Development of UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering) System and Ion Current Density Measurement of Copper Target (UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.50 no.3
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- pp.192-197
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- 2017