• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1997.04a
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• pp.352-356
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• 1997

이 논문에서는 압전 MEMS에 대한 유한요소해석(FEA)응용이 연구되었다. 압전MEMS와 관련한 특수재료 및 기하학적 형상에 대한 몇 가지 두드러진 특징 및 앞으로의 연구가치가 있는 주제도 아울러 다룬다. 압전 능동박막을 이용한 센서 및 액츄에이터를 포함하는 단순구조에 대한 FEA모델링이 제시되었다. ZnO가 압전 재료로 사용되었다. 정적 전기기계적해석이 두 가지 모델에 대해 수행되었다. 압전효과로 발생한 처짐 및 센 서의 출력전압에 대한 FEA 결과는 해석치 혹은 실험측정값과도 우수하게 일치하였다. ANSYS가 P-MEMS의 가상신속시작체계를 위한 우수한 FEA도구임이 본 논문을 통해서 보여졌다.

• Bulletin of the Korean Mathematical Society
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• v.29 no.2
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• pp.295-300
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• 1992

In [5] it was shown that if T .mem. L(X) is regular on a Banach space X, with finite dimensional intersection T$^{-1}$ (0).cap.T(X) and if S .mem. L(X) is invertible, commute with T and has sufficiently small norm then T - S in upper semi-Fredholm, and hence essentially one-one, in the sense that the null space of T - S is finite dimensional ([4] Theorem 2; [5] Theorem 2). In this note we extend this result to incomplete normed space.

• Bulletin of the Korean Mathematical Society
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• v.27 no.2
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• pp.157-164
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• 1990

The purpose of this paper is to consider the inhomogeneous initial value problem (Fig.) in a Banach space X, where Z is the generator of an exponentially bounded C-semigroup in X, f9t) : [0, T].rarw.X and x.mem.X. Davies-Pang [1] showed the corresponding homogeneous equation, this is, the equation with f(t).iden.0, has a unique solution depending continuoously on the initial value x.mem.CD(z) in the $C^{-1}$-graph norm on CD(Z) when T=.inf..

• Journal of the KSME
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• v.33 no.6
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• pp.499-514
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• 1993

이 MEMS연구는 상당히 넓은 분야를 포함하나, 그 핵심은 바로 마이크로가공 기 술(micromachining technology)에 있다. (막연히 작은 것이 아닌 마이크로미터 단위의 가공이라는 점을 살리기 위해, "마이크로" 가공이라 부르겠다.) 이 글에서는 우선 MEMS란 무엇인가에 대해 언급한 후, MEMS에 있어서의 마이크로가공(micromachining)이 어떤 것인지를 소개, 설명함에 주력한다. 마이크로가공 기본개념의 전달에 있어서는, 처음 대하는 이들의 이해를 돕기위해 되 도록 인용을 줄이고 핵심개념만 담아 최대한 단순화시켜 설명하였다. 이러한 핵심 개념을 바탕 으로하여 설명되는, 뒤 따르는 실제 예로는 기계공학적으로 관련이 있어 보이는 몇 가지를 인 용하였다.지를 인 용하였다.

• 전기의세계
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• v.44 no.5
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• pp.24-32
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• 1995

본 고에서는 MEMS제작의 기본이 되는 마이크로 머시닝 기술의 최근 동향과 MEMS에의 적용범위에 대해서 논하였다. MEMS 연구 및 개발에는 여기서 언급한 마이크로 머시닝 기술을 이용한 제조공정 외에도 운동기구의 기계적 해석, 마이크로 센서 및 액튜에이터와 신호처리를 할 수 있는 제어, 계측용 집적 회로와의 결합, assembly를 위한 극미세 구조의 접합기술, 적합한 박막 및 기판의 선정을 위한 재료기술, 극미세 구조 및 표면 등의 계측, 평가 기술과 이들을 위한 이론적인 분석, 설계기법등의 제반기술에 대한 연구가 동시에 필요하다.

• The Magazine of the IEIE
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• v.24 no.10
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• pp.89-97
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• 1997

• 전기의세계
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• v.49 no.12
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• pp.22-27
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• 2000

• Journal of the KSME
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• v.41 no.12
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• pp.38-43
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• 2001

• Journal of the KSME
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• v.41 no.2
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• pp.34-37
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• 2001

• Journal of the KSME
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• v.40 no.11
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• pp.44-46
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• 2000