• 제목/요약/키워드: Imprint

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EASYCLAVE SYSTEM을 이용한 imprint공법의 가능성

  • 곽정복;이상문;조재춘;이환수
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.173-173
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    • 2008
  • 이전 까진 기판용 imprinting공법 기술 개발 과제를 하면서 imprint공정 진행시 일축형프레스를 이용하여 실험을 하면서 전면적의 균일한 압력을 가하여 절연필름의 Residue film 적게 남는것이 가장 이상적이지만, stamp두께가 전면이 똑같은 두께가 아니고 편차가 있어서 imprint를 하고나면 stamp 편차가 두꺼운 쪽은 많은 압력이 가해지고, 적은 쪽은 압력전달이 적게되어 Demolding을 하고나면 기판위에 패턴은 고르게 전사되지만 Cross section을 보게 되면 한쪽은 Residue film이 많이 남고 다른 한쪽은 적게 남게 되어 디스미어 공법시 패턴에 손상이 가지 않게 완전한 Residue film 제어가 쉽지 않고, 여러장을 동시에 한판에 imprint가 불가능 하고 기판 size가 커지면 Residue film의 편차가 심해서 더 이상 공정 진행이 불가능 했다. 하지만 Easyclave장비로 imprint를 하면 공기의 압으로 stamp전면에 똑같은 압력이 가해져 Residue film의 편차가 거의 없이 공정 진행이 가능했으며, 두께가 서로 틀려도 여러장의 기판을 동시에 imprint를 할수 있게 되었다, 일축형 프레스와 Easyclave의 실험결과를 비교하여 Easyclave장비의 imprint가능성과 이로운점을 발표하고자 한다.

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계층적 분류방식에 의한 인영 검증 (A Hierarchical Classification Method for Verification of Seal Imprint)

  • 김진희;심재창;현기호;하영호
    • 전자공학회논문지B
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    • 제28B권11호
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    • pp.904-912
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    • 1991
  • Automatic recognition of seal imprint has been required in the oriental countries. In this paper, a hierarchical approach for seal imprint verification is presented. Global features are used for seal imprint description in the first step. In the second step, conventional and several proposed local features are used to detect useful informations such as size, distribution and relative position of stroke length from seal imprint. In the last step, seal imprints are classified into one of three categories 'accept', 'ambiguous' and reject', based on the hierarchical classification. Experimental results show good performance on classification and recognition.

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유방암의 Imprint 표본에서 p53 단백 발현 (p53 Protein Expression in Imprint Cytology of Breast Carcinoma)

  • 김동석;이은희;김기권;김미진;이수정
    • 대한세포병리학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.1-9
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    • 1995
  • This study was carried out to determine the usefulness of imprint cytology for detecting p53 protein in breast carcinoma. NCL-DO7 (Novocastra, U.K.) was used to detect p53 protein immunocytochemically. A total of 33 cases was studied, Immunostaining of imprint cytology with NCL-DO7 was positive in 64% (21/33) and showed relatively high coincident rate (80%) with immunostaining of formalin-fixed, paraffin-embedded specimen p53 protein was related to negative estrogen receptor status, but not to the nuclear grade, lymph node metastasis, or tumor size. The fact that p53 protein expression was not related to nuclear grade might be due to predominance of nuclear grade 3. It was easier to determine the nuclear grade is one of the most important prognostic factors, in imprint cytology than in tissue specimen. p53 protein tended to be stained more strongly in imprint cytology than in tissue. It is concluded that the application of imprint cytology in p53 protein detection can be performed easily, and that it may contribute to the evaluation of prognostic factors in breast carcinoma.

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UV NIL을 이용한 Lift-off가 용이한 패턴 형성 연구 (Fabrications of nano-sized patterns using bi-layer UV Nano imprint Lithography)

  • 양기연;홍성훈;이헌
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.1489-1492
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    • 2005
  • Compared to other nano-patterning techniques, Nano imprint Lithography (NIL) has some advantages of high throughput and low process cost. To imprint low temperature and pressure, UV Nano imprint Lithography, which using the monomer based UV curable resin is suggested. Because fabrication of high fidelity pattern on topographical substrate is difficult, bi-layer Nano imprint lithography, which are consist of easily removable under-layer and imprinted pattern, is being used. If residual layer is not remained after imprinting, and under-layer is removed by oxygen RIE etching, we might be able to fabricate the bi-layer pattern for easy lift-off process.

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나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발 (Development of Fabrication Process of Light Guiding Plate with Nanometer-Sized-Cylindrical Pattern Using Nano Imprint Lithography Method)

  • 이병욱;홍진수;김창교
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제14권4호
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    • pp.332-335
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    • 2008
  • PMMA light guiding plate with nano pattern was fabricated by nano imprint lithography method. A silicon mold for electroplating of nickel was fabricated by conventional photolithography process. A nickel stamp for nano imprint lithography was fabricated by electroplating process using silicon mold. The nano imprint lithography was performed on PMMA plate at $140^{\circ}C$ under pressure of 20kN. The nano pattern on PMMA plate was investigated using FE-SEM. It is shown that the patterns were well transferred for several steps and the nano imprint lithography method could be applied for fabricating patterns of light guiding plate.

위암 수술 중 림프절 전이의 확인을 위해 시행한 수술 중 Imprint Cytology의 결과 (The Accuracy of Imprint Cytology in the Intraoperative Diagnosis of Lymph Node Metastasis in Gastric Cancer Surgery)

  • 이영준;이성현;박순태;최상경;홍순찬;정은정;주영태;정치영;하우송
    • Journal of Gastric Cancer
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    • 제5권3호
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    • pp.186-190
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    • 2005
  • 목적: 위암 수술 시 주변 림프절 전이 여부의 파악을 수술 중에 하는 것은 특히 제한적인 수술을 시행하는 경우 도움이 된다. 현재 사용 가능한 방법은 동결절편법, imprint cytology, 그리고 기타 분자학적인 방법들이 있으며 최근의 대부분의 연구들에서는 동결절편 법을 이용하여 그 결과를 보고하고 있다. 본 연구에서는 저자들은 imprint cytology 방법이 위암 수술 증 림프절 전이 여부를 판단하는 데 있어서 가지는 정확도와 실행 가능성에 대해 알아보았다. 대상 및 방법 2001년 4월부터 2003년 3월까지 260명의 연속된 위암 환자를 대상으로 imprint cytology를 시행하였다. 경험이 풍부한 세포 병리학자의 슬라이드 재검토가 있은 후 그 민감도, 특이도, 정확도 등을 구하였다. 결과: 수술 중 시행하는 imprint cytology에 소요되는 시간은 평균 8분이었으며, 민감도, 특이도, 그리고 정확도는 각각 52.2%, 88.8%, 73.8%였다. 결론: 만약 민감도와 특이도가 어느 정도 만족스러운 수준으로 향상된다면 imprint cytology는 수술 중 림프절 전이여부를 파악하는 데 있어서 유용한 방법이 될 수 있다.

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