Kim, Tae-Wan;Lee, Woo-Sun;Choi, Gwon-Woo;Seo, Young-Jin
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
/
2004.07a
/
pp.20-23
/
2004
As the integrated circuit device shrinks to the smaller dimension, the chemical mechanical polishing(CMP) process was required for the global planarization of inter-metal dielectric(IMD) layer with free-defect. However, as the IMD layer gets thinner, micro-scratches are becoming as major defects. Chemical-Mechanical polishing(CMP) of conductors is a key process in Damascene patterning of advanced interconnect structure. The effect of alternative commercial slurries pads, and post-CMP cleaning alternatives are discuss, with removal rate, scratch dentisty, surface roughness, dishing, erosion and particulate density used as performance metrics. Electroplated copper deposition is a mature process from a historical point of view, but a very young process from a CMP perspective. While copper electro deposition has been used and studied for decades, its application to Cu damascene wafer processing is only now gaining complete acceptance in the semiconductor industry. The polishing mechanism of Cu-CMP process has been reported as the repeated process of passive layer formation by oxidizer and abrasion action by slurry abrasives. however it is important to understand the effect of oxidizer on copper passivation layer in order to obtain higher removal rate and non-uniformity during Cu-CMP process. In this paper, we investigated the effects of oxidizer on Cu-CMP process regarding the additional volume of oxidizer.
Korean Journal of Computational Design and Engineering
/
v.2
no.3
/
pp.161-174
/
1997
In this paper, the techniques for graphic simulation of material removal process are described. The concepts of the bounding box and base plane are proposed. With these concepts, a real-time shaded display of a Z-map model being milled by a cutting tool following an NC path can be implemented very efficiently. The base planes make it possible to detect the visible face of Z-map model effectively. And the bounding box of tool sweep volume provides minimum area of screen to be updated. The proposed techniques are suitable for implementation in raster graphic device and need a few memories and a small amount of calculation. Proposed method is written in C and executable on MS-Windows95 and Window-NT.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
/
v.13
no.5
/
pp.451-457
/
2000
Experimental investigations on the effect of two kinds of additives ; aqueous NaOH solution and ammonia(NH$_3$) for removal of NOx and SO$_2$ simultaneously by corona discharge were carried out. The simulated combustion flue gas was[NO(0.02[%])-SO$_2$(0.08[%])-$CO_2$-Air-$N_2$] Volume percentage of aqueous NaOH solution used was 20[%] and $N_2$flow rate was 2.5[$\ell$/min] for bubbling aqueous NaOH solution Ammonia gas(14.81[%]) balanced by argon was diluted by air. NH$_3$ molecular ratios(MR) based on [NH$_3$] and [NO+SO$_2$] were 1, 1.5 and 2.5 The vapour of aqueous NaOH solution and NH$_3$was introduced to the main simulated combustion flue gas duct through injection systems which were located at downstream of corona discharge reactor. NOx(NO+NO$_2$) removal rate by injecting the vapour of aqueous NaOH solution was much better than that by injecting NH$_3$however SO$_2$removal rate by injecting NH$_3$was much better than that by injecting the vapour of aqueous NaOH SO$_2$removal rate slightly increased with increasing applied voltage. When the vapour of aqueous NaOH solution and NH$_3$were simultaneously injection NOx and SO$_2$ removal rate were significantly increased.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
/
2002.05a
/
pp.180-183
/
2002
The pulsed power system was widely making use good of many industrial and environments. The pulse generator generally required for short pulse duration and high peak value was forced to consider its volume and economy. In this paper, this system is designed and fabricated which has a compact size of pulse generator with switched MOSFET. We have studied the removal of rust material using Arc discharging. It have tested their characteristics by adjusting variable voltage charging and pulse repetition rate. As a result, We can eliminate rust materials with this device.
Phosphorus removal during discharge of wastewater is required to achieve in a very high level because eutrophication occurs even at a very low phosphorus concentration. However, there are limitations in the traditional technologies in the removal of phosphorus at very low concentration, such as at a level lower than 0.1 mg/L. Through a series of experiments, a possible technology which can remove phosphate to a very low level in the final effluent of wastewater was suggested. At first Al, Zn, Ca, Fe, and Mg were exposed to phosphate solution by impregnating them on the surface of activated alumina to select the material which has the highest affinity to phosphate. Kinetic tests and isotherm tests on phosphate solution have been performed on four media, which are Ca-impregnated activated alumina, activated alumina, Ca-impregnated loess ball, and loess ball. Results showed that Ca-impregnated activated alumina has the highest capacity to adsorb phosphate in water. Scanning electron microscope image analysis showed that activated alumina has high void volume, which provides a large surface area for phosphate to be adsorbed. Through a continuous column test of the Ca-impregnated activated alumina it was discovered that about 4,000 bed volumes of wastewater with about 0.2 mg/L of phosphate can be treated down to lower than 0.14 mg/L of concentration.
