This paper describes on the fabrication and characteristics of micro ceramic thin-film type pressure sensors based on Ta-N strain-gauges for high-temperature applications. The Ta-N thin-film strain-gauges are deposited onto thermally oxidized Si diaphragms by RF sputtering in an argon-nitrogen atmosphere($N_2$ gas ratio: 8 %, annealing condition: $900^{\circ}C$, 1 hr.), Patterned on a wheatstone bridge configuration, and use as pressure sensing elements with a high stability and a high gauge factor. The sensitivity is $1.097{\sim}1.21mV/V.kgf/cm^2$ in the temperature range of $25{\sim}200^{\circ}C$ and the maximum non-linearity is 0.43 %FS. The fabricated pressure sensor presents a lower TCR, non-linearity than existing Si piezoresistive pressure sensors. The fabricated micro ceramic thin-film type pressure sensor is expected to be usefully applied as pressure and load sensors that is operable under high-temperature environments.
지표면에서 플라즈마는 전기방전에 의하여 만들어낸다. 그래서 대부분의 플라즈마 발생은 1백만분의 1기압보다 더 낮은 기압에서 발생하고 있었다. 그러나 많은 플라즈마 응용은 고기압에서 발생한 플라즈마를 요구하고 있다. 진공펌프와 같은 고가의 장비를 피하기 위하여 과학자들은 1기압이나 그이상의 압력에서 플라즈마를 발생하는 연구를 하기 시작했다. 많은 량의 제료 공정, 환경보호와 개선, 그리고 고효율 에너지 창출과 이용 등의 분야에 플라즈마를 사용할 때에는 오직 더 많은 량의 플라즈마를 더욱 값싸게 만들 때에만 가능한 것이다. 우리는 따라서 고기압에서 플라즈마를 만들어내는 새로운 방법을 개발하고 이러한 플라즈마가 21세기 산업에 적용될 수 있는 새로운 기반을 구축하는 연구를 수행하고 있다. 이러한 기술은 미래의 재료 공정이나, 환경 그리고 에너지 분야에 지대한 영향을 미칠 것으로 생각한다.
International journal of advanced smart convergence
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제10권1호
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pp.159-165
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2021
Electronic devices used in the mobile environments fabricated under the plasma conditions in high vacuum system. Especially for the development of advanced electronic devices, high quality plasma as the process conditions are required. For this purpose, the variable conductance throttle valves for controllable plasma employed to the high vacuum system. In this study, we analyzed the effects of throttle valve applications on vacuum characteristics simulated to obtain the optimum design modelling for plasma conditions of high vacuum system. We used commercial simulator of vacuum system, VacSim(multi) on this study. Reliability of simulator verified by simulation of the commercially available models of high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modelling agreed with the observed experimental behaviour of real systems. Pressure limit valve and normally on-off control valve schematized as the modelling of throttle valve for the constant process-pressure of below 10-3 torr. Simulation results plotted as pump down curve of chamber, variable valve conductance and conductance logic of throttle valve. Simulated behaviors showed the applications of throttle valve sustained the process-pressure constantly, stably, and reliably in plasma process.
A study of high-pressure n-heptane droplet vaporization is conducted with emphasis placed on equilibrium at vapor-liquid interface. General frame of previous rigorous model[1] is retained but tailored for flash equilibrium calculation of vapor-liquid interfacial thermodynamics. The model is based on complete time-dependent conservation equations with a full account of variable properties and vapor-liquid interfacial thermodynamics. The influences of high-pressure phenomena, including ambient gas solubility, thermodynamic non-ideality, and property variation on the droplet evaporation are investigated. The governing equations and associated moving interfacial boundary conditions are solved numerically using a implicit scheme with the preconditioning method and the dual time integration technique. And a parametric study of entire droplet vaporization history as a function of ambient pressure, temperature has been conducted. Some computational results are compared with Sato's experimental data for the validation of calculations. For low ambient temperatures, the droplet lifetime first increases with pressures, then decreases for high pressures. For higher ambient temperatures, the droplet lifetime increase with less amplitude than that of low ambient temperatures, which then decreases with more amplitude than that of low temperatures. The solubility of nitrogen can not be neglected in the high pressure and it becomes higher as the pressure goes up.
Wrought nickel-base superalloys are being considered as the structural materials in very-high temperature gas-cooled reactors. To understand the effects of impurities, especially oxygen, in helium coolant on the mechanical properties of Alloy 617, creep tests were performed in high temperature flowing He environments with varying $O_2$ contents at 800, 900, and $1000^{\circ}C$. Also, creep life in static He was measured to simulate the pseudo-inert environment. Creep life was the longest in static He, while the shortest in flowing helium. In static He, impurities like $O_2$ and moisture were quickly consumed by oxidation in the early stage of creep test, which prevented further oxidation during creep test. Without oxidation, microstructural change detrimental to creep such as decarburization and internal oxidation were prevented, which resulted in longer creep life. On the other hand, in flowing He environment, surface oxides were not stable enough to act as diffusion barriers for oxidation. Therefore, extensive decarburization and internal oxidation under tensile load contributed to premature failure resulting in short creep life. Limited test in flowing He+200ppm $O_2$ resulted in even shorter creep life. The oxidation samples showed extensive spallation which resulted in severe decarburization and internal oxidation in those environments. Further test and analysis are underway to clarify the relationship between oxidation and creep resistance.
