Direct Liquid Injection Metal Organic Chemical Vapor Deposition of $HfO_2$ Thin Films Using $Hf(dimethylaminoethoxide)_4$ .
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- 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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- 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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- pp.45-49
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- 2003