비정질 $Se_{75}Ge_{25}$ 박막의 $Ga^{+}$ 소스를 사용한 FIB 입사에 따른 이온농도 분포에 관한 연구
(A study on the ion-concentraion distribution using by FIB irradiated on amorphous $Se_{75}Ge_{25}$ Thin film)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권3호
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- pp.193-199
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- 2000