• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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• pp.65-66
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• 2005

Etching characteristics of $Ge_2Sb_2Te_5$ (GST) films were investigated using $Cl_2$/Ar inductively coupled plasma.We examined the etching characteristics such as etching rate and selectivity over oxide films of GST films using inductively coupled plasma (ICP) with various etching parameters such as $Cl_2$/Ar gas mixing ratios, ICP source power, pressure, and bias power. The maximum etch rate of GST film was $2,815{\AA}$/min and the selectivity higher than 12:1 over the oxide films was also obtained at the $Cl_2$ flow rates of 40 sccm.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제41회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.282-282
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• 2011

Low power consuming operation of phase-change random access memory (PRAM) can be achieved by confining the switching volume of phase change media into nanometer scale. Ge2Sb2Te5 (GST) is one of the best materials for the phase change random access memory (PRAM) because the GST has two stable states, namely, high and low resistance values, which correspond to the amorphous and crystalline phases of GST, respectively. However, achieving the fast operation speed at lower current requires an alternative chalcogenide material to replace the GST and shrinking the dimension of programmable volume. In this paper, we have fabricated nanoscale contact area on Ge2Sb2Te5 thin films with trimming process. The GST material was fabricated by melt quenching method and the GST thin films were deposited with thickness of 100 nm by the electron beam evaporation system. As a result, the reset current can be safely scaled down by reducing the device contact area and we could confirmed the phase-change characteristics by applying voltage pulses.

• 대한치과기공학회지
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• 제35권4호
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• pp.333-341
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• 2013

Purpose: The purpose of this study was to evaluate the flexural strength of indirect composite resins with different polymerization conditions. Methods: Ten specimens ($2mm{\times}2mm{\times}25mm$) of each composite resins (Tescera (T), Gradia (S) and Sinfony (S)) were fabricated by two polymerization methods : manufacturers's and light heat pressure. Composite resins polymerized by manufacturers's method and light heat pressure served as control (TS, GS and SS) and experimental groups (TE, GE and SE), respectively. The composite resins were tested for flexural strength and the surface of composite resins were observed with scanning electron microscope (SEM) under X1,000 magnification. Results: The flexural strength values of cured composite resin decreased in the following order: TE (195.4MPa), TS (179.8MPa), GE (169.9MPa), SE (137.7MPa), SS (111.1MPa) and GS (100.9MPa) groups. Conclusion: The flexural strength values between the control and the experimental groups were not significantly different although experimental groups showed higher flexural strength values than control groups.

• 한국방사선학회논문지
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• 제5권6호
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• pp.401-407
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• 2011

