• 제목/요약/키워드: High Resolution TEM

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TEM을 이용한 비정질 박막의 구조분석

  • 백현석
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.74-74
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    • 1999
  • TEM(투과전자현미경, Transmission Electron Microscop)은 결정재료뿐 아니라 비정질 재료까지도 원자단위의 구조를 연구하는데 매우 유용한 도구이다. 특히 200kV의 가속전압 투과전자현미경에 FEG(Field Emission Gun) 전자총이 장착되기 시작하면서 TEM은 비정질 구조 연구에 하나의 핵심적인 도구로서의 역할이 크게 기대되는 장비가 되었다. 본 연구에서는 TEM의 microanalysis accessary인 EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)technique을 주로 이용하던 기존의 방법대신 고 분해능(HRTEM(High Resolution Transmission Electron Microscopy)의 image로부터 비정질 정량묘사의 유일한 도구인 원자분포함수(RDF(Radial Distribution Function))로의 Reconstruction을 Simulation을 이용하여 시도하였다. 비정질 HRTEM image의 정량분석을 통하여 이 분야에서의 TEM의 한계를 이해하기 위하여 몇 모델을 제시하고 사용하였다. 또한 비정질 구조를 정량적으로 묘사하는 도구인 원자분포함수를 알아보고 비정질재료를 보다 물리적으로 모델링하기 위하여 가능한 모델 제시 후 첫 단계로서 HRTEM image에서 원자분포함수를 이끌어내기 위한 모델링을 수행하고 비정질 게르마늄(a-Ge) film에 대하여 실제로 적용하여 보았다. 마지막으로 실험적인 접근으로 200kV FE-TEm (poingt resolution 0.14nm) 으로 비정질 Ge의 image를 solw Scan CCD를 이용한 Elastic image를 Through Focus로 얻었으며 수치적인 정량비교를 역격자 공간에서 출발한 가장 물리적인 구조 모델을 이용하여 수행하였다. 모든 정량비교는 image의 Fourier 변환인 Diffractogram으로 하였다. 결론적으로, 많은 복잡한 수치 처리과정을 거쳐야 하지만 HRTEM의 image로부터 구조에 대한 정보(RDF)는 명확하게 얻을 수 있었다.

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초고전압 투과전자현미경의 원격시범운영 (First Remote Operation of the High Voltage Electron Microscope Newly Installed in KBSI)

  • 김영민;김진규;김윤중;허만회;권경훈
    • Applied Microscopy
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    • 제34권1호
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    • pp.13-21
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    • 2004
  • 최근에 한국기초과학지원연구원에 설치된 초고전압 투과전자현미경은 원자분해능(점분해능 $1.2{\AA}$ 이하)의 구현과 고경사각 tilting 기능(${\pm}60^{\circ}$)에 의해 시편의 원자배열 구조를 3차원적으로 이미징할 수 있는 고성능 투과전자현미경이다. 이에 더하여 FasTEM이라는 원격 운용 시스템이 갖춰져 있어서 장비의 직접운용에 따른 여러 제약을 극복할 수 있게 한다. 초고전압 투과전자현미경의 원격운용을 위해 FasTEM 원격 시스템은 본원 초고전압 투과전자현미경에 설치된 Server 시스템과 서울분소에 설치된 Client 콘솔 시스템을 155 Mbps급 초고속 선도망 KOREN에 연결하여 구성하였으며 서울분소에서 대전본원의 초고전압 투과전자현미경을 운영하여 Au의 [001] 고분해능 영상을 얻는데 성공하였다. 초고전압 투과전자 현미경의 조사계 및 결상계 시스템 파라메타들의 조정, 각각의 detector 시스템 조정과 이미징, goniometer와 aperture 구동을 위한 motor-driven system들의 동작 등 초고전압 투과전자현미경의 원격 조정은 원격 작업자가 현장에 있는 것과 마찬가지로 실시간 운용이 가능하였다. 초고전압 투과전자현미경과 IT 기반기술의 접목에 의해 실현된 원격운용 기능은 국가적 공동연구시설에 대한 e-Science Grid를 구축하는데 중요한 역할을 하리라 기대된다.

