• Title/Summary/Keyword: LIPSS

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유기박막트랜지스터를 위한 극초단 펄스 레이저 마이크로-나노 패터닝

  • Jo, Jeong-Hyeong;Chae, Sang-Min;Kim, Yong-Hwi;Lee, A-Ra;Lee, Hyeon-Hwi;Choe, Ji-Yeon;Kim, Hyo-Jeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.271-271
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    • 2016
  • highly doped N-type 실리콘 기판 위에 극초단 펄스 레이저를 이용하여 LIPSS (Laser-Induced Periodic Surface Structure) 패턴을 형성하였다. 형성된 LIPSS 구조는 $15{\mu}m$와 500 nm 주기를 가지는 ripple로 형성이 되었고 이 구조를 형성하기 위해서 사용된 레이저는 Satsuma HP2, Amplitude syst?mes 이다. LIPSS 패턴을 가지는 기판 위에는 유기반도체 물질인 pentacene을 50 nm로 열 증착방법을 통해 박막을 형성하여 유기박막트랜지스터를 제작하였고, hole mobility를 측정하였다. LIPSS 패턴을 가지는 실리콘 기판과 pristine 실리콘 기판 위의 pentacene의 morphology를 AFM으로 관찰하고 유도된 구조를 연구하였다.

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A study of fabrication of LIPSS using flat-top beam with various materials (다양한 재질에서의 flat-top 빔을 이용한 LIPSS 형성에 관한 연구)

  • Choi, Jun-Ha;Choi, Won-Suk;Shin, Young-Gwan;Cho, Sung-Hak;Choi, Doo-Sun
    • Design & Manufacturing
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    • v.15 no.3
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    • pp.26-31
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    • 2021
  • In this study, laser-induced periodic surface structure (LIPSS) was fabricated on Ni, Si, and GaAs samples using a flat-top beam with a uniform energy distribution that was fabricated using a Gaussian femtosecond laser with a mechanical slit and tube lens. Unlike the Gaussian beam, the flat-top beam has a uniform beam profile, therefore the center and the periphery of the fabricated LIPSS have similar line periodicity. In addition, LIPSS was obtained not only in metals but also in metalloids and metals and metalloid compounds by using the narrow pulse width characteristic of a femtosecond laser.

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