Calibration of SAW Based Capacitive Sensor Using Lumped Component and High Precision Gap Measurement (집중 소자를 이용한 표면 탄성파 장치 기반의 용량 성 센서 보정 및 이를 이용한 초정밀 간극 측정)
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- Transactions of the Society of Information Storage Systems
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- v.8 no.1
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- pp.16-21
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- 2012