As the progress of new industrial products or parts technology, the precise and fine machining technologies are needed more and more. Micro fabrication technology of these products are usally consisted of mechanical machining or MEMS technology. Direct machining by mechanical method is not applicable to mass production. MEMS technology also has several problems such as low mechanical strength, bad surface roughness and difficulty of 3 dimensional machining. In this study, we introduce several micro fabrication technology to make micro molds and dies and our project to develop these machining technology.
Recently with the development of semiconductor technology, the miniaturization of parts and products as well as their high precision is required. In addition, as the national competitiveness is increasingly affected by the development of the micro parts through micro machining technology, the study of the micro machining technology is being conducted in many countries. The goal of this study is to fabricate micro tools under the size of $20{\mu}m$ and to machine micro holes using them. The fabrication is done by grinding and the application of ELID to the grinding wheel. The surface roughness of the micro tools is measured to evaluate the study.
The large surface micro machining system includes the equipments and processes for manufacturing the ultra precision micro patterned products with large surface through the mechanical machining. Recent major issue on the micro machining technology may be the development of optical parts for the back light unit of display which has the largest market. This special issue makes up with three parts; the large surface micro machining system and machine, machining process and forming process. In this paper, the state-of-the-art and core technology of large surface micro machining system is introduced with focus on the manufacturing technology for the back light unit of LCD TV. Then, some research results on the development of a roll die lathe is introduced which involves the concept of machine design, improvement of thermal characteristics in the spindle system, improvement of relative parallelism and straightness between spindle system and long stroke feed table, machining of micro pitch patterns. Finally, the direct forming process is introduced as the future work in the large surface micro machining field.
As high technology industries such as IT and display have developed, demand for application parts of micro lens and lens array has been extremely increasing. According to these trends, many researchers are studying on the fabrication technology for parts of the micro lens by a variety of methods such as MEMS, Lithography, LIGA and so on. In this paper, we have performed researches related to ultra precision micro lens, lens array mold and fabrication of Lenticular lens mold for three-dimensional display by using mechanical micro end-milling and fly-cutting fabrication method. Tools used in this research were a diamond tool of R 150$\mu\textrm{m}$. Cutting conditions set up feed rate, spindle revolution. depth of cut and dwell time as variables. And we analyzed surface quality variation of the processed products according to the cutting conditions, and then carried out experiments to search the optimum conditions. Through this research, we have confirmed that we can fabricate the ultra precision micro lens mold with surface roughness Ra=20nm and the holographic lens mold by using micro end-milling and fly-cutting fabrication method. Furthermore, we demonstrated problems happened in the fabrication of the micro lens and established the foundation of experimental study for formulating its improvement plan.
A precision micro-positioning system with a high displacement resolution and wide motion range has been required for industrialized applications in variety fields. This paper discusses the design of a precision micro-rotation stage with flexure hinges. Proposed system is applied to grinding machine for micro parts. Rotational motion is generated with this system. For this systems having a full rotation motion with high precision, a dual servo system with a coarse stage and a fine stage is proposed.
Recently, expansion of micro-technology parts requires micro-precision machining technology. Micro-groove machining is important to fabricate micro-grating lens and many micro-parts such as microscope lens, fluidic graphite channel etc. Conventional groove fabrication methods such as etching and lithography have some problems in efficiency and surface integrity. But, mechanical micromachining methods using single crystal diamond tools can reduce these problems in chemical process. For this reason, microfabrication methods are expected to be very efficient, and widely studied. This study deals with machinability in micro-precision V-grooves machining of nickel plated layer using non-rotational single crystal diamond tool and 3-axis micro stages. Micro V-groove shape, chip formation and tool wear were investigated for the analysis of machinability of Ni plated layer.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제12권3호
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pp.98-101
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2011
A 10 nm nano-silica was introduced to a conventional 3 ${\mu}M$ micro-silica composite to develop an eco-friendly new electric insulation material for heavy electric equipment. Thermal and mechanical properties, such as glass transition temperature (Tg), dynamic mechanical analysis, tensile and flexural strength, were studied. The mechanical results were estimated by comparing scale and shape parameters in Weibull statistical analysis. The thermal and mechanical properties of conventional epoxy/micro-silica composite were improved by the addition of nano-silica. This was due to the increment of the compaction via the even dispersion of the nano-silica among the micro-silica particles.
Micro-EDM technology (or the manufacture of miniature parts is used to make a micro hole. Two electrode shaping methods, mechanical electrode grinding and WEDG technique, have been studied. In this study, an electrode shaping method by using previously machined hole is introduced in order to obtain an optimal hole-making condition. Key factors such as applied voltage, capacitance, feedrate, and hole-dimension have an influence on the fabricating error of electrode shaping, which are taper ratio of a hole, electrode form accuracy, and electrode surface. Therefore, we try to investigate the optimal fabricating of electrode shaping from various experiments. Results from experiments, it was able to minimize the electrode fabricating error as voltage increases, and also applied feedrate and capacitance decreases.
A piezoelectric paper feeder actuator using Micro Virtual Roller (MVR) is proposed, designed, fabricated and tested. This actuator can drive a sheet of paper forward or backward without any mechanical parts, such as the costly and heavy rollers used in traditional paper feeders. In this paper feeder actuator, two vibrating stators which produce traveling waves are used to drive the paper. The vibrations of the stators are similar to those of piezoelectric motors and follow a similar procedure to move the paper. A feasibility study simulated the actuator in COMSOL Multiphysics Software. Traveling wave and elliptical trajectories were obtained and the dimensions of the stator were optimized using FEM so that the paper could move at top speed. Next, the eigenfrequencies of the actuator was determined. Experimental testing was done in order to validate the FEM results that revealed the relationships between speed and parameters such as frequency and voltage. Advantages of this new mechanism are the sharp decrease in power consumption and low maintenance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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