알루미늄 양극산화(aluminum anodization)의 선택적인 적용을 통하여 DRAM 소자를 위한 새로운 패키지 기판을 제작하였다. 에폭시 계열의 코어(core)와 구리의 적층 형태로 제작되는 일반적인 패키지 기판과는 달리 제안된 패키지 기판은 아래층 알루미늄(aluminum), 중간층 알루미나(alumina, $Al_2O_3$) 그리고 위층 구리(copper)로 구성된다. 알루미늄 기판에 양극산화 공정을 수행함으로써 두꺼운 알루미나를 얻을 수 있으며 이를 패키지 기판의 유전체로 사용할 수 있다. 알루미나층 위에 구리 패턴을 배치함으로써 새로운 2층 금속 구조의 패키지 기판을 완성하게 된다. 또한 알루미늄 양극산화를 선택적인 영역에만 적용하여 내부가 완전히 채워져 있는 비아(via) 구조를 구현할 수 있다. 패키지 설계 시에 비아 인 패드(via in pad) 구조를 적용하여 본딩 패드(bonding pad) 및 볼 패드(ball pad) 상에 비아를 배치하였다. 상기 비아 인 패드 배치 및 2층 금속 구조로 인해 패키지 기판의 배선 설계가 보다 수월해지고 설계 자유도가 향상된다. 새로운 패키지 기판의 주요 설계인자를 분석하고 최적화하기 위하여 테스트 패턴의 2차원 전자기장 시뮬레이션 및 S-파라미터 측정을 진행하였다. 이러한 설계인자를 바탕으로 모든 신호 배선은 우수한 신호 전송을 얻기 위해서 $50{\Omega}$의 특성 임피던스를 가지는 coplanar waveguide(CPW) 및 microstrip 기반의 전송선 구조로 설계되었다. 본 논문에서는 패키지 기판 구조, 설계 방식, 제작 공정 및 측정 등을 포함하여 양극산화 알루미늄 패키지 기판의 특성과 성능을 분석하였다.
본 논문에서는 complementary split ring resonator(CSRR)을 이용하여 마이크로파 대역에서 비침습적으로 포도당 수용액과 염화나트륨 수용액을 구별하였다. 개방형 동축 프로브로 측정한 두 수용액의 전기적 특성을 기반으로 구별이 유리한 주파수에서 동작하는 CSRR을 설계, 제작하였다. 그리고 공진기의 전기장이 강하게 형성되는 부분에 수용액을 집중시키기 위해 PDMS mold를 제작하였고, 라미네이트 필름으로 수용액과 공진기의 접촉을 방지하였다. 두 수용액의 농도는 인체 혈당 농도 범위인 400 mg/dL까지 100 mg/dL 단위로 나누었고, $50{\mu}L$의 수용액으로 실험하였다. 공진 주파수에서 포도당 수용액과 염화나트륨 수용액의 투과계수($S_{21}$)를 측정한 결과, 100 mg/dL 농도 변화 대비 각각 -0.06 dB, 0.14 dB 변하는 것을 확인하였고, 상반된 경향을 통해 두 수용액의 농도에 따른 $S_{21}$의 변화를 선택적으로 구별하였다.
본 연구는 식품연포장 적층 라미네이트에 주로 사용되는 유성접착제를 대체하기 위해 아크릴 수성화방법을 활용하여 친환경적인 수성 점착제를 설계하였다. 방법으로는 음이온/비이온 그리고 인산에스테르 계면활성제들의 조합과 분자량조절제(chain transfer agent, CTA)의 양을 달리하고, 기능성단량체(functional monomer)의 종류를 달리하였다. 합성된 점착제의 가교 정도와 분자량의 영향을 각각 실험군 8종으로 점착제를 설계 합성하고 조사하였다. 그리고 별도로 분자량이 서로 다른 styrene/alpha-methyl styrene/acrylic acid (SAA) semipolymer 분산제(Mw = 13,000과 Mw = 8,600)를 기존의 계면활성제를 대신하여 사용해 감압점착제(Pressure Sensitive Adhesive, PSA)의 물성을 조사하였다. 합성된 10종의 감압점착제가 유연포장용 기본 물성 규격에 적합한지를 DSC, 입자크기, adhesion, 분자량의 물성 분석으로 평가하였다. 실험 결과 계면활성제는 음이온/비이온 조합으로, CTA는 0.2%로 기능성 단량체는 HEA, GMA를 사용한 점착제 2개의 실험군에서 유연포장에 적용 가능한 분자량과 유연성, 낮은 접착력, 작은 입자의 물성을 확인하였다.
본 연구는 사업장 근로자의 스타이렌 폭로수준과 이에 따른 biological monitoring 농도의 변화를 알기 위하여 시도되었다. 조사대상자는 FRP공장, 함침작업공장, 피막도포작업공장에 종사하는 남자근로자 64명과 여자근로자 44명이며 포집 및 분석기간은 1995년 6월 15일부터 9월 30일까지 였다. 일반적 특성중 연령, 성별, 근무경력, 음주량, 흡연량은 설문지를 이용하였고 신장과 체중은 개인건강기록표를, 스타이렌 환경폭로농도를 알기 위하여는 확산형 포집기를 사용하였으며, 생물학적 감시물질의 폭로수준을 알기 위하여 혈액과 소변을 채취하여 혈중 스타이렌, 요중 mandelic acid(MA)와 phenylglyoxylic acid(PGA)을 분석하였다. 평균폭로농도는 21.0ppm으로 저농도였으며 사업장별로는 선박관련업체가, 작업방법으로는 적층작업이, 작업형태는 주작업에서 가장 높은 폭로를 보였으며 대상자 중 11%가 허용기준 이상으로 폭로되었다. 환경폭로수준과 혈중 스타이렌의 상관성은 0.620이었고 creatinine으로 보정한 phenylglyoxylic acid와는 0.702로 가장 높은 상관성을 보였다. 혈중 스타이렌과 요중 대사산물의 상관관계는 MA+PGA에서 가장 높은 상관성을 보였다. 생물학적 대사산물의 변화를 설명하는 독립변수들 중 환경폭로농도가 가장 중요하였으며 특히 MA와 MA+PGA에서는 성별 역시 중요한 변수였다. 생물학적 대사산물에 대한 독립변수의 설명력은 모두 31% 이상이었으며 그중 혈중 스타이렌은 49.1%로 가장 높았다. 요중 대사산물을 보정여부에 따른 상관성을 본 결과 모두 0.95이상을 보였다. 이상을 종합한 바 스타이렌 취급작업장의 공기중 농도를 측정할 때 확산포집기로도 사용할 수 있으며, 요의 생물학적 지표에서는 비중으로 보정한 경우가 creatinine으로 보정한 것의 대안으로 사용할 수 있고 또한 요중 MA 및 PGA를 이용하여 폭로 근로자의 폭로농도를 예측할 수 있으므로 이를 스타이렌 취급근로자에 적극적인 활용이 필요한 것으로 제시할 수 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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