• Current Optics and Photonics
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• 제4권4호
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• pp.353-360
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• 2020

Adopting an elaborately designed reflective objective consisting of four mirrors, we have developed a rotating-polarizer-type microspot spectroscopic ellipsometer (SE) with an ultra-small spot size. The diameter of the focused beam, whether evaluated using a direct-image method or a knife-edge method, is less than 8.4 ㎛. After proper correction for the polarizing effect of the mirrors in the reflective objective, we unambiguously determine the dispersion of the complex refractive index and the thickness of monolayer MoS₂ using the measured microspot-spectroellipsometric data. The measured ellipsometric spectra are sensitive enough to identify small variations in thickness of MoS₂ flakes, which ranged from 0.48 nm to 0.67 nm.

• 한국광학회지
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• 제33권5호
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• pp.201-209
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• 2022

기존 마이크로스폿 분광타원계의 집속광학계를 개선하여 원자힘 현미경(atomic force microscope, AFM) 헤드를 장착할 수 있도록 한 AFM 융합형 마이크로스폿 분광타원계를 개발하였다. 빔의 워블에 의한 영향을 최소화하기 위해 편광자-시료-보정기-검광자 배치에서 회전보정기 구동방식을 채택하고 이상적인 4분파장 위상지연 특성으로부터 벗어나는 비색성 위상지연자를 사용할 수 있도록 측정이론을 제시하였다. 개발된 마이크로스폿 분광타원계는 AFM 헤드를 장착한 상태에서도 20 ㎛ 이하의 스폿 사이즈를 가지며 190-850 nm의 파장대역에 걸쳐 구동하고 δΔ ≤ 0.05°와 δΨ ≤ 0.02°의 측정정밀도를 가지는 것을 확인하였다. 연속회전하는 스테핑 모터의 속도와 분광계를 정밀하게 동기화시켜 ≤3 s/sp의 빠른 측정속도를 구현하였다. AFM과 융합된 마이크로스폿 분광타원계는 초미세 패턴시료의 구조 및 광학물성 분석에 유용하게 사용될 수 있을 것으로 기대한다.