Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.138-138
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- 1997
Effect of Tantalum on Ferroelectric $SrBi_2Ta_2O_9$ Thin Films Deposited on $Pt/SiO_2/Si$ by a Modified rf Magnetron Sputtering Technique
Modified rf magnetron sputtering에 의해 $Pt/SiO_2/Si$ 기판위에 제조된 강유전체 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막의 특성 및 전기적 성질에 미치는 Tantalum의 영향
Abstract
Keywords