$SF_6$ +Ar 혼합기체의 전리 및 부착계수에 관한 연구
(The Study on the Electron ionization and Attachment Coefficients in $SF_6$ +Ar Mixtures Gas)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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- pp.591-593
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- 2000