Spark process법을 이용한 photoluminescence용 실리콘의 제조 및 특성 (Fabrication and characteristics of photoluminescing Si prepared by spark process)

  • 장성식;강동헌
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권3호
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    • pp.299-305
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    • 1995
  • 건식 spark 방법에 의하여 상온에서 광 발광하는 실리콘을 제작하였다. Anodically etching된 다공성 실리콘에 비하여 spark법에 의해 제조된 광 발광 peak는 520nm로 청색으로 전이되어 있었다. 또한 spark법으로 제조된 실리콘의 경우 UV 노출에 의한 광 발광력의 안정성이 매우 높게 나타났다. High resolution TEM, XRD 연구 결과를 통하여 spark법으로 제조한 실리콘은 작은 다결정성 nanocrystalline 입자가 주로 비정질 $SiO_2$에 의하여 에워 싸여져 있음을 확인할 수 있었다.

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초저온 전자현미경법을 통한 고분해능 생물분자 구조분석 (High resolution structural analysis of biomolecules using cryo-electron microscopy)

  • 현재경
    • 진공이야기
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    • 제4권4호
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    • pp.18-22
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    • 2017
  • Transmission electron microscopy (TEM) is a versatile and powerful technique that enables direct visualization of biological samples of sizes ranging from whole cell to near-atomic resolution details of a protein molecule. Thanks to numerous technical breakthroughs and monumental discoveries, 3D electron microscopy (3DEM) has become an indispensable tool in the field of structural biology. In particular, development of cryo-electron microscopy(cryo-EM) and computational image processing played pivotal role for the determination of 3D structures of complex biological systems at sub-molecular resolution. Here, basis of TEM and 3DEM will be introduced, especially focusing on technical advancements and practical applications. Also, future prospective of constantly evolving 3DEM field will be discussed, with an anticipation of great biological discoveries that were once considered impossible.

Circular Fast Fourier Transform Application: A Useful Script for Fast Fourier Transform Data Analysis of High-resolution Transmission Electron Microscopy Image

  • Kim, Jin-Gyu;Yoo, Seung Jo;Kim, Chang-Yeon;Jou, Hyeong-Tae
    • Applied Microscopy
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    • 제44권4호
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    • pp.138-143
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    • 2014
  • Transmission electron microscope (TEM) is an excellent tool for studying the structure and properties of nanostructured materials. As the development of $C_s$-corrected TEM, the direct analysis of atomic structures of nanostructured materials can be performed in the high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM). Especially, fast Fourier transform (FFT) technique in image processing is very useful way to determine the crystal structure of HRTEM images in reciprocal space. To apply FFT technique in HRTEM analysis in more reasonable and friendly manner, we made a new circular region of interest (C-ROI) FFT script and tested it for several HRTEM analysis. Consequentially, it was proved that the new FFT application shows more quantitative and clearer results than conventional FFT script by removing the streaky artifacts in FFT pattern images. Finally, it is expected that the new FFT script gives great advantages for quantitative interpretation of HRTEM images of many nanostructured materials.

$Ba(Zn_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ 세라믹에서 Zn vacancy 규칙화에 의한 변조구조의 고분해능 TEM 영상관찰 (High Resolution TEM Lattice Images of Modulated Structure Due to Zn Vacancy Ordering in $Ba(Zn_{1/3}Ta_{2/3})O_3$ Ceramics)

  • 이확주;류현;최성진;남산;변제동
    • Applied Microscopy
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    • 제28권1호
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    • pp.121-126
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    • 1998
  • Detailed studies of high resolution TEM inages on the modulated structure caused by Zn vacancy ordering along [110] direction in BZT sintered at $1400^{\circ}C$ for 90 hours had revealed that the images which had hexagonal patterns were similar to those obtained from the structure which had no modulation, These images had appeared over the wide ranges from -30 nm to -42 nm in defocus values and from 2 nm to 20 nm in thickness. The computer simulated images showed that the modulation due to Zn vacancy ordering had made a small change in contrast in the interior of hexagonal pattern, which was very difficult to differenciate in experiments. The image which demonstrated the modulated structure very well was the one which obtained at -52 nm in defocus value and 16 nm in thickness.

