• 한국레이저가공학회지
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• 제17권4호
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• pp.7-13
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• 2014

In this work, the application of laser induced breakdown spectroscopy (LIBS) for the composition analysis of thin $Cu(In,Ga)Se_2$ (CIGS) solar cell films ($1-2{\mu}m$ thickness) is reported. For the ablation of CIGS films, femtosecond (fs) laser (wavelength = 343nm, pulse width = 500fs) and nanosecond (ns) laser (wavelength = 266nm, pulse width = 5ns) were used under atmospheric environment. The emission spectra were detected with an intensified charge coupled device (ICCD) spectrometer and multichannel CCD spectrometer for fs-LIBS and ns-LIBS, respectively. The calibration curves for fs-LIBS and ns-LIBS intensity ratios of Ga/Cu, In/Cu, and Ga/In were generated with respect to the concentration ratios measured by inductively coupled plasma optical emission spectrometry (ICP-OES).

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.474-474
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• 2010

현재 반도체시장의 확장으로 인해서 기존의 300mm 웨이퍼에서 450mm의 웨이퍼를 사용하는 공정으로 변화하는 추세이다. 450mm 웨이퍼로 대면적 화되면서 기존 300mm 공정 때보다 훨씬 효율적인 플라즈마 소스 즉, 고밀도이고, 고균등화(high uniformity) 플라즈마 소스를 필요로 한다. 본 논문에서는 고밀도 플라즈마 소스인 유도 결합형 플라즈마(Inductively Coupled Plasma ; ICP)에 축 방향의 약한 자기장을 인가시킨 자화된 유도결합형 플라즈마(Magnetized Inductively Coupled Plasma : MICP)[1]를 제안하여 기존 ICP와의 차이점을 살펴보았다. 실험 방법으로 레이저 유기 형광법(Laser Induced Fluorescence : LIF)[2]을 이용하여 플라즈마 쉬스(Sheath) 내의 전기장을 외부 자기장의 변화에 따라 높이별로 측정하고 그 결과로부터 쉬스의 전기적 특성을 살펴보았다. 플라즈마의 특성상 탐침이나 전극에 전압을 인가하면 그 주위로 디바이 차폐(Debye Shielding)현상이 일어나서 플라즈마 왜곡이 일어난다. 그렇기에 플라즈마, 특히 플라즈마 쉬스의 특성을 파악하기 위해서 레이저라는 기술을 사용하였다. 레이저는 고가의 장비이고 그 사용에 많은 경험지식(know-how)를 필요로 하지만 플라즈마를 왜곡시키지 않고, 플라즈마의 밀도, 온도, 전기장 등 많은 상수(parameter)들을 얻어 낼 수 있다. 또한 3차원적으로 높은 분해능을 가지고 있는 장점이 있다. 강한 전기장이 있는 곳에서 입자들의 고에너지 준위가 전기장의 세기에 비례하여 분리되는 Stark effect[3] 이론을 이용하여 플라즈마 쉬스내의 전기장을 측정하였다. 실험은 헬륨가스 700mTorr 압력에서 이루어졌다. 기판의 파워를 50W에서 300W까지 변화시키면서 기판에 생기는 쉬스의 전기장의 변화를 살펴보았고, 자기장을 인가한 후 동일한 실험을 하여 자기장의 유무에 따른 플라즈마 쉬스의 전기장 변화를 살펴보았다. 실험결과 플라즈마 쉬스의 전기장의 변화는 기판의 파워와 플라즈마 밀도에 크게 의존함을 알았다. 기판의 파워가 커질수록 쉬스의 전기장은 커지고, 기판에 생기는 Self Bias Voltage역시 음의 방향으로 커짐을 확인 하였다. 또한 자기장을 걸어주었을 경우 쉬스의 두께가 얇아짐으로써 플라즈마의 밀도가 증가했음을 확인 할 수 있었다.

• 한국결정성장학회지
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• 제5권3호
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• pp.269-277
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• 1995

초고온(5000K 이상)의 고주파 유도 플라즈마(ICP)를 열원으로 사용하여 $AlCl_3$와 $Al_2(SO_4)_3$로부터 $Al_2O_3$ 초미세분말을 합성하였다. 각각 합성된 $Al_2O_3$ 미분말의 결정상은 모두${\alpha} - group({\alpha}, {wdelta}, {\theta})$의 상이었으며, 평균입경 20 nm 내외의 좁은 입도 분포를 가지는 미분말이 형성되었다. ICP tail flame 중간부(X = 500 mm)에서 MgO polycrystal plate위에 부착된 응집플록, whisker 및 판형의 형태를 통 해 기상-고상반응에 의한 성장과 입자간 소결현상을 제안 할 수 있었다. 그리고 위의 결과들로부터 spray-ICP 반응기 내에서의 $Al_2O_3$미 분말 형성과정을 제안하였다.

