The Effect of Surfactants in $\textrm{NH}_4\textrm{OH}$ on Silicon Surfaces and Particle Removal
(계면 활성제 첨가한 암모니아수의 소수성 실리콘 웨이퍼와의 반응 세정 효과)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.9 no.9
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- pp.872-877
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- 1999