막을 통해 전하가 모두 수집되는 시간은 불과 1[ns] 정도이다. 이상과 같이 독특한 다이아몬드의 성질을 이용하여 방사선검출기에 사용되는 물질로 파고계수형 전리조나 분광계, 열형광선량계, 형광검출기 그리고 핵방사선검출기 등에 사용된다. 본 연구에서는 마이크로파 플라즈마 CVD법으로 $CH_4-H_2-O_2$계로부터 몰리브덴기판 위에 100시간 동안 성장시킨 결과 약 $100[{\mu}m]$의 두께를 가진 결정성이 좋은 방사선검출기용 다이아몬드막을 성장시킬 수 있었고, X-선 방사선량에 따른 방사선검출기의 전류파형을 측정한 결과 방사선량에 따라 전류가 증가됨을 알 수 있었다.

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플라즈마 후처리 시간에 따른 저유전율 SiOF 박막의 특성 (Characteristics of Low Dielectric Constant SiOF Thin Films with Post Plasma Treatment Time)

  • 이석형;박종완
    • 한국진공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.267-267
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    • 1998
  • ECR plasma CVD를 이용한 SiOF박막은 낮은 유전상수를 가지고 있으며, 기존의 공정과의 정합성이 우수해 다층배선 공정에 채용이 유망한 재료이지만 수분의 흡수로 인한 유전율의 상승과 후속공정의 안정성이 문제점으로 부각되고 있다. 따라서 본 연구에서는 SiOF박막의 내흡습성과 후속공정에서의 안정성을 향상시키기 위하여 SiOF박막을 증착한 후 후속 산소 플라즈마 처리를 행하였다. SiOF박막은 산소 플라즈마 처리를 수행함으로써 SiOF박막의 밀도가 증가하고, 수분과의 친화력이 강한 Si-F 결합이 감소하는 것이 주요한 원인으로 사료된다. 하지만 플라즈마 처리 시간이 5분 이상으로 증가하면 유전율의 증가가 일어난다. 따라서 본 실험에서는 산소 플라즈마 처리조건이 마이크로파 전력이 700W, 공정 압력이 3mTorr, 기판온도가 300℃일 경우 플라즈마 처리시간은 3분이 적당한 것으로 생각 된다.봉?향상시키기 위하여 SiOF박막을 증착한 후 후속 산소 플라즈마 처리를 행하였다. SiOF박막은 산소 플라즈마 처리를 수행함으로써 SiOF박막의 밀도가 증가하고, 수분과의 친화력이 강한 Si-F 결합이 감소하는 것이 주요한 원인으로 사료된다. 하지만 플라즈마 처리 시간이 5분 이상으로 증가하면 유전율의 증가가 일어난다. 따라서 본 실험에서는 산소 플라즈마 처리조건이 마이크로파 전력이 700W, 공정 압력이 3mTorr, 기판온도가 300℃일 경우 플라즈마 처리시간은 3분이 적당한 것으로 생각된다.