Recently, High accuracy and precision are required in various industrial field especially, semiconductor manufacturing apparatus, Ultra precision positioning apparatus, Information field and so on. Positioning technology is a very important one among them. Is such technology has been rapidly developed, this field needs the positioning accuracy as high as submicron. It is expected that the accuracy of 10nm and 1nm is required in precision work and ultra precision work field, respectively by the beginning of 2000s. High speed and low vibration are also needed. This work deals with the design method and control system of Ultra precision positioning apparatus. We will examine the control performance and stability before manufacturing the real apparatus by using MATLAB SIMULINK based or pre-designed controller and system modeling.
한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
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pp.60-63
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2004
Recently, carbon nanotubes(CNTs) have been demonstrated to possess remarkable mechanical and electronic properties, in particular, for field emission applications. Its high aspect ratio and extremely small diameter, hollowness, together with high mechanical strength and high chemical stability, are advantages for use in field emitter. In this paper, we demonstrate electrical discharge properties from carbon nanotube cathode electrodes to use as an emitter electrode of vacuum gauges. Vertically aligned $2{\times}2mm^2$ CNT arrays on the silicon substrate were synthesized by the thermal CVD method on Fe catalytic metal, and a glass patterning by the sand blast method and the silicon/glass anodic bonding processes were applied to make samples with 2 electrodes. The field emission was examined under the vacuum range of $10^{-3}$ Torr.
Many research applications in basic sciences and biology such as protein crystallography require hard x-rays in the range of 3-20 keV with high brightness. A medium energy storage ring as PLS-II with a beam energy of 3 GeV can meet such high photon energies. In-vacuum undulators (IVU) with a period length of 20 mm and a peak field of 0.97 T are used in the PLS-II ring to produce such X-rays in the fundamental or higher harmonics. Due to the many poles and high fields, insertion devices like wigglers and undulators have a significant impact on the stability of the electron beam with potential degradation of beam quality and life time. Therefore, nonlinear fields must be determined by measurement and evaluated as to their impact on beam stability. Specifically, transverse field roll-off can be a serious detriment to injection in top-up mode and must be corrected. We use magnetic field measurement data to evaluated beam stability by tracking particles using an explicit symplectic integrator in both, transverse and longitudinal planes.
Recently, the micro on-off valves have been focused on core technology in the fields of the production line of semi-conductor chips and the micro fluid chips for bio-medical applications. A key characteristics for micro valve, operated by compressed air, are high speed response and great repeatability. Indeed, it is also important to keep the pressure on the cross-sectional area of the poppet to be constant regardless of the fluctuation of the pressure exerted on the ports. In this study, we have designed and analysed the high-speed and high flow rate micro on-off valve using the analogy of equivalent magnetic circuit and Finite Element Method(FEM) respectively. In case of poppet, flow field characteristic was analyzed by the variation of poppet and it was able to display flow field by changing the location of the poppet. Also, we verified possibility of the design through the static and dynamic pressure and the 3D distribution curve of the force by working the front poppet.
The fact that the major cases of life casualties are from smoke in the fire accidents and the expected steep increase of skyscrapers, huge spaces, multiplexes and huge scaled underground spaces demand establishment of efficient smoke countermeasure. The architectural factors affecting the pressure field of building should be examined for the successful design and operation of smoke management system and the stack effect is one of the important factors. The field experiments on stack effect in stairwells of high-rise building with regard to open/close condition of door are carried out to evaluate the features of pressure applied to door between each compartments, i.e, stair, lobby and accommodation. The procedures and results of experiments are presented.
Pre-service teachers' understandings on magnet was investigated through the questionnaire method. The questionnaire was composed of 17 questions about the strength of magnet, the magnetized object and the direction of magnetic field around magnet. In this investigation study, 225 pre-service teachers were selected through random sampling method, who were sophomores in a National University of Education. The formation rate of the scientific conceptions on the strength of magnet was 30.3% and that on the direction of magnetic field around magnet was 53.9%. The average formation rate of scientific conception of all questions on magnet was 44.13%, which doesn't seem to be high as expected. It shows that many of subjects of the questionnaire don't understand fully the concept of moleclar magnet model and the superposition effects of magnetic field around magnet. The formation rate of the scientific conception on magnet of females who took courses in sciences in high school were higher than that of females who took courses in arts in high school, which had meaningful difference (p<.05).
Recently, High accuracy and precision are required in various industrial field especially, semiconductor manufacturing apparatus, Ultra precision positioning apparatus, Information field and so on. Positioning technology is a very important one among them. As such technology has been rapidly developed, this field needs the positioning accuracy as high as submicron. It is expected that the accuracy of 10nm and 1nm is required in precision work and ultra precision work field, respectively by the beginning of 2000s. High speed and low vibration are also needed. This work deals with the design method and control system of Ultra precision positioning apparatus. Control performance and stability analysis were performed in advance by modeling and designing the controller with Simulink.
We have performed computer simulation to obtain electro-optic chracteristics of reflective liquid crystal display (LCD) using wide viewing angle LC mode, fringe field switching(FFS). Unlike other reflective LCD modes, in the FFS mode, the LC director in plance so an application to reflective display consisted of polarizer, LC layer and reflector is possible. when an incident light is 550mm, the optimal cell retardation value is 0.1365${\mu}$m and the efficiency of reflectivity is high over 90% with very little wavelength dispersion. Further, we have studied a new reflective display with polarizer, optical compensation film with half plate, LC plus reflector. The display with optimized cell parameters shows high contrast ratio (CR) over 130 with high light efficiency over 90% at normal direction and the CR greater than 5 exists over 60$^{\circ}$ of polar angle in all directions.
Micro On-Off valves are currently recognized as the core technology in the fields of the micro fluid chip fur medical applications and production lines of semi-conduct chip. Micro valves that operate by compressed air need the high-speed responsibility, repeatability, the absorbability and the uniform pressure by the poppet. In this study, Micro On-Off valves that posses the high-speed responsibility and the high rate of flow have designed and analyzed through the law of equivalent magnetic circuit and Finite Element Method (FEM) respectively. In case of poppet, Flow field characteristic was analyzed by the variation of poppet and it was able to display flow field by changing the location of the poppet. Also, we verified possibility of the design through the static and dynamic pressure and the 3D distribution curve of the force by working the front poppet.
Solid oxide fuel cell (SOFC) operates at high temperatures in range of 600-800℃. Since layers of SOFC are composed of different substances, different thermal expansion in SOFC can result in defects under high temperature conditions. For understanding relation between temperature field and the thermal deformation in SOFC, temperature and strain field were simultaneously estimated using thermographic phosphors by optical measurement. Temperature fields were obtained by the life-time method, and the temperature differences of one specimen was checked with thermocouple. The thermal deformation was estimated by digital image correlation (DIC) method with extracted phosphorescence images. To investigate the deformation accuracy of DIC measurement, thermographic phosphors were coated with and without grid pattern on aluminum surface. Simultaneous measurement of temperature fields and thermal deformation were carried out for YSZ. This study will be helpful to multi-sensing of temperature field and thermal deformation on SOFC cells.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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