RF Magnetron Co-sputtering 법을 이용한 $Au/TiO_2$ 박막의 구조적, 광학적 특성 (Structural and Optical properties of $Au/TiO_2$ Thin Films Prepared by RF Magnetron Co-sputtering)

• 정종민;최원석;홍현주;이가은;한성홍
• • 한국광학회:학술대회논문집
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  • 한국광학회 2007년도 동계학술발표회 논문집
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  • pp.15-16
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  • 2007
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ECR Plasma Enhanced DC magnetron Multi-target Sputtering 법을 이용한 Pb(Zr, Ti)O$_3$박막 제조 및 특성 평가 (Preparation and charcterization of Pb(Zr, Ti)O$_3$ thin films by ECR plasma enhanced DC magnetron multi-target sputtering)

• 김성태;김현호;이원종
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
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  • pp.60-60
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  • 1996
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Modified rf magnetron sputtering에 의해 $Pt/SiO_2/Si$ 기판위에 제조된 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 특성 및 전기적 성질에 미치는 Tantalum의 영향 (Effect of Tantalum on Ferroelectric $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Films Deposited on $Pt/SiO_2/Si$ by a Modified rf Magnetron Sputtering Technique)

• 양철훈;윤순길
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 1997년도 한국재료학회 추계학술발표회
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  • pp.138-138
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  • 1997
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RF마그네트론 스퍼터를 이용한 텅스텐-텔루라이트유리박막의제조및광학적특성평가 (Fabrication of Tungsten - Tellurite Glass Thin Filmsusing Radio Frequency Magnetron Sputtering Methodand Optical Property Characterization)

• 유기영;김영만;문종하;김진혁
• • 한국광학회:학술대회논문집
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  • 한국광학회 2004년도 제15회 정기총회 및 동계학술발표회
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  • pp.120-121
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  • 2004
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RF Magnetron Sputtering법에 의한 HAp 및 HAp-Ag 박막 코팅의 미세조직과 기계적 특성 (Microstructures and Mechanical Properties of HAp and HAp/Ag Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering Method)

• 이희정;오익현;한재길;박상식;이병택
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.66-66
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  • 2003
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R.F. Magnetron Sputtering 법으로 증착한 $TiO_2$박막의 결정 방향성이 $H_2$ 감응도에 미치는 영향 (Effect of the Orientation on $H_2$ Sensitivity in $TiO_2$ Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Sputtering)

• 문원택;홍성현;전윤기
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.219.1-219
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  • 2003
• PDF

DC Magnetron Sputter로 증착한 $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ 박막의 열처리에 따른 물리적, 전기적 특성 연구 (Thermal Stability of $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ Thin Films by DC Magnetron Sputtering)

• 홍영의;김용석;이동원;고대홍
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2003년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.34.2-34.2
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  • 2003
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RF Magnetron Sputtering을 이용하여 저온에서 증착한 ITO 박막의 특성 (Properties of ITO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Low Temperature)

• 김규현;최균;최의석;황정태
• • 한국세라믹학회:학술대회논문집
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  • 한국세라믹학회 2002년도 추계총회 및 연구발표회 초록집
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  • pp.42.1-42
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  • 2002
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″DC magnetron sputtering에 의해 증착된 $Fe_{1-x}B_x (0{\leq}x{\leq}0.2)$ 박막의 결정성과 보자력 ("Crystallinity and Coercivity of $Fe_{1-x}B_x (0{\leq}x{\leq}0.2)$ thin films prepared by dc magnetron sputtering")

• 신현수;박종완;장태석
• • 한국자기학회:학술대회 개요집
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  • 한국자기학회 2000년도 International Symposium on Magnetics The 2000 Fall Conference
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  • pp.508-509
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  • 2000
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RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과 (Effects of hydrogen on crystallinity of Si thin films by RF magnetron sputtering)

• 서지민;정민창;명재민
• • 한국재료학회:학술대회논문집
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  • 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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  • pp.23.1-23.1
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  • 2006
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