The purpose of this paper is the development of an automated measurement system for micro spring based on the digital image processing technique. This micro spring can be used in various engineering applications such as filament, load bearing springs, hard disk suspension and many others. Main functionality of the micro spring inspection system is to measure the representative pitch of the micro spring. The derivative operators are used for edge detection in gray level image. Measurement system developed in this paper consisted of new auto feeding mechanism to take advantage of air pressure. In the process of development of the micro spring inspection system based on the image processing and analysis, strong background technology and know-how have been accumulated to measure micro mechanical parts.
한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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pp.34-35
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2006
The development of Micro MIM as a new manufacturing process for metallic micro parts made of advanced functional materials has been the subject of considerable research over the last years. This paper addresses important quality aspects on processing of new materials by Micro-MIM. Three examples of new functional materials that can be processed are reviewed in this paper. The first example is two-component-Micro-MIM to obtain multi-functional devices. A micro positioning encoder consisting of a magnetic / non-magnetic material combination is presented. The second issue is series production of the replicate of the smallest human bone in the ear (stapes) from Titanium as an example of medical application. Quality assurance and reproducibility in terms of injection moulding parameters are addressed. In the third part, first results on the processing of the shape memory alloy NiTi by Micro-MIM are presented. Potential applications include biocompatible devices and transportation, for example automotive and aerospace. Processing routes and initial microstructures obtained are discussed.
Micro lens array(MLA) is widely used in information technology(IT) industry fields for various applications such as a projection display, an optical power regulator, a micro mass spectrometer and for medical appliances. Recently, MLA have been fabricated and developed by using a reflow method having the processes of micro etching, electroplating, micro machining and laser local heating. Laser thermal relaxation method is introduced in marking of microdots on the surface of densified glass. In this paper, we have proposed a new direct fabrication process using UV laser local thermal-expansion(UV-LLTE) and investigated the optimal processing conditions of MLA on the surface of negative photo-resist material. We have also studied the 3D shape of the micro lens obtained by UV laser irradiation and the optimal process conditions. And then, we made chrome mold by electroplating. After that, we made MLA using chrome mold by hot embossing processing. Finally, we have measured the opto-physical properties of micro lens and then have also tested the possibility of MLA applications.
In this paper, the real shapes of micro tool deflection were observed. In micro endmilling process, micro tool deflection generates very serious problems in contrast to macro tool deflection. For analyzing the micro tool deflection, the trend of micro tool deflection was observed using real captured images in this paper. To get the real images of micro tool deflection, micro slot cutting processes were executed under cutting volume using micro endmill($Dia.\;200{\mu}m$) and real images of tool deflection were obtained during cutting processing by high-speed camera. Finally, the extent of tool deflection was calculated by the deflection angle according to cutting volume.
Wafer scale micro mirror array with high surface quality for small form factor (SFF) optical pick-up was fabricated by micro UV-molding. To replicate micro mirror array for SFF optical pick-up, a high- precision mold was fabricated using micro-machining technology. Wafer scale micro mirror array was UV-molded using the mold and then the process was optimized experimentally. The surface flatness and roughness of UV-molded micro mirror array were measured by white light scanning interferomety system and analyzed the transcribing characteristics. Finally, the measured flatness of UV-molded micro mirror away for SFF optical pick-up, which was fabricated in the optimum processing condition, was less than 70nm.
Auto focusing system to find optimized focal position of laser beam used for material process has been investigated by using fiber confocal method. Wavelength of laser diode (LD) and diameter of single-mode fiber are 780nm and $5.3{\mu}m$, respectively. Intensity distributions of beam reflected from the surface of mirror and silicon bare wafer have been observed in a gaussian form. Experimental results show that focal position obtained by LD is shifted from one observed from surface scribed by laser about $80{\mu}m$. It is due to the difference of wavelength and each divergence of between LD and laser used for material process. It is confirmed that auto focusing control system through position calibration has operated steadily.
Temperature variation happens in micro prism roll mold processing system during machining the prism pattern roll mold using manufacturing optical films of LCD (liquid crystal display). This temperature variation induces pitch errors of the prism patterns. The temperature variation displaces the positions of the diamond cutting tool on the roll which was coated by the copper. In order to prevent the pitch errors, the stabilizing the temperature of machining environment is needed. Therefore, the researching on the temperature variation of the ultra-precision roll mold processing system on the machining of micro prism rot 1 mold is needed. In this paper, the temperature variation of micro prism roll mold processing system is researched, the influence is analyzed, and the study for reducing the pitch errors carried out.
Seung-Sik Ham;Chang-Hwam Kim;Soo-Ho Choi;Jong-Hoon Lee;Ho Lee
한국산업융합학회 논문집
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제26권4_1호
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pp.517-527
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2023
Many techniques have been proposed and investigated for microlens array manufacturing in three-dimensional (3D) structures. We present fabricating a microlens array using selective laser etching and a CO2 laser. The femtosecond laser was employed to produce multiple micro-cracks that comprise the predesigned 3D structure. Subsequently, the wet etching process with a KOH solution was used to produce the primary microlens array structures. To polish the nonoptical surface to the optical surface, we performed reflow postprocessing using a CO2 laser. We confirmed that the micro lens array can be manufactured in three primary shapes (cone, pyramid and hemisphere). Compared to our previous study, the processing time required for laser processing was reduced from approximately 1 hour to less than 30 seconds using the proposed processing method. Therefore, micro lens arrays can be manufactured using our processing method and can be applied to mass productionon large surface areas.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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