• 제목/요약/키워드: In-water cleaning

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실리콘기판과 불소부식에 표면에서 금속불순물의 제거 (Removal of Metallic Impurity at Interface of Silicon Wafer and Fluorine Etchant)

  • 곽광수;연영흠;최성옥;정노희;남기대
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제16권1호
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    • pp.33-40
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    • 1999
  • We used Cu as a representative of metals to be directly adsorbed on the bare Si surface and studied its removal DHF, DHF-$H_2O_2$ and BHF solution. It has been found that Cu ion in DHF adheres on every Si wafer surface that we used in our study (n, p, n+, p+) especially on the n+-Si surface. The DHF-$H_2O_2$ solution is found to be effective in removing metals featuring high electronegativity such as Cu from the p-Si and n-Si wafers. Even when the DHF-$H_2O_2$ solution has Cu ions at the concentration of 1ppm, the solution is found effective in cleaning the wafer. In the case the n+-Si and p+-Si wafers, however, their surfaces get contaminated with Cu When Cu ion of 10ppb remains in the DHF-$H_2O_2$ solution. When BHF is used, Cu in BHF is more likely to contaminate the n+-Si wafer. It is also revealed that the surfactant added to BHF improve wettability onto p-Si, n-Si and p+-Si wafer surface. This effect of the surfactant, however, is not observed on the n+-Si wafer and is increased when it is immersed in the DHF-$H_2O_2$ solution for 10min. The rate of the metallic contamination on the n+-Si wafer is found to be much higher than on the other Si wafers. In order to suppress the metallic contamination on every type of Si surface below 1010atoms/cm2, the metallic concentration in ultra pure water and high-purity DHF which is employed at the final stage of the cleaning process must be lowered below the part per trillion level. The DHF-$H_2O_2$ solution, however, degrades surface roughness on the substrate with the n+ and p+ surfaces. In order to remove metallic impurities on these surfaces, there is no choice at present but to use the $NH_4OH-H_2O_2-H_2O$ and $HCl-H_2O_2-H_2O$ cleaning.

염소 가스 중독에서 나트륨 중탄산염의 흡입치료 2례 (Two Cases of Sodium Bicarbonate Inhalation Therapy in Chlorine Gas Intoxication)

  • 이동훈;어은경
    • 대한임상독성학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.49-53
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    • 2004
  • A chlorine gas is a common irritant and when exposed, it result in mild occular, oropharyngeal, or respiratory symptoms. In severe case, however, it may result in pulmonary edema, interstitial pneumonia, or respiratory failure. We report the case of 29-year-old and 46-year-old men is accidentally exposed to chlorine gas during cleaning water. The patients complained dyspnea, chest tightness, cough and both eye pain. During hospitalization, they were treated with inhalation of humidified oxygen, beta-adrenergic agonist and $2\%$ sodium bicarbonate. After several days, patients were discharged without respiratory symptoms and complication. In treatment of chlorine gas toxicity the inhalation of sodium bicarbonate is a possible initial therapy can improve respiratory symptoms in spite of lack of evidence.

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The noble method for superhydrophobic thin film coating

  • 서현욱;김광대;정명근;김동운;김명주;닐라이 쿠마르 데;김영독;임동찬;이규환;엄성현;이재영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.496-496
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    • 2011
  • A very simple and cost-effective method for fabrication of SiOx-incorporated diamond-like carbon (DLC) thin films at a preparation temperature of less than $200^{\circ}C$ was developed. Since DLC coating can be prepared not under vacuum but atmospheric conditions without any carrier gas flow, not only wafers but also powderic substrates can be used for DLC coating. Formation of DLC coating could result in appearance of superhydrophobic behaviors, which was sustained in a wide range of pH (1~14). DLC-coated surfaces selectively interacted with toluene in a toluene/water mixture. These results imply that our preparation method of the DLC coating can be useful in many application fields such as creating self-cleaning surfaces, and water and air purification filters.