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TEM감쇠곡선을 이용한 해수의 지하 유동현상 파악 (Determination of an Underground Seawater Flow Using a TEM Decay Curve)

  • 황학수;문창규;이상규;이태섭
    • 자원환경지질
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    • 제34권5호
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    • pp.499-506
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    • 2001
  • 연안지역에서 해수의 지하 유동현상을 효과적이고 경제적으로 파악하기 위하여 등위치 송수신루프배열의 시간영역 전자탐사법(Time-domain Electromagnetic :TEM)을 이용한 지구물리모니터링을 적용하였다. TEM 모니터링은 전기 비저항 모니터링과 비교하여 해수유동에 대한 TEM반응의 민감도는 떨어진다. 그러나, 광범위한 조사지역에 대한 담수-해수 전이대의 공간적인 분포를 파악하는데 있어서는 측정시간을 포함한 탐사경비 그리고 현장에서 자료처리 측면에서 볼 때 매우 효율적이다.

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실시간 TEM 분석에 유용한 영상 기록 프로그램, VirtualDub (VirtualDub as a Useful Program for Video Recording in Real-time TEM Analysis)

  • 김진규;오상호;송경;유승조;김영민
    • Applied Microscopy
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    • 제40권1호
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    • pp.47-51
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    • 2010
  • The capability of real-time observation in TEM is quite useful to study dynamic phenomena of materials in a certain variable ambience. In performing the experiment, the choice of video recording program is an important factor to obtain high quality of movie streaming. Window Movie Maker (WMM) is generally recommended as a default video recording program if one uses "DV Capture" function in DigitalMicrograph$^{TM}$ (DM) software. However, the image quality does not often satisfy the condition for high-resolution microscopic analysis since the severe information loss in the final result occurs during the conversion process. As a good candidate to overcome this problem, Virtual-Dub is highly recommended since the information loss can be minimized through the streaming process. In this report, we demonstrated how useful VirtualDub works in a high-resolution movie recording. Quantitative comparison of the information quality between the images recorded by each software, WMM and VirtualDub, was carried out based on histogram analysis. As a result, the image recorded by VirtualDub was improved ~13% in brightness and ~122% in contrast compared with the image obtained by WMM at the same imaging condition. Remarkably, the gray gradation (meaning an amount of information) becomes wider up to ~115% than that of the WMM result.

$TiSi_2$와 다결정 실리콘에 이온주입된 As 계에서 TiAs 침전물형성에 관한 고분해능 TEM 연구 (High-Resolution TEM Study on TiAs Precipitate Formation Between $TiSi_2$ and As Doped in Poly-Silicon)

  • 박형호;이정용;조경익;이중환;권오준;남기수
    • 전자공학회논문지A
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    • 제28A권5호
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    • pp.375-379
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    • 1991
  • Formation of TiAs precipitate through the reaction between TiSi2 with C54 structure and heavily doped arsenic ion in poly-silicon, and influence of TiSAs and silicon distribution resulted from the reaction TiSi2+As ->2Si on the morphology degradation have been studied.

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Microstructure and Third Order Optical Nonlinearities of Ion-Implanted and Thermally Annealed $Cu-SiO_2$ Thin Films

  • 채이;이민영;김현경;문대원
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제18권8호
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    • pp.886-889
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    • 1997
  • The crystal structure and optical properties of copper nanoparticles, prepared in fused silica by ion-implantation and subsequent heat-treatment, were characterized by X-ray, TEM, linear absorption, and degenerate four-wave mixing (DFWM) technique. The X-ray data show fcc lattice structure of the nanocrystals and their size was measured as 8-20 nanometer by high resolution TEM. Using DFWM, the third-order nonlinear optical coefficient of the Cu-SiO2 thin films was measured as 0.4-1.1×10-8 esu in the surface plasmon resonance absorption region (540-570 nm).