TE를 변화시킨 정상인 대뇌의 MR spectrum에서 주요 대사물질의 면적과 SNR을 측정하여 PRESS 펄스파형과 STEAM 펄스파형 그리고 1.5T와 3.0T간의 자장세기에 따른 spectrum 간의 차이를 알아보고자 하였다. Phantom 실험을 통하여 적절한 TR을 정한 후, 정상인 지원자 10명(3.0T 5명, 1.5T 5명 ; 남 22~30세 : 평균 26세)을 대상으로 단일용적기법의 STEAM과 PRESS 기법을 시행하였다. 사용된 장비는 3.0T MR scanner(Magnetom Trio, SIEMENS, Germany)와 1.5T MR scanner(Signa Twinspeed GE, USA)이였다. 영상변수는 TR은 2000ms, TE는 30ms, 40ms, 50ms, 60ms, 90ms, 144ms, 288ms, NA는 96, 용적 크기는 $20{\times}20{\times}20mm3$로 하였으며, spectrum 획득시간은 3분 20초였다. 획득한 데이터는 후처리과정을 통하여 PRESS와 STEAM, 그리고 1.5T와 3.0T system 간의 NAA, Cho, Cr 등의 단순면적값과 SNR을 비교하였다. 또한 육안적 관찰을 통하여 각 대사물질들의 관찰정도를 비교하였다. 1.5T와 3.0T MR spectrum을 분석한 결과, STEAM과 PRESS의 주요 대사물질의 단순 면적값과 SNR은 TE가 증가함에 따라 감소하는 경향을 보였으며, PRESS는 STEAM보다 1.5T에서 1.4배, 3.0T에서 1.3배 높은 SNR을 보였다. 자장의 세기에 따른 SNR 비교에서는 TE가 30ms에서 3.0T가 1.5T보다 약 2배 정도 높은 SNR을 보였으나 TE값이 증가함에 따라 3.0T에서의 SNR 감소율이 1.5T에서의 SNR 감소율보다 커서 TE가 90ms 이상부터는 큰 차이가 없었다. 반면 3.0T의 spectrum에서는 1.5T에서 구분할 수 없었던 ${\alpha}$-Glx, ${\beta}{\cdot}{\gamma}$-Glx, NAA complex등 작은 대사물질들을 보다 정확히 감별 할 수 있었고 short TE의 PRESS일 때 short TE의 STEAM보다 작은 대사물질들이 잘 관찰 되었다. 3.0T spectrum의 해상도와 SNR이 1.5T spectrum에 비하여 우수함을 알 수 있었다. 그러나 90ms이상의 long TE에서는 3.0T와 1.5T spectrum간의 SNR은 차이가 없었다. 따라서 고자장하에서의 자기공명분광법은 30ms 이하의 짧은 TE를 이용한 PRESS 펄스 파형을 사용하는 것이 임상적으로 유용하게 사용될 수 있을 것이라 사료된다.

• 한국광학회지
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• 제14권1호
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• pp.23-32
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• 2003

타원법(ellipsometry)을 사용하여 광기록 매체용 Ge$_2$ Sb$_2$ Te$^{5}$ (GST) 박막의 성장과정에 따른 타원상수 Ψ와 $\Delta$를 측정하여. GST 박막의 최적성장조건을 연구하였다. 아르곤기체압력과 DC 출력 그리고 기판의 온도를 변화시키면서 GST 박막을 성장시켰다. 제작된 시료들의 분광타원 데이터를 모델링 분석하여 GST박막의 밀도분포를 구하고 한편으로는 GST 박막이 성장하는 동안 측정한 in situ 타원 성장곡선을 분석하여 박막의 밀도분포의 변화를 추적하였다. 아르곤기체압력이 7 mTorr일 때 박막의 상대적인 밀도분포가 고르게 되었고 DC출력이 증가함에 따라 그리고 기판의 온도가 증가함에 따라 GST 박막의 밀도 균일성은 크게 향상되었다. 주사형전자현미경(SEM)을 사용하여 최적 밀도 균일성을 가지는 성장조건(7 mTorr, 45 W, 15$0^{\circ}C$)에서 제작된 GST 시료가 가장 균일한 구조를 보여줌을 확인하였다. 균일한 밀도 분포를 가지는 GST 박막의 성장조건 확립을 통하여 여러번 기록/재생할 때 광기록 박막의 안정성을 유지하는데 크게 기여할 것이다.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제10권1호
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• pp.33-40
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• 1999

