• 한국분말재료학회지
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• 제11권6호
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• pp.467-471
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• 2004

In order to fabricate a high density sintered body of ITO, nano-sized ITO powders were synthesized by coprecipitation methods. Aqueous solutions of indium and tin salts were mixed and coprecipitated by changing their pH. Coprecipitated ITO powders possessed 20-30 nm crystallite size and a relatively high BET value ($35m^2/g$), however, aggregation of particles were occurred. Therefore, a novel recrystallization technique was applied in order to eliminate the aggregates. The recrystallized ITO material consists of a little bit larger needlelike crystals, $20nm{\times}80nm$, and it possesses a higher BET value $(57m^{2}/g)$ compared to the plain coprecipitated material $(35m^{2}/g)$. Metastable phase formation and higher content of aggregated particles were observed in the coprecipitated materials. Densification was 95% to 98% complete after 5 hour sintering at $1500^{\circ}C$ for the recrystallized powders while densities of the coprecipitated powders were below 75%.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제28권7호
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• pp.1171-1174
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• 2007

We have developed an electrochemical immunosensor that combines the electrocatalytic property of carbon nanotube and the low background current of indium tin oxide (ITO) electrode. A partial monolayer of carboxylated single-walled carbon nanotube (CCNT) is covalently formed on an ITO electrode modified with amine-terminated phosphonic acid. Nonspecifically adsorbed avidin on the hydrophobic sidewalls of CCNT is used to immobilize biotinylated antibody and to reduce the nonspecific binding to CCNT. The biotinylated antimouse IgG bound on avidin and the antimouse IgG conjugated with alkaline phosphatase (ALP) sandwiches a target mouse IgG. ALP catalyzes the conversion of p-aminophenyl phosphate monohydrate into p-aminophenol, which is electrocatalytically oxidized to p-quinone imine on CCNT surface. Moderate electrocatalytic electrode obtained with the combination of CCNT and ITO allows low detection limit (0.1 ng/ mL).

• 한국광학회지
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• 제11권3호
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• pp.152-157
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• 2000

전자빔 증착된 Indium Tin Oxide(ITO) 박막의 진공 열처리 효과를 알아보기 위해 진공 및 대기 중에서 열처리 온도( $200-335^{\circ}C$) 및 산소 분압 변화($1\times^10^{-5}-1$\times10^{-4} torr$)에 따른 투과율과 면-저항의 변화 및 결정구조를 조사하였다. 시편은 (222) 계열의 면의로 우세 배향된 다결정박막이다. 진고 열처리 변수를 적절하게 조절하여 $62\Omega/\box$의 면저항과 99%(500nm) 이상의 투과율을 가지는 고품질의 박막을 얻을 수 있었다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
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• pp.1496-1499
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• 2009

A diode-pumped Nd:$YVO_4$ laser was used to obtain indium tin oxide (ITO) patterns on glass substrate with various overlapping rates. The results showed that the overlapping rate of laser beam influences on the edge structure of ITO pattern and the surface roughness of ablated groove bottom. At a laser repetition rate of 40 kHz, the optimized condition of overlapping rate was 75 %.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제13권7호
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• pp.563-567
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• 2000

We presented the etch results of indium-tin oxide thin films by using SF$_{6}$/O$_2$gas electron cyclotron resonance plasma and conducted X-ray phtoelectron spectroscopy and quadrupole mass spectrometer analyses for the etch characteristics. The etch rate of the films was greatly dependent on that of oxygen which was the major constituent element of the films. The oxygen was removed by the forms like $O_2$or SOF$_2$. We examined the ratio of atomic content of O and In and the change of this ratio was related to the removal rate of InF$_{x}$ and the S-metal bonding.ing.

• 한국세라믹학회지
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• 제48권6호
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• pp.516-519
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• 2011

Indium tin oxide (ITO) coatings were made using an ITO slurry and an ITO sol. This was achieved by dispersing nanosized ITO powder in a mixed solvent without any dispersant and developing an adhesive ITO sol from indium acetate and tin tetrachloride in a mixture of DMF and n-butanol. Coating was carried out in one step by spin coating an ITO slurry, which was then followed by an ITO sol over it. Here, the sol penetrates into the nano ITO particle layers to make them adhere to each other as well as to a glass substrate. This is then followed by sintering at 500$^{\circ}C$ for 1 h to produce a uniform film consisting of ITO particles of about 50 nm and 10 nm. ITO films were obtained with sheet resistances from 450 to 1500 ohm/${\Box}$ by varying spin speed and concentration. Transmittance is higher than 90% at 550 nm.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.367-367
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• 2013

