A study on High-Precision Position Control of Permanent Magnet Synchronous Motor for Semiconductor Equipments (반도체 제조 장비용 영구자석형 동기전동기의 고분해능 위치제어에 관한 연구)
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- Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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- v.6 no.5
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- pp.432-438
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- 2005