목적 : 본 논문은 2차원과 3차원 신경계 자기공명영상에서 뼈 주위에 있는 여러 조직의 신호세기를 계산하고 측정값과 비교 분석하는 데 목적을 두었다. 대상 및 방법 : 신경계 양성자 강조영상은 뼈를 제외한 뇌척수액과 근육 및 지방 등 모든 조직을 보여준다. 또한 자기공명영상을 이용하면 2차원이나 3차원 영상을 얻을 수 있다. 본 연구에서는 2차원 영상기법으로 2차원 고속스핀반향 (Fast spin-echo) 영상법을 사용하였고 3 차원 영상기법으로는 3차원 경사자계반향(Gradient-echo) 영상법을 사용하였다. 2차원 스핀반향 (Spin-echo)과 3차원 경사자계반향 영상법에 나타난 뇌척수액과 근육 및 지방의 신호세기를 알아내기 위해 2차원 스핀 반향과 3차원 경사자계반향의 신호세기의 이론값을 계산하였다. 2차원 고속스핀반향 영상법에서는 양성자 강조영상을 얻기 위해 긴 반복시간 (4000 ms) 과 짧은 반향시간(TE$_{eff}$ =22 ms)을 적용하였다. 3차원 경사자계반향 영상법에서는 양성자 강조영상을 얻기 위해 작은 꺽임각 (8$^{\circ}$) 과 짧은 반복시간 (35 ms) 및 짧은 반향시간 (3 ms)을 적용하였다. 결과: 2차원 고속스핀반향 영상법에서는 뇌척수액과 근육 및 지방의 영상 대조도가 우수하였고 신호 대 잡음비(SNR) 값은 39-57 사이였다. 3차원 경사자계반향 영상법에 나타난 뇌척수액과 근육 및 지방의 영상 대조도는 2차원 고속스핀반향 영상법의 결과와 비슷하였지만 신호 대 잡음비(SNR) 값은 26-33 사이였다. 신호 대 잡음비는 2차원 고속스핀반향 영상법이 3차원 경사자계반향 영상 법보다 높았고 가장자리 향상효과 때문에 2차원 고속스핀반향 영상에서 머리뼈의 가장자리를 쉽게 구별할 수 있었다. 덧붙여 2차원 고속스핀반향 영상에 나타난 뇌척수액과 근육 및 지방 사이의 대조도는 강한 신호세기와 향상된 뇌척수액의 가장자리 때문에 상당히 우수하였다. 결론 : 2차원과 3차원 신경계 자기공명영상에서 머리뼈 주위에 있는 여러 조직의 신호세기를 계산하고 측정값과 비교 분석하였다. 뇌척수액과 근육 및 지방의 계산값과 측정값의 영상 대조도와 신호 대 잡음비 값이 2차원 고속스핀반향 영상법과 3차원 경사자계반향 영상법에서 대체로 일치하였다. 그렇지만 2차원 고속스핀반향 영상에서 뇌척수액과 근육 및 지방 사이의 대조도가 우수하였고 신호 대 잡음비는 상대적으로 높았으며 상대적으로 짧은 영상시간이 소요되었다.

• 대한디지털의료영상학회논문지
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• 제14권2호
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• pp.57-61
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• 2012

To compare the accuracy of breath-hold magnetic resonance imaging sequences to establish the most effective superparamagnetic iron oxide-enhanced sequence for detection of hepatic metastases. A total of 100 patients(50men and 50women, mean age: 60years) with liver disease(including malignant and benign liver lesions) were investigated at 3.0T machine (GE, General Electric Medical System, Excite HD) with 8Ch body coil. Pulse sequence for MR imaging decided to the FS-T2-FSE-RT(TR/TE/Thick./Freq./Phase=12857ms/100ms/7mm/512/384), MGRE(TR/TE/Thick./Freq./Phase=100ms/9.7ms/7mm/384/288), in-out of phase echo(TR/$TE_1$, $TE_2$/Thick./Freq./Phase=140ms/2.4, 5.8ms/7mm/352/300), Images obtained before the injection of SPIO. Six sequences were optimized for lesion detection: FS-T2-FSE-RT, multigradient recalled echo data image(MGRE), T2-weighted MGRE with an 9.7msec echo time. Images were reviewed independently by five blinded observers. The accuracy of each sequence was measured by using picture archiving communication system analysis. All results were correlated with findings at multidectator computed tomography examination. Differences between the mean results of the six observers were measured by using paired student t-test analysis. Postcontrast T2-weighted MGRE sequences were the most accurate and were significantly superior to postcontrast FS-T2-FSE-RT, T2-weighted MGRE, in-out of phase MR sequences(p < .05). For all lesions that were malignant or smaller than 1 cm, respectively, contrast to noise ratio of pre and postcontrast sequences were -1and -0.3 for T2-weighted FSE, 0.53 and 4.5 in-out of phase, 7, 7.08, 5.08, 3.32, 1.7, 1.16, 0.79, 0.68 for GRE with 2.9, 7.5, 12.1, 16.6, 21.2, 25.8, 30.4, 35.0 TE values. Breath-hold various TE precontrast sequences offer improvement in sensitivity compared with fixed multigradient recalled echo sequences alone.

