유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 $TiO_2$ 증착
(Photocatalytic $TiO_2$ thin film deposited by Inductively Coupled Plasma assisted sputtering)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2002년도 춘계학술발표회 초록집
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- pp.6-6
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- 2002