• 제목/요약/키워드: Mack 모델

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포토레지스트의 Dill 및 Mack 모델 파라미터 측정에 관한 연구 (A Study on the Measurement of Dill and Mack Model Parameters of a Photoresist)

  • 박승태;권해혁;박종락
    • 한국광학회지
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    • 제33권6호
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    • pp.324-330
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    • 2022
  • 포토레지스트의 노광 및 현상 특성을 각각 결정하는 Dill 및 Mack 모델 파라미터들을 측정하였다. 먼저, 노광량을 변화시켜가며 포토레지스트 샘플을 준비하였고, 노광량에 따른 투과율 변화를 측정하였다. 이 결과를 바탕으로 Dill 모델의 A, B, C 파라미터를 결정하였는데, 특히 C 파라미터를 결정하기 위하여 Dill 모델 방정식의 완전해를 사용하였다. 또한, 노광량별로 현상 시간에 따른 포토레지스트의 두께 변화를 측정하였고, 이 결과를 사용하여 Mack 모델의 Rmin, Rmax, a, n 파라미터를 결정하였다. 모델 파라미터 Rmin, Rmax, n만을 사용하는 간략화된 Mack 모델에 대해서도 파라미터값들을 결정해 보았는데, 네 개의 파라미터를 사용하는 본래 Mack 모델의 경우와 비교했을 때 측정결과와의 오차가 다소 커짐을 알 수 있었다.

CFD를 이용한 선박용 IGG Blower 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of 3rd Stage IGG Blower for Shipbuilding Using CFD)

  • 이종진;이중섭;정순재;장성철;김치원
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2008년도 하계학술발표대회 논문집
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    • pp.1309-1314
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    • 2008
  • I.G.G is abbreviation for Inert Gas Generator, High temperature in Cargo Tank it desulfurize, exhausted and froze the gas that combined brimstone element and soot, then supply Inert gas by blower, and mack tank inside incombustible range this is equipment that nip in the bud the explosion. The blower for suppling inactivated gas has big impeller with heavy weight to achieve the high pressure, it causes a delay for first operation time and too much load is delivered to motor, total destruction by fire of motor is happening frequently. On this research, we will reduce the size & weight of impeller and install it with several stage, it makes an effect for reducing the first operation time. We also intend to contribute to efficient IGG blower design by research a flowing & pressure specialty from the diameter of impeller, number of blade, and size of casing.

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고조로 인한 부산항 해수면 변화 및 극한파랑의 산정 (Calculation of Water Level Variations and Extreme Waves in Busan Harbor due to Storm Surges)

  • 황호동;이중우;권소현;양상용;금동호
    • 한국항해항만학회:학술대회논문집
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    • 한국항해항만학회 2004년도 추계학술대회
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    • pp.227-234
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    • 2004
  • 최근 초대형 태풍의 내습으로 한국 연안해역에 치명적인 타격을 가져왔고 이로 인해 연안구조물의 설계기준을 재고해야 한다는 논의가 되고 있다. 극한파랑을 입력으로 한 파랑변환의 계산은 특히 해안역의 계획 및 건설 작업 분야에서 의미가 있다 본 연구에서 태풍으로 인한 수위의 변화예측은 물리모델에서나 실제현장에서 다루기가 매우 어렵기 때문에 수치모델에 주로 근거를 두었다. 복잡한 해안선 및 구조물 해역에 대한 파랑변환 수치모델을 다루고 극한파랑의 입력을 위해 광역에서의 태풍매미의 도래시 관측과 수치모텔의 분석에서 도입하였다. 최종적으로 한국 남해안의 부산항에서 폭풍고조 및 극한파랑의 문제에 위에서 기술한 모델을 적용하여 수위상승의 효과와 극한파랑의 변환을 해안역 침수와 관련하여 분석하였다. 아울러 관심대상역에서 기초적인 재해위험지도를 제시해 보았다.

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