• 제목/요약/키워드: In-line EFEM

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인라인 EFEM 클러스터 장비 아키텍처의 모델링 및 분석 사례 연구 (A Case Study for Modeling and Simulation Analysis of the In-Line EFEM Cluster Tool Architecture)

  • 한용희
    • 한국시뮬레이션학회논문지
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    • 제21권2호
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    • pp.41-50
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    • 2012

  • 본 연구에서는 반도체 제조공정 및 클러스터 장비에 대한 상세히 설명하고 현 팹 레이아웃 및 클러스터 장비 아키텍처상의 문제점을 제시하였다. 또한 현 아키텍처상의 대안으로서 클러스터 장비간의 웨이퍼 이동이 상호 연결된 인라인 EFEM(Equipment Front End Module) 을 통해 이루어지는 ILE (In-Line EFEM) 아키텍처의 개념을 제시하였다. 마지막으로 해당 아키텍처를 실제 적용하여 구현된 파일럿 시스템을 시뮬레이션 을 통해 사이클 타임 관점에서 비교 분석하였다.

  • https://doi.org/10.9709/JKSS.2012.21.2.041 인용 PDF KSCI