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해양양식전진기지 개념설계 (An Aquaculture System Concept for Ocean Application)

  • 고유봉;최영찬;김성근;박노식;이상무
    • 한국해양공학회:학술대회논문집
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    • 한국해양공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.79-82
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    • 2003
  • An aquaculture system for feeding the caged fishes in the open water is suggested for ocean application. Survival and operation conditions are defined at the conceptual design. Wave and current drag forces are discussed to determine the proper dimension of the aquaculture system and the related mooring system. Second order wave drift force at the survival condition is the dominant force, which be reduced by minimizing the superstructure open to the surface. Automation in feeding, sorting, cleaning is introduced to use the ongoing technology for quality product. The suggested system has advantage compared to onshore culturing, but not to shallow water culturing system. There is room for real application in future by the countries, such as Korea and Japan, which are in short of fish supply and have willingness to venture towards the ocean aquaculture.

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일체형 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수의 특성 (Characteristics of Strong Alkaline Electrolyzed Water Produced in All-in-one Electrolytic Cell)

  • 이호일;이영우;강경석
    • 청정기술
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    • 제18권4호
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    • pp.446-450
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    • 2012
  • 격막식 전해조에서 전해질(염화나트륨, 탄산칼륨 등)을 첨가시킨 수용액을 전해하여 음극에서 생산되는 강알카리성 전해수는 세정효과가 있고, 친환경적이어서 화학적 세정제의 대체물질로 검토되고 있다. 일본에서는 일부 자동차나 정밀부품업계 등에서 세정제로 사용되고 있다. 격막식 전해조를 사용하여 강알카리성전해수를 생산할 경우 필연적으로 양극에서 강산성전해수가 생성된다. 생성되는 강산성전해수는 용도를 찾지 못할 경우 배출되어 폐기되므로 결과적으로 전해수의 생산효율이 저하된다. 또한 격막의 오염으로 인하여 전해효율이 저하되는 단점이 있다. 이러한 단점을 보완하고자 전극반응실과 희석실이 일체화된 무격막 일체형 전해조를 사용하고 전해질의 조성을 변화시키면서 강알카리성전해수를 생성하였으며, 이의 물성 및 특성을 확인하였다. 격막식 전해조에서 생산된 강알카리성전해수와 일체형 전해조에서 생산된 강알카리성전해수의 물성을 비교한 결과 산화환원전위(oxidation reduction potential, ORP), 염소농도에서 차이가 관찰되었다. 계면활성력을 확인하기위한 유화시험에서도 유사한 결과를 얻었으며 이로부터 무격막 일체형 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수는 격막식 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수처럼 세정용도로 사용 가능함을 확인하였다. 방청력 시험에서는 격막식 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수가 우수함을 확인하였다. 무격막 일체형 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수는 격막식 전해조에서 생산된 강알카리성 전해수와 달리 유효염소를 함유하고 있어 살균력을 보유하고 있을 것으로 사료된다.

도심 수목식재의 정화효과에 관한 연구 (The study of trees's purification effect for air pollution in City)

  • 최영태;조재립
    • 한국품질경영학회:학술대회논문집
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    • 한국품질경영학회 2007년도 춘계학술대회
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    • pp.356-358
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    • 2007
  • There are some kinds of greenfield in city. Greenfield is very important about cleaning air pollution. A green field is consist of street-trees, parks, river etc. Plants of greenfield normally take in carbon dioxide and exchange it for oxygen and water vapor; it now appears that plants can also take in other, more dangerous gases, through the tiny openings, or stomates, on their leaves. It is calculated the quantity of taking $CO_{2}$, and emission of $O_{2}$ and We analyse the economic effect about that in this paper.