Commercial applications of indium tin oxide (ITO) can be separated into two useful areas. As it is perceived to bear electrical properties and optical transparency at once, its chance to apply to promising fields, usually for an optical device, gets greater in the passing time. ITO is one of the transparent conducting oxides (TCO), and required to carry the relative resistance less than $10^{-3}{\Omega}$/cm and transmittances over 80 % in the visible wavelength of light. Because ITO has considerable refractive index, there exist applications for anti-reflection coatings. Anti-reflection properties require gradual change in refractive index from films to air. Such changes are obtained from film density or nano-clustered fractional void. Glancing angle deposition (GLAD) method is a well known process for adjusting nanostructure of the films. From its shadowing effects, GLAD helps to deposit well-controlled porous films effectively. In this study, we are comparing the reference sample to samples coated with controlled ITO multilayer accumulated by an e-beam evaporation system. At first, the single ITO layer samples are prepared to decide refractive index with ellipsometry. Afterwards, ITO multilayer samples are fabricated and fitted by multilayer ellipsometric model based on single layer data. The structural properties were measured by using atomic force microscopy (AFM), and by scanning X-ray diffraction (XRD) measurements. The ellipsometry was used to determine refractive indices and extinction coefficient. The optical transmittance of the film was investigated by using an ultraviolet-visible (UV-Vis) spectrophotometer.

• 청정기술
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• 제18권1호
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• pp.69-75
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• 2012

본 연구에서는 휴대용 기기의 터치스크린에 사용된 ITO (Indium Tin Oxide) 투명전극의 재활용에 대한 환경성 평가를 실시하였다. ITO 전극의 경우 도전성과 함께 투명성을 가지는 재료로서 터치 패널이나 LCD (Liquid Crystal Display), ELD (Emitting Light Device), PDP (Plasma Display Panel) 등 각종 디스플레이 장치의 제조를 위한 투명전극으로 수요가 증가하는 추세이다. 특히 인듐과 같은 희소금속을 함유하고 있기 때문에 국가 전략적으로 반드시 재활용되어야 한다. 또한 매립이나 폐기시 발생하는 환경오염 및 인간에게 미치는 영향도 고려해야 한다. 이에 대해 Material Life Cycle Assessment (MLCA)를 이용하여 ITO를 재활용과 매립의 두 가지 처리방법에 따른 환경부하를 정량적으로 분석하고자 한다. 또한 이산화탄소 배출과 투입된 에너지량도 계산하였다. 재활용은 폐 디스플레이에 포함된 ITO의 10, 20, 30%를 회수했을 때를 기준으로 한다.

• 청정기술
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• 제21권4호
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• pp.209-216
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• 2015

인듐주석산화물(ITO)은 TFT-LCD, OLED 등의 투명전극에 널리 사용되는 소재이다. ITO의 주요 원소인 인듐(In)은 높은 비용과 제한된 매장량 등으로 인해 머지 않아 고갈될 것으로 예측되고 있다. 이에 대처하는 방법은 공정 후 잔류 ITO 타겟을 재활용하여 ITO 소재의 원료를 확보하는 것이다. 본 원고에서는 공정 후 잔류 ITO 타겟의 재자원화 기술 및 시장 동향 고찰 및 효율적인 재활용을 위한 방향을 제시하였다. 그 결과, 현재 국내 및 일본에서 대부분 잔류 ITO 타겟에서 In만을 재자원화하고 있는 것으로 파악되었다. 이외에도 ITO 나노분말 입자를 제조 및 분산한 용액을 이용하여 투명전극을 제작하는 연구개발이 진행되고 있다. 그러나, ITO 타겟을 이용한 투명전극이 다른 대체 기술을 적용한 것보다 우수하기 때문에, 보다 효율적인 ITO 재자원화 및 타겟 제작을 위해 ITO를 동시에 재생하는 기술 확립이 필요한 것으로 보인다.

• 한국재료학회지
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• 제9권11호
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• pp.1055-1061
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• 1999

투명차폐재를 목적으로 Indium Tin Oxide (ITO) 투광성 박막을 제조하고 전자파 차폐특성에 대해 조사하였다. 박막은 RF magnetron co-sputtering 증착장비를 사용하여 제작하였다. RF 인가전력, Ar 및 $O_2$분압, 기판온도를 변화시키며 전기전도도와 투광성을 겸비한 박막의 조성과 구조에 관한 실험을 진행하였다. 최적의 증착조건은 $300^{\circ}C$의 기판온도, 20sccm의 아르곤 유량, 10sccm의 산소유량, 그리고 In과 Sn의 인가전력이 각각 50W와 30W일 경우였으며, 이때 얻어진 박막은 육안으로 분명할 정도의 투광성을 보였고 5.6$\times10^4$mho/m의 높은 전기전도도를 나타내었다. 이렇게 제조된 ITO 박막의 전자파 차폐효과를 차폐이론에 의해 분석하였다. 박막의 전기전도도, 두께, skin depth로부터 차폐기구(흡수손실, 반사손실, 다중반사 보정항)에 대해 고찰하였다. 계산된 차폐효과는 26dB의 값을 보여 투광성 차폐재로 ITO 박막의 사용 가능성을 제시할 수 있었다.