• Journal of Nutrition and Health
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• 제24권4호
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• pp.378-392
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• 1991

A series of studies in monkeys and hamsters, and reevaluation of published human data, indicate that dietary saturated fatty acids exert a dissimilar metabolic impact on cholesterol metabolism. Myristic acid(14 : 0) appears to have a major cholesterol-raising effect by means of decreasing LDL receptor activity and by increasing the direct production of LDL (from sources other than VLDL-catabolism) Palmitic acid (16 : 0) appears neutral in most cases (plasma cholesterol<200mg/dl) or until the LDL receptor is down-regulated, as with high cholesterol intake or obesity. In such cases. the down-regulated LDL receptors coupled with an increased VLDL production (induced by 16 : 0 and 18 : 1) can divert VLDL remnants to LDL and expand the LDL pool. Furthermore. the cholesterolemic impact of any saturated fatty acid can be countered up to a saturable 'threshold' level by dietary linoleic acid (18 : 2) which up-regulates the LDL receptor. Once above this 'threshold' the major fatty acids (16 : 0, 18 : 0, 18 : 1, 18 : 2, 18 : 3) appear to exert an equal impact on the circulating cholesterol concentration.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2
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• pp.886-889
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• 2002

This paper describes the characteristic analyses and a new design of the bushing for the pole transformers. The mechanical breakdown of the upper part of the bushing was frequently occurred. This caused the leakage of mineral oil, resulted in the interruption of electric power. Therefore, the bushings were investigated by the material analytical method and Finite Element Method. The analyses were performed by the Induced Coupled Plasma(ICP), X-ray diffraction(XRD), Scanning Electron Microscopy(SEM), and Dielectric Thermal Analyzer(DETA). Also, the Von-Mises stress of the top part of bushing was determined by using ANSYS program. The Von-Mises stress of the newly designed bushing was reduced about 50%. Therefore, if we apply the newly designed bushing, the number of mechanical breakdown may be decreased.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제7권3호
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• pp.1-4
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• 2008

The chemical shift of SiOC film was observed according to the flow rate ratio. SiOC film had the broad main band of $880\sim1190cm^{-1}$ and the sharp Si-$CH_3$ bond at $1252cm^{-1}$, and the peak position of the main bond in the infrared spectra moved to high frequency according to the increasing of an BTMSM flow rate. So the increment of the alkyl group induced the C-H bond condensation in the film, and shows the blueshift in the infrared spectra. In the case of P5000 system of Applied Materials Corporation, the strong bond of Si-CH3 bond in precursor does not enough to dissociated and ionized, because low plasma energy due to the capactive coupled CVD. Therefore, there was the sharp peak of Si-$CH_3$ bond at $1252cm^{-1}$.

• 한국환경보건학회:학술대회논문집
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• 한국환경보건학회 2002년도 춘계 국제 학술대회
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• pp.60-63
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• 2002

Objectives : To estimate the correlation of blood lead level of families and environmental factors and infer its influence on blood lead levels in the Korean urban area in Seoul Korea. Methods : The study subjects comprised 499 men and 489 women from 366 families and we analyzed the blood lead level using induced coupled plasma/mass spectroscopy and had interviews. Results : The mean blood lead level of men was 3.00 $\mu\textrm{g}$/dL. The stastical analysis of this study used the tool of frequency rate and t-test between blood lead levels of families and environmental factors. Especially father's smoking and dusty workplace environment showed significancy to blood lead levels. Conclusion : There was positive relationship of blood lead level to several environmental factors. These facts show outdoor environment is more influential than home environment.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 1999년도 추계종합학술대회 논문집
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• pp.330-333
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• 1999

A Schottky characteristic is one of the important properties to determine the performance of GaN electronic devices. In this paper, we have studied how to improve the property after n$^{+}$ layer etching by ICP(Induced Coupled Plasma)-RIE(Reactive ion Etching). We have tried $N_2$radiation, annealing after $N_2$radiation, and annealing in $N_2$environment. We have found that a simple annealing method in $N_2$environment is enough to improve the Schottky characteristic for electronic device-Quality application.n.

• Journal of Microbiology
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• 제34권3호
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• pp.289-293
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• 1996

A cadimium-resistant strain isolated from Anyang stream, Azomonas agilis PY101 exhibited strong resistance to 1000 ppm of cadmium ion $(Cd^{2+})$. A agilis PY101 also exhibited resistance to various antibiotics, such as amoxicillin, amplicillin, bacitracin, cefazolin, erythromycin, penicillin, tetracycline, and vancomycin. In the presence of $Cd^{2+}$, the growth of A. agilis PY101 started after an extended lag phase and produced a green-fluorescent pigment induced by cadmium. The dramatic decrease (approximately 400ppm) of concentration of $cd^{2+}$ in the culture medium during the growth phase of A. agilis PY101 was confirmed by the inductively coupled plasma-atomic emission spectrophotometer. Transmission electron microscopic analysis revealed that A. agilis PY 101 actively accumulated $Cd^{2+}$ in the cytoplasm.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.258-258
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• 2011

최근 유연 기판을 이용한 태양전지 및 TFT 등 전자소자 개발에 관한 연구가 주목받고 있다. 본 연구에서는 공정 시 유리한 유리기판상 전자소자 제작 후 폴리이미드막 박리를 통한 유연전자 소자 구현을 목적으로 한다. 폴리이미드막 박리를 목적으로 희생층으로서 a-Si:H을 사용하였다. 유리기판상에 60 nm 두께의 a-Si : H을 ICP (Induced coupled plasma) 공정으로 증착한 후 a-Si : H층 상부에 30 ${\mu}m$ 두께로 폴리이미드를 코팅하여 Hot plate와 furnace에서 열처리를 거쳤다. 이후 각기 다른 파장을 갖는 레이저의 파워를 가변하며 유리 기판 후면에 조사하였다. 실험 결과 355 nm UV 레이저로 가공한 경우 희생층으로 사용 된 a-Si : H층 내에 존재하는 수소가 레이저 빛 에너지에 의해 결합이 끊어지면서 유리기판과 폴리이미드막이 분리됨을 확인하였다.