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Recent Improvements in Integrated Zinc Control and Dust/Sludge Recycling at China Steel

  • Liu, Kuo-chung;Chiang, Shyh-yi
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2001년도 The 6th International Symposium of East Asian Resources Recycling Technology
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    • pp.437-442
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    • 2001
  • In an integrated steel mill, zinc (Zn) inputs from raw materials and steel scrap are enriched in the dusts and sludges collected from gas and water cleaning systems. The reuse of these dusts and sludges must be controlled within certain limit to avoid Zn accumulation and related operational problems in blast furnace. An integrated system has been established at China Steel Corporation (CSC) to enhance the internal reuse of Zn-containing dust/sludge while keeping Zn input within control lim it. However. the performance of this system has not been very satisfactory until one and half years ago when a rationalization process was initiated. The essence of this rationalization process, the recent improvements in Zn control and dust and sludge reuse are reported and discussed.

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다양한 전기분해수 세정처리에 따른 깻잎의 저장중 품질특성 비교 (Comparison of Quality Characteristics of Sesame leaf Cleaned with Various Electrolyzed Water during Storage)

  • 정진웅;김종훈;권기현
    • 한국식품저장유통학회지
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    • 제12권6호
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    • pp.558-564
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    • 2005
  • 다양한 제조조건에 따른 전기분해수의 물리적 특성 및 미생물의 표면살균 효과, 이에 따른 저장성 등을 조사하였다. 그 결과 격막방식의 강산성 전기분해수는 최소한 저장 30일, 무격막 방식의 전해수는 최소 저장 15일까지는 초기 물리화학적 특성치와 거의 유사한 수준을 보였으며, 저장온도에 따른 차이는 거의 없는 것으로 나타났다. 시험관내에서 전해수의 미생물 사멸효과는 무격막 방식의 EW-3만이 Salmonella typhimurium이 1분 이내에 사멸되는 것을 제외하고는 Escherichia coli 등 4균주에서 초기 $10^7\~10^9$ CFU/mL에서 30초 후에 모두 사멸되었다. 또한, 신선 깻잎을 다앙한 전해수 및 수도수 등으로 세정처리하여 저장중 품질변화를 조사한 결과, 총균수 및 대장균군은 전해수 처리에 의해 $2\~3$ log scale정도 감균효과를 보여주었으며 특히, 강산성 전해수(EW-1)처리 시에는 저장 13일까지 Bacillus cereus균이 전혀 검출되지 않았다. 부패율은 무처리구의 경우 저장 6일째부터 나타나기 시작했으나 전해수로 세정 처리한 깻잎은 저장 10일째까지 나타나지 않았다. 저장중 색차(${\Delta}E$) 변화는 약알칼리성 전해수(EW-2)와 중성의 전해수(EW-3)로 처리한 시료는 저장 13일후 $1\~2$수준으로 무처리구에 비하여 매우 양호하게 나타났다. 클로로필 함량의 변화는 초기 $9.0\~10.3\;mg\%$에서 무처리구 13일째 $6.8mg\%$로 가장 크게 감소한 반면 EW-3 처리구에서 $8.35mg\%$로 가장 적게 감소하였으며, 전반적인 관능평가에 있어서는 EW-2와 EW-3 처리구에서 가장 높게 나타났다.

천연기념물 진주 충무공동 익룡·새·공룡발자국 화석산지의 오염물 형성 메커니즘과 관리방안 (Contaminant Mechanism and Management of Tracksite of Pterosaurs, Birds, and Dinosaurs in Chungmugong-dong, Jinju, Korea)