In the tungsten industry, molybdenum wire which used as the center supporter for coil shape tungsten wire was removed. Nitric acid dissolution method which used prevalently up to the present, takes nitric acid as major component and use noxious material such as sulfuric acid and hydrochloric acid remove molybdenum wire which used as center supporter by dissolve selectively within the range of no damage on tungsten wire. Mixed acid waste water occurred to the process were difficult to be decomposed by the conventional methords. This mixed acid waste water was treated by ozone, and It was obtained using possible by-product through the treatment waste water. For the three reactors with the same volume ; Blank reactor, Disturbance plate reactor, Packed-bed reactor ; the results were as follows : For the blank reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 6hr) was 28.5%, COD removal efficiency in the pH = 7 (HRT : 6hr) was 28.6%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 6hr) was 27.8%. For the disturbance plate reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 6Min.) was 86.5%, COD removal efficiency in the pH =7 (HRT : 6Min.) was 84.4%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 60Min.) was 86.8%. For the packed-bed reactor COD removal efficiency in the pH = 4 (HRT : 40Min.) was 76.0%, COD removal efficiency in the pH = 7 (HRT : 40Min.) was 81.3%, and COD removal efficiency in the pH = 10 (HRT : 40Min.) was 84.6%. After O3 treatment using possible by-product(Na2SO4) was 150g/ℓ.
The pulsed power system was widely making use good of many industrial and environments. The pulse generator generally required for short pulse duration and high peak value was forced to consider its volume and economy. In this paper, this system is designed and fabricated which has a compact size of pulse generator with switched MOSFET. We have studied the removal of rust material using Arc discharging in pulsed power system. It have tested their characteristics by adjusting variable voltage charging and pulse repetition rate. As a result, We can eliminate rust materials with this device.
Biofiltration is an attractive technique for elimination of VOCs and odorous compounds from low-concentration, high-volume waste gas streams because of its simplicity and cost-effectiveness. The objective of this study was to estimate the removal characteristics of Odorous Compounds including $H_2$S, $NH_3$End BTEX in MSW landfill gases. This Study was conducted at Nanjido landfill site. A compost from the Nanjido composting facility was used as a filling material for biofiltration. Extracted landfill gases were injected into biofilter reactors after mixing with air. Experiments were performed in an incubator being set to $20^{\circ}C$$H_2$S concentrations were monitored at the depths of 25, 50, 75 and 100cm from the bottom Of the biofilter reactors. 98% of $H_2$S was removed at the filling depth of only 25cm. NH$_3$removal rate was about 85%. Toluene removal rate was the highest among BTEX. Significant pH drop of a filling material was not observed during the biofilter operation of 1 month. Without mixing the landfill gas stream with all, the removal rate of $H_2$S decreased down to 30%.
In order to measure the filtration characteristics of a cotton ball shape filter, the experiments of suspended solids(SS) surrogate material selection and filtration performance have been carried out in this study. Between the two materials of powdered activated carbon(PAC) and powdered red-clay, PAC is more suitable surrogate material in terms of experimental criteria and particle size distribution in the non-point source pollutants removal system. As a result of the filtration experiments with the cotton ball shape filter, the initial headloss was about 8 cm, and the headloss slightly increased over filtration time. The Kozeny-Carman equation was used to analyze the changes of pressure and porosity during the filtration. The initial porosity was calculated as 0.945 and it decreased to 0.936 at the end of design filtration time. As the filtration continued, the SS concentration of the filtered water gradually increased and the SS removal rate gradually decreased. When the SS target removal efficiency is assumed to be 80%, the cumulative SS removal capacity is expected as $28.8kg/m^2$. This means the volume loading rate of the cotton ball shape filter can be $115m^3/m^2$ when the typical SS concentration of non-point source water pollution is assumed as 250 mg/L.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
/
v.14
no.10
/
pp.861-867
/
2001
In this paper, in order to investigate the catalytic effect of the sludge exhausted from waterworks on NO$_{x}$ removal, we measure NO removal characteristics with and without sludge pellets in BaTiO$_3$-sludge packed-bed reactor of plate-plate geometry. NO initial concentration is 50 ppm balanced with air and a gas flow rate is 5ι/min. Gas temperature is changed from 25 to 10$0^{\circ}C$ to investigate the role of sludge pellet on removing active oxygen species and NO$_2$. BaTiO$_3$pellets is filled for coronal discharge at upstream of reactor and sludge pellets is filled for catalytic effect at downstream of reactor. The volume percent of sludge pellets to BaTiO$_3$pellets is changed from 0% to 100% and AC voltage is supplied to the reactor for discharging simulated gases. In the results, when sludge pellets is put at the downstream of plasma reactor, NO removal rate is slightly increased. However, NO$_2$and $O_3$ as by-products during NO removal is significantly decreased from 51ppm without sludge pellets to 5 ppm with sludge pellets and from 50 ppm without sludge pellets to 0.004ppm with sludge pellets, respectively. Therefore, NO$_{x}$(NO+NO$_2$) removal rate is increased up to 93%. It is thought that sludge pellet maybe react with active oxygen species and NO$_2$ generated by corona discharge in surface of BaTiO$_3$pellets, the then NO$_2$O$_3$as by-products are considerably decreased. When we increase gas temperature from room temperature to 10$0^{\circ}C$, NO removal rate is decreased, while NO$_2$ concentration is independent on gas temperature. These result suggest that the removal mechanism of active oxygen species and NO$_2$in sludge pellet is not absorption, but chemical reaction. Therefore we expect that sludge pellets exhausted for waterworks could be used as catalyst for NO$_{x}$ removal with high removal rate and low by-product.oduct.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.