• 반도체디스플레이기술학회지
• /
• 제7권3호
• /
• pp.11-16
• /
• 2008

The authors investigated an overhead shuttle (OHS) system for automatic transferring the liquid crystal display (LCD) panels. The constructed tracks of OHS system include the linear and curve regions and have been installed on the ceiling to transfer the cassette of LCD glass along the closed-loop and open-loop tracks. In this study, the OHS system was implemented by a proposed linear motor to solve encoder installation and the system cost problems of the long distance transfer system. In addition, we utilized a new algorithm of the position detection and a new control algorithm for driving linear motor. The newly developed control algorithm was demonstrated from both a computer simulation and an experimentation, indicating that the highly reliable and speedy transfer system can enhance the LCD panel productivity of commercial OHS system.

• 정보처리학회논문지D
• /
• 제11D권2호
• /
• pp.461-470
• /
• 2004

반도체 업계에서는 200mm 반도체 웨이퍼 생산공정이 300mm 웨이퍼 생산공정으로 바뀜에 따라, 300mm 반도체 웨이퍼를 이동시키는 로봇을 모니터링하고 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 개발이 필요하다. 이런 소프트웨어는 독립적으로 동작하는 것이 아니라 MCS와 하위 시스템인 로봇과 통신하면서 실행되어야 하므로, 그 구성이 복잡하다. 그러므로, 이 시스템을 체계적으로 개발하기 위해서는 객체지향 개발 방법론인 UML을 적용할 필요성이 있다. 본 논문은 반도체 웨이퍼를 생산공정에서 이동시키는 로봇을 모니터링하고 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 개발에 UML 프로세스를 적용하였다. UML을 적용하여 UML을 기반으로 한 개발 프로세스 정의와 개발 단계별 업무들에 대한 구체적인 산출물들을 만들어 내었다.