• 한국의학물리학회:학술대회논문집
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• 한국의학물리학회 2002년도 Proceedings
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• pp.411-414
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• 2002

The CdTe semiconductor detector has a higher detection efficiency for x-rays and $\square$amma rays and a wider energy band gap compared with Si and Ge semiconductor detectors. Therefore, the size of the detector element can be made small, and can be operated at room temperature. The interaction between a CdTe detector and incident x-rays is mainly photoelectric absorption in the photon energy range of up to 100 keV. In this energy range, Compton effects are almost negligible. We have developed a 256 channel CdTe array detector system for monochromatic x-ray CT using synchrotron radiation. The CdTe array detector system, the element size of which is 1.98 mm (h) x 1.98 mm (w) x 0.5 mm (t), was operated in photon counting mode. In order to improve the spatial resolution, we tilted the CdTe array detector against the incident parallel monochromatic x-ray beam. The experiments were performed at the BL20B2 experimental hutch in SPring-8. The energy of incident monochromatic x-rays was set at 55 keV. Phantom measurements were performed at the detector angle of 0, 30 and 45 degrees against the incident parallel monochromatic x-rays. The linear attenuation coefficients were calculated from the reconstructed CT images. By increasing the detector angle, the spatial resolutions were improved. There was no significant difference between the linear attenuation coefficients which were corrected by the detector angle. It was found that this method was useful for improving the spatial resolution in a parallel monochromatic x-ray CT system.

• 한국세라믹학회지
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• 제37권6호
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• pp.524-529
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• 2000

Silica slab wavegudie was fabricated on Si substrates by FHD for planar optical passive devices. The slab waveguide consists of lower clad and core layers, where core layer index is controlled by GeO2 addition. Doping of GeO2 in silica is difficult because of the low deposition density due to nonspherical particle generation in FHD process. Silica core particles deposited at various conditions such as flame temperature and substrate scanning were analyzed by SEM and TEM. As the flame temperature increased, the surface roughness of the core layer was decreased up to 3.6 nm after consolidation. Index difference and thickness of core of slab waveguide were 0.3%, 8$\mu\textrm{m}$ respectively. Measured optical loss at TE mode was <0.04 dB/cm at 1.3$\mu\textrm{m}$ and <0.06 dB/cm at 1.55$\mu\textrm{m}$.

• 대한자기공명의과학회:학술대회논문집
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• 대한자기공명의과학회 2003년도 제8차 학술대회 초록집
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• pp.23-23
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• 2003

To evaluate clinical visualization of intracranial aneurysms between 3D-TOF MRA with 3.0T MR and CTA with 16-slices MDCT. In a prospective series, 12 patients with 16 aneurysms were studies with 3D-TOF MRA and CTA. MRA were performed on a GE Signa 3.0 T system (Signa VH/i, GE) with 25/3/20 (TR/TE/FA). CTA were peformed on a 16 slice MDCT (Sensation 16, Somatom, Siemens) with IV shooting of 80 ml iodinated contrast mediumat antecubital vein at a rate of 3.5 ml/sec. Four among 12 patients underwent DSA for surgery. Size, shape, neck and parent vessel of aneurysms were evaluated for comparison of visualization and detectability of aneurysms.