• 제목/요약/키워드: Jo O-Hyeon

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MOCVD로 성장한 ZnO 나노막대의 저온 성장과 특성평가 (Low-temperature growth and characterization of epitaxial ZnO nanorods by MOCVD)

  • 김동찬;공보현;조형균;박동준;조형균
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.55-56
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    • 2007
  • 여러 가지 응용분야에서 많은 기대를 안고 있는 ZnO를 MOCVD 장비를 이용하여 일차원의 나노막대 구조를 $330^{\circ}C$의 저온에서 성장하였다. 이러한 성장온도는 기존 나노막대 성장에 비해 낮은 온도이며, 그 특성평가로 전계방출 특성평가를 하였다.

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