  • 최명주;원상호;이태종;이성주;공달용;이명성
    • 자원환경지질
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    • 제56권6호
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    • pp.715-728
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    • 2023
  • 익룡 발자국의 개체 및 밀집도 측면에서 세계 최대 규모로 알려진 진주 충무공동 익룡·새·공룡발자국 화석산지는 2011년 천연기념물로 지정된 이래, 2018년 일부 화석층을 현장 보존하기 위해 보호각을 설치하였다. 이 중 제2보호각에 관리중인 화석층은 기 보고된 발자국 중 약 17%에 달하는 익룡·수각류·조각류 발자국(총 679개)이 단일 층준에서 발견되어 학술적 가치가 크지만 물리적, 화학적 손상이 지속적으로 발생하여 발자국의 관찰에 어려움이 있다. 특히 화석층 표면을 피복하는 유백색 오염물은 석고와 대기오염물로 구성된 복합체의 누적현상에서 기인한다. 오염물을 구성하는 석고는 화석층 하부층준에서 기원한 칼슘과 잔디의 생육활동으로 공급되는 황이 보호각 후방의 잔디가 식재된 토양층에서 집수된 지하수에 의해 용출되고, 보호각의 일대의 수분 순환 과정에서 화석층 표면에 증발잔류하며 결정화된다. 또 다른 오염물 구성체인 화분·광물 등은 분진 배출이 어려운 보호각 갤러리창을 통해 풍성으로 유입된다. 따라서 상이한 기원을 가진 두 오염물로부터 화석층을 보존하기 위해서는 보호각의 수분 및 대기 순환 제어와 지속적인 오염물 제거가 필요하다. 분진상의 석고와 대기 오염물은 스팀 세정법으로 충분한 제거 효과가 있으며, 암회색 셰일인 화석층은 레이저 흡수능이 커 흔적화석과 퇴적구조의 물리적 손실을 동반하는 레이저 세정법은 가급적 지양하는 것이 바람직하다.

마이크로버블을 이용한 분리막 파울링 저감방법 (Method of Reducing Separation Membrane Fouling Using Microbubbles)

  • 구경환;김영희
    • 청정기술
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    • 제29권1호
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    • pp.31-38
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    • 2023
  • 수자원 오염 그리고 기후변화로 인한 극한의 기상현상으로 물 부족 현상 심화로 공공하수처리 시설의 폐수 배출시 총유기탄 소량(TOC) 기준이 시행되고, 대체 수자원 확보를 위해 하수처리수 재이용에 연구와 관심이 증가하고 있다. 현장에서는 하폐수고도처리로 MBR(membrane bio-reactor)공법을 보편적으로 사용하며, 유기 및 무기 이온 제거 그리고 화학물질의 사용 및 배출이 없다는 친환경적인 장점이 있다. 하지만, 분리막을 사용한 MBR공정은 고농도 활성슬러지 부유물질(mixed liquor suspended solid, MLSS)로 인한 분리막의 막오염(파울링) 현상으로 잦은 막세정 비용 발생의 문제가 있다. 본 연구에서는 분리막 운영시 최대 단점이었던 분리막의 차압 상승, 통수량 저하, 파울링 현상을 개선하고자 i) 공정 개선과 ii) 마이크로버블의 세정 효율을 평가하였다. 기존 MBR공법에 원수가 유입되는 호기조와 MBR조 사이에 침전조를 설치하여 침전조를 거친 상등수가 유입된 분리막조 내부로 마이크로버블을 주입하였다. 마이크로버블은 5개월간 15일 간격으로 마이크로버블 발생장치를 작동(ON), 미작동(OFF)하여 방류수 시료(4L)를 채취 후 TOC를 측정하였다. 침전조를 거친 상등수가 분리막조로 유입하여 원수 MLSS의 95%이상이 제거되어 생물막 등의 오염으로부터 막의 파울링 현상을 1차 방지할 수 있었다. 침전조를 거친 상등수에 마이크로버블의 적용으로 분리막의 차압은 1.6 ~ 2.3배 감소 및 통수량은 최대 1.4배 증가하였다. 마이크로버블의 적용(ON)으로 TOC 제거율은 58% 이상 증가했다. 호기조와 분리막조를 분리 운영함에 따라 침지식 분리막의 파울링 현상을 저감할 수 있고, 추가로 마이크로버블을 적용하여 분리막의 차압, 통수량과 막오염(파울링)이 개선으로 효율적인 고도처리공법을 제시했다.