MTS의 열분해를 이용한 $\beta$ -SiC의 화학증착 및 Excess C 공급원의 영향
(Chemical Vapor Deposition of $\beta$ -SiC by Pyrolysis of MTS and Effect of Excess C Sources)
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- 한국세라믹학회지
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- 제30권1호
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- pp.46-54
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- 1993