Characteristics of a diesel spray impingement with the variation of ambient temperature, wall temperature and ambient pressure were investigated through shadowgraphy method by using high speed camera. The radial penetration of spray was increased with ambient temperature and wall temperature. It is resulted from the decrease of ambient gas density caused by the increase of temperature. The height of spray was also increased with ambient temperature and wall temperature, because the height of stagnate region is noticeably increased, although height of wall jet vortex is decreased. At the same ambient pressure, the area ratio of impinging spray of room temperature environment to high temperature environment was increased, as the temperature difference between room temperature and high temperature increases. And the increment of area ratio was higher at low ambient pressure than high ambient pressure.
The micro-perforated panel absorber(MPPA) is one of promising noise control elements because of its applicability to extreme environments where general porous materials cannot be used. Since the MPPA is inherently non-porous sound absorber, it can be a good candidate of acoustic protection system of a space launcher. The overall sound pressure level inside payload fairings of commercial launch vehicles is so high(around 140 dB OASPL) that the conventional linear impedance model cannot be directly applied to the design of the acoustic protection systems. In this paper an acoustic impedance models of a micro-perforated panel absorber at high sound pressure environment were reviewed and the use of the impedance on the practical design of MPPAs was addressed. The variation of absorption characteristics of MPPA was discussed according to the design parameters, e.g., perforation ratio, the minute hole diameter, the thickness of MPP and the incident sound pressure level.
The spray combustion and spray cooling depends on droplet evaporation. So, evaporation model for spray has been requested and lots of investigation has been done and various reliable models have been developed also for last few decades. In the present study, One dimensional quasi-steady spherically symmetric droplet evaporation model for micro-gravity is developed. The gas phase was assumed as steady state and the thermophysical properties are calculated as a function of temperature, pressure and composition and the properties used in the model was validated by NIST web data and overall evaporation history results was compared with experimental results by Nomura and Qasim and gave satisfactory agreements. Through this model, diverse phenomenon was investigated, especially regarding the effects of ambient pressure and temperature. The effects of pressure for the droplet evaporation time were studied. The high pressure increased the droplet surface temperature and made effect on the evaporation time depend on atmospheric temperature. The role of the ambient temperature was investigated and explained. The basic investigation for the evaporation process according to variation of droplet diameter and surface temperature were also investigated and the well-known phenomena, like D-square-law, were reported, too.
Ram pressure stripping due to the intracluster medium (ICM) is an important environmental process, which causes star formation quenching by effectively removing cold interstellar gas from galaxies in dense environments. The evidence of diffuse atomic gas stripping has been reported in several HI imaging studies. However, it is still under debate whether molecular gas (i.e., a more direct ingredient for star formation) can be also affected and/or stripped by ram pressure. The goal of this thesis is to understand the impact of ram pressure on the molecular gas content of cluster galaxies and hence star formation activity. To achieve this, we conducted a series of detailed studies on the molecular gas properties of three Virgo spiral galaxies with clear signs of active HI gas stripping (NGC 4330, NGC 4402, and NGC 4522) based on high-resolution CO data obtained from the Submillimeter Array (SMA) and Atacama Large Millimeter/submillimeter Array (ALMA). As a result, we find the evidence that the molecular gas disk also gets affected by ram pressure in similar ways as HI even well inside of the stellar disk. In addition, we detected extraplanar 13CO clumps in one of the sample, which is the first case ever reported in ram pressure stripped galaxies. By analyzing multi-wavelength data (e.g., Hα, UV, HI, and CO), we discuss detailed processes of how ram pressure affects star formation activities and hence evolution of cluster galaxies. We also discuss the origin of extraplanar 13CO, and how ram pressure can potentially contribute to the chemical evolution of the ICM.
The micro-perforated panel absorber (MPPA) is one of promising noise control elements because of its applicability to extreme environments where general porous materials cannot be used. Since the MPPA is inherently non-porous sound absorber, it can be a good candidate of acoustic protection system of a space launcher. The overall sound pressure level inside payload fairings of commercial launch vehicles is so high (around 140 dB OASPL) that the conventional linear impedance model cannot be directly applied to the design of the acoustic protection systems. In this paper an acoustic impedance models of a micro-perforated panel absorber at high sound pressure environment were reviewed and the use of the impedance on the practical design of MPPAs was addressed. The variation of absorption characteristics of MPPA was discussed according to the design parameters, e.g., perforation ratio, the minute hole diameter, the thickness of MPP and the incident